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公开(公告)号：CN116027609B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202310302466.6
申请日：2023-03-27
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用，所述具有面包环结构的微腔为环状结构，包括微环芯腔和环状硅柱，所述微环芯腔包括环状平面和围绕所述环状平面的外边缘一周设置的微环芯，所述微环芯同样呈环状；所述环状硅柱与所述环状平面相连，用来支撑所述微环芯腔；本发明提供的上述具有环状结构的微腔中的环状硅柱的体积较小，进而有效降低了激光回流过程的热损失，使得激光回流过程所需激光功率较低；同时在制备过程中仅需一次刻蚀和激光回流的步骤即可获得更高品质因子的微腔，为回音壁模式微腔提供了一种新的结构。
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公开(公告)号：CN116027609A
公开(公告)日：2023-04-28
申请号：CN202310302466.6
申请日：2023-03-27
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供一种具有面包环结构的微腔及其制备方法和应用，所述具有面包环结构的微腔为环状结构，包括微环芯腔和环状硅柱，所述微环芯腔包括环状平面和围绕所述环状平面的外边缘一周设置的微环芯，所述微环芯同样呈环状；所述环状硅柱与所述环状平面相连，用来支撑所述微环芯腔；本发明提供的上述具有环状结构的微腔中的环状硅柱的体积较小，进而有效降低了激光回流过程的热损失，使得激光回流过程所需激光功率较低；同时在制备过程中仅需一次刻蚀和激光回流的步骤即可获得更高品质因子的微腔，为回音壁模式微腔提供了一种新的结构。
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公开(公告)号：CN119126298B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202411020317.1
申请日：2024-07-29
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供一种超高品质因子的微环芯腔及其制备方法与应用，所述微环芯腔包括圆形微盘、设置于所述圆形微盘外缘一周的实心圆环，以及支撑所述圆形微盘的底座；所述圆形微盘和实心圆环的材质为氧化硅，所述底座的材质为硅；所述实心圆环的环状外径为3‑6mm；所述微环芯腔的品质因子≥1×109。本发明通过改进传统的微环芯腔制备工艺，最终得到超高品质因子的大尺寸微环芯腔，显著提高了样品的应用价值，有利于大规模推广应用。
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公开(公告)号：CN119126298A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411020317.1
申请日：2024-07-29
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提供一种超高品质因子的微环芯腔及其制备方法与应用，所述微环芯腔包括圆形微盘、设置于所述圆形微盘外缘一周的实心圆环，以及支撑所述圆形微盘的底座；所述圆形微盘和实心圆环的材质为氧化硅，所述底座的材质为硅；所述实心圆环的环状外径为3‑6mm；所述微环芯腔的品质因子≥1×109。本发明通过改进传统的微环芯腔制备工艺，最终得到超高品质因子的大尺寸微环芯腔，显著提高了样品的应用价值，有利于大规模推广应用。
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