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公开(公告)号：CN109870769B
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN201910159951.6
申请日：2019-03-04
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供一种干法蚀刻制备二氧化硅光学微盘腔的方法，所述方法包括以下步骤：利用热氧化法在硅基底表面制备二氧化硅层，在所述二氧化硅层表面沉积隔离层，在所述隔离层表面涂覆光刻胶层；通过曝光和显影，将掩模板图案转移到所述光刻胶层上，以所述光刻胶层为模板，刻蚀所述二氧化硅层，去胶后使用XeF2蚀刻所述硅基底得到所述二氧化硅光学微盘腔。所述方法与现有的半导体工艺完全兼容，制备得到的二氧化硅光学微盘腔尺寸大，且具有超高的品质因子。
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公开(公告)号：CN116131075B
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202211713282.0
申请日：2022-12-29
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种基于色散波的倍频程光梳产生系统及方法。倍频程光梳产生系统包括波长可调激光器、偏振控制器、锥形光纤以及光学微腔；波长可调激光器用于输出泵浦光，泵浦光耦合入锥形光纤；偏振控制器用于调节锥形光纤中泵浦光的偏振态；锥形光纤的锥区与光学微腔耦合；光学微腔处于反常色散区且包括至少一个色散波；调节泵浦光的波长、功率、偏振态以及锥区与光学微腔的距离，使泵浦光在光学微腔中传输时发生四波混频，产生基于色散波的倍频程光梳。本发明实施例提供的技术方案，利用四波混频效应在微盘腔中产生倍频程光梳，该系统产生的倍频程光梳具有色散波，拓宽了光谱并且提高了长波和短波处梳齿的功率。
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公开(公告)号：CN116131075A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211713282.0
申请日：2022-12-29
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种基于色散波的倍频程光梳产生系统及方法。倍频程光梳产生系统包括波长可调激光器、偏振控制器、锥形光纤以及光学微腔；波长可调激光器用于输出泵浦光，泵浦光耦合入锥形光纤；偏振控制器用于调节锥形光纤中泵浦光的偏振态；锥形光纤的锥区与光学微腔耦合；光学微腔处于反常色散区且包括至少一个色散波；调节泵浦光的波长、功率、偏振态以及锥区与光学微腔的距离，使泵浦光在光学微腔中传输时发生四波混频，产生基于色散波的倍频程光梳。本发明实施例提供的技术方案，利用四波混频效应在微盘腔中产生倍频程光梳，该系统产生的倍频程光梳具有色散波，拓宽了光谱并且提高了长波和短波处梳齿的功率。
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公开(公告)号：CN116027609A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202310302466.6
申请日：2023-03-27
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用，所述具有面包环结构的微腔为环状结构，包括微环芯腔和环状硅柱，所述微环芯腔包括环状平面和围绕所述环状平面的外边缘一周设置的微环芯，所述微环芯同样呈环状；所述环状硅柱与所述环状平面相连，用来支撑所述微环芯腔；本发明提供的上述具有环状结构的微腔中的环状硅柱的体积较小，进而有效降低了激光回流过程的热损失，使得激光回流过程所需激光功率较低；同时在制备过程中仅需一次刻蚀和激光回流的步骤即可获得更高品质因子的微腔，为回音壁模式微腔提供了一种新的结构。
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公开(公告)号：CN115981070A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211714077.6
申请日：2022-12-29
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种回音壁模式微腔及其色散控制方法、倍频程光梳产生装置。回音壁模式微腔包括衬底和位于衬底一侧的支撑柱和微盘腔，微盘腔处于反常色散区且包括至少一个色散波；改变微盘腔的尺寸，以实现色散波位置调节。本发明实施例的技术方案，提出了一种通过控制微盘腔的尺寸实现回音壁模式微腔的色散控制，在合适的位置产生色散波，该回音壁模式微腔可以产生跨倍频程的光学频率梳。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113839303A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111217255.X
申请日：2021-10-19
Applicant: 南京大学
IPC: H01S5/10 , H01S5/062 , H01S5/06 , H01S5/02251 , G02F1/35
Abstract: 本发明实施例公开了一种三次谐波产生系统及方法。包括波长可调光源、偏振控制器、光纤以及光学微腔；波长可调光源提供泵浦光，泵浦光耦合入光纤；光纤从偏振控制器的输出端延伸至光学微腔，延伸至光学微腔的光纤通过锥状结构与光学微腔耦合；光学微腔包括衬底和支撑柱和微盘腔；泵浦光通过锥状结构耦合入光学微腔；偏振控制器调节光纤中泵浦光的偏振态；调节泵浦光的波长、功率、偏振态以及锥状结构与光学微腔的距离，使泵浦光在光学微腔中传输时满足三次谐波的相位匹配条件，产生三次谐波。本发明实施例的技术方案，通过干法刻蚀获取高品质因子光学微盘后，利用连续光直接泵浦光学微盘以产生三次谐波，简化了产生三次谐波的复杂过程。
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公开(公告)号：CN112925059A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN202110357339.7
申请日：2021-04-01
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明公开了一种片上集成波导的微盘腔及其制备方法。该微盘腔包括：氧化硅片；氧化硅片包括硅基衬底和氧化硅半导体层；氧化硅半导体层包括功能区和非功能区；功能区包括波导结构、微盘结构及位于微盘结构内的第一开口；非功能区包括第二开口；微盘结构与第一开口构成微盘腔；第一扩展腔和第二扩展腔；第一扩展腔由第一开口沿垂直于硅基衬底所在平面的方向延伸至硅基衬底内；第二扩展腔由第二开口沿垂直于硅基衬底所在平面的方向延伸至硅基衬底内；第一扩展腔与第二扩展腔连通；波导结构和微盘结构在硅基衬底的垂直投影位于第一扩展腔和第二扩展腔组成的连通结构内。本发明实施例降低了光在波导结构中的传输损耗以及提高了微盘腔的品质因子。
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公开(公告)号：CN111600192A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010542769.1
申请日：2020-06-15
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种光孤子产生系统。该系统包括波长可调光源、偏振控制器、第一环行器、光纤、第一滤波器以及光学微腔；其中，光学微腔包括衬底和位于衬底一侧的支撑柱和腔体；波长可调光源用于提供泵浦光；偏振控制器用于调节泵浦光的偏振方向，以调整泵浦光与光学微腔的耦合效率；泵浦光在光学微腔中激发背向布里渊激光，背向布里渊激光在光学微腔内发生四波混频效应，产生耗散克尔孤子；第一滤波器用于滤除泵浦光和背向布里渊激光，以输出耗散克尔孤子。本发明实施例的技术方案，利用背向布里渊激光产生耗散克尔孤子，可以避免在孤子形成过程中泵浦光红失谐的热不稳定性引起复杂的调节技术，有利于实现光孤子产生系统的小型化和集成化。
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公开(公告)号：CN111313218A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010104921.8
申请日：2020-02-20
Applicant: 南京大学
IPC: H01S3/08
Abstract: 本发明提供了一种微球腔的制备方法。所述制备方法包括：选取基片，所述基片包括相复合的支撑层和器件层；在器件层上形成光刻胶层，经过光刻和显影后，形成光刻胶圆盘；以光刻胶圆盘作为掩模，刻蚀掉光刻胶圆盘区域之外的器件层材料，然后去除光刻胶圆盘，在支撑层上形成器件圆盘；刻蚀-回流：刻蚀器件圆盘周围的支撑层材料，形成支撑器件圆盘的支撑柱；用激光照射器件圆盘，使器件圆盘的边缘熔融并向内收缩至支撑柱顶端边缘，形成器件环芯；重复进行所述刻蚀-回流的步骤，使支撑柱和器件环芯的直径逐步缩小，直至形成微球腔。本发明提供的方法可以保证在制备大尺寸微球腔过程中，器件圆盘不发生开裂、脱落，提高了制备的微球腔的直径。
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