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公开(公告)号：CN1974132A
公开(公告)日：2007-06-06
申请号：CN200610135311.4
申请日：2006-12-11
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B53/06
Abstract: 多功能数控砂轮修整装置，涉及一种用于修整或调节研磨表面的装置或工具。提供一种可对砂轮进行数控修整，可实现对任意形状砂轮修整的多功能砂轮修整装置。控制系统的工控机的运动控制器接IPC，经接口电路接驱动器，驱动器接伺服电机，伺服电机设进给、送进、基座和转角控制4电机，调速器和限位开关接驱动器。修整器设修整砂轮以及转角控制、进给、修整送进和基座传动4机构。基座传动机构设伺服电机、联轴器、丝杠螺母副和导轨，伺服电机接丝杠；进给机构设伺服电机、锥齿轮、丝杆和导轨，伺服电机经锥齿轮换向接丝杠；送进机构设伺服电机、锥齿轮、丝杆和导轨，伺服电机经锥齿轮换向接丝杠；转角控制机构设转角控制伺服电机和锥齿轮。
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公开(公告)号：CN118268609A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202410381439.7
申请日：2024-03-29
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种多功能激光送丝熔覆头，包括主体安装板、立柱、送丝机构、开关式负载板、具有水冷流道的水冷熔覆头、出丝喷嘴。通过一体式的结构设计，将四个送丝机构和水冷熔覆头结合，方便研究人员的调试准备；通过四个送丝机构的合理布局，实现多材料同时送丝的功能，满足使用激光送丝熔覆技术实现复合材料和功能梯度材料增材制造的技术要求，并且通过开关式的负载板结构设计，方便研究人员的穿丝、故障排查等工作；另外，通过控制电磁铁的电压，能精准快速的对预紧力进行调节，提高增材制造过程中的送丝稳定性，还提高不同丝径预紧力调节的调试速度；最后，熔覆头通过水冷熔覆头的设计，能够有效保护送丝机构，减轻送丝机构的灼伤程度，延长其使用寿命。
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公开(公告)号：CN115829977A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211584133.9
申请日：2022-12-09
IPC: G06T7/00 , G06V10/764 , G06V10/72 , G06V10/774 , G06V10/82 , H04N23/70 , H04N23/75
Abstract: 本发明涉及曝光技术领域，特别涉及一种基于微透镜阵列曝光工艺的质量检测方法及参数调节方法。质量检测方法包括步骤：建立可识别出每一曝光点图案类别的曝光图案检测模型；图案类别包括合格图案及不合格图案；设定初始曝光参数并获取经MLA曝光工艺得到的曝光图像；将曝光图像输入至曝光图案检测模型中以生成每一曝光点对应图案类别的数据信息集；根据数据信息集判断曝光点的图案类别并统计曝光图像中合格图案与不合格图案的曝光点数量，以得到合格图案的曝光点数量占全部曝光点数量的比例。通过上述设置，能够自动识别合格图案与不合格图案，从而自动化得到MLA曝光质量的合格率，有效提升质量检测精度和速度。
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公开(公告)号：CN114429929A
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202210074403.5
申请日：2022-01-21
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本申请公开了一种基片转运装置，包括真空发生器、气体吹送器、转运机构和吹扫器；转运机构包括托架；托架适于平移，其设有用于承载基片的承载面；承载面设有若干吸附孔；各吸附孔均连通真空发生器；吹扫器安装于托架且设有吹气通道；吹气通道连通气体吹送器，其相对承载面倾斜朝上延伸且出气口朝向承载面所在一侧；吹气通道的出气口的下端设有倾斜朝下的第一导风面；第一导风面所在平面与承载面所在平面的交线相对吸附于承载面上的基片的任意部位均较靠近于吹气通道的出气口。采用上述技术方案的基片转运装置能够可靠地对基片进行转运，降低基片受损风险，以及保证基片及其表面上的光刻胶的清洁度。
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公开(公告)号：CN112476144B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202011151677.7
申请日：2020-10-23
Applicant: 厦门大学深圳研究院
Abstract: 一种工业机器人研抛加工系统的抑振气囊工具头，包括从上到下同轴心设置的夹持刀柄、弹簧‑橡胶弹性元件、连接底座、半柔性气囊头，且夹持刀柄、弹簧‑橡胶弹性元件、连接底座的中心轴线上均开设有相互连通的通气孔；所述夹持刀柄的刀柄轴与气囊抛光工业机器人末端电机轴密封连接，夹持刀柄的底部为圆盘结构，该圆盘结构与连接底座固定连接并形成有供弹簧‑橡胶弹性元件压紧置入其中的容置腔，所述连接底座与半柔性气囊头通过锁紧螺母连接。本发明将高阻尼弹性元件串入工业机器人研抛加工系统的工具系统中，以抑制工业机器人研抛加工系统加工过程产生的振动，从而保证工业机器人研抛加工系统的加工精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109623652B
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN201811531280.3
申请日：2018-12-14
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B45/00
Abstract: 一种精密磨床用快速装夹调心的砂轮法兰盘，涉及精密磨削领域。设有机床主轴、砂轮固定螺母、砂轮、调心扳手、卡爪、调心装置后盖后端、小锥齿轮、调心装置后盖前端、调心装置前端盖、滚珠盖、轴承、大锥齿轮和滚珠；首先将经过静平衡的砂轮法兰盘装入机床主轴的锥度前端，并由砂轮固定螺母预紧，然后调心扳手插入法兰盘调心孔，调心扳手通过小锥齿轮与大锥齿轮的齿轮传动带动大锥齿轮转动，同时大锥齿轮上的平面螺纹与卡爪之间通过齿条传动实现卡爪的进给运动，三个方向同时运动的卡爪抓紧机床主轴，解决了砂轮中心与机床主轴轴线偏心的问题。结构精简、经济可靠，实现了砂轮的装夹；有效地克服了砂轮装配中的偏心误差。
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公开(公告)号：CN105817968B
公开(公告)日：2017-08-08
申请号：CN201610399553.8
申请日：2016-06-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 砂轮修整及光学元件磨边机，涉及修整机。设有摆臂摆动模块、回转四方架模块、光学元件回转模块、机床底座、数控系统；所述摆臂摆动模块设有摆臂摆动模块底座、摆臂电机、摆臂滑台、摆臂、十字滑台组件、X向丝杆、Y向丝杆、X向导轨副、Y向导轨副、Z向导轨副、X向伺服电机、Y向伺服电机、杯形砂轮电机底座、杯形砂轮电机、杯形砂轮、杯形砂轮联轴器、摆臂联轴器；所述回转四方架模块设有回转四方架、金刚石砂轮电机、金刚石砂轮、金刚石砂轮联轴器、支撑组件；所述光学元件回转模块设有光学元件回转台底座、回转伺服电机、回转矩台、蜗轮、蜗杆、轴承、蜗杆联轴器。提高机床的利用率，改善机床加工性能，集砂轮修整与光学元件磨边于一体。
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公开(公告)号：CN103822605B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201410098960.6
申请日：2014-03-18
Applicant: 厦门大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 大口径光学元件轮廓的一次拼接测量装置，涉及一种光学元件轮廓的测量装置。设有Y轴直线电机、Y轴直线导轨、底座、运动控制器、立柱、横梁、测量传感器、直线运动丝杆螺母副、联轴器、测头运动驱动电机、Z轴直线导轨、Z轴直线电机、测头连接座、Z轴工作台、X轴工作台、X轴直线导轨、X轴直线电机、工件、工件回转台、连接座、旋转电机、Y轴工作台和计算机。可实现一次拼接测量，特别针对大口径工件减少了测量步骤，测量过程简单，测量效率高，结构简单紧凑，操作方便。
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公开(公告)号：CN106002626A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610384200.0
申请日：2016-06-02
Applicant: 厦门大学
CPC classification number: B24B45/003 , B24B41/00
Abstract: 一种压电致动砂轮调心装置，涉及精密磨削加工技术领域。设有调节支架、3个粗调模块和3个微调模块；3个粗调模块和3个微调模块间隔均布设于调节支架上且向心设置；调节支架设有支架座、3个导轨座和一对三角夹块；支架座为圆环结构，3个导轨座间隔均布固定于支架座上且呈向心设置；一对三角夹块的2块三角夹块之间连接，该一对三角夹块连接于支架座后部；粗调模块设有丝杠微分头、微分头座、导轨和导轨滑块；微分头座固定于导轨座上，丝杠微分头与微分头座连接，导轨滑块置于导轨上且与导轨滑动配合；微调模块设有支撑件和柱形压电陶瓷致动器；支撑件设于导轨滑块上方，柱形压电陶瓷致动器通过锁紧件设于支撑件上，且呈向心设置。
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公开(公告)号：CN105817968A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610399553.8
申请日：2016-06-07
Applicant: 厦门大学
Abstract: 砂轮修整及光学元件磨边机，涉及修整机。设有摆臂摆动模块、回转四方架模块、光学元件回转模块、机床底座、数控系统；所述摆臂摆动模块设有摆臂摆动模块底座、摆臂电机、摆臂滑台、摆臂、十字滑台组件、X向丝杆、Y向丝杆、X向导轨副、Y向导轨副、Z向导轨副、X向伺服电机、Y向伺服电机、杯形砂轮电机底座、杯形砂轮电机、杯形砂轮、杯形砂轮联轴器、摆臂联轴器；所述回转四方架模块设有回转四方架、金刚石砂轮电机、金刚石砂轮、金刚石砂轮联轴器、支撑组件；所述光学元件回转模块设有光学元件回转台底座、回转伺服电机、回转矩台、蜗轮、蜗杆、轴承、蜗杆联轴器。提高机床的利用率，改善机床加工性能，集砂轮修整与光学元件磨边于一体。
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