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公开(公告)号：CN110534434A
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201910634921.6
申请日：2019-07-15
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L21/34 , H01L21/445 , H01L21/4763 , H01L29/872
Abstract: 本发明属于印刷电子技术领域，公开了一种溶液法制备金属氧化物TFD的方法。选取禁带宽度相近的金属氧化物绝缘材料和金属氧化物导电材料的前驱体，将其分别溶于同一种溶剂或互溶的溶剂得到绝缘材料前驱体溶液和导电材料前驱体溶液：然后将绝缘材料前驱体溶液和导电材料前驱体溶液依次旋涂于正极衬底上，热退火处理后沉积一层负电极材料，得到金属氧化物TFD。本发明基于溶液法旋涂禁带宽度相近且能溶于互溶或同一溶剂体系的绝缘层和导体层，利用绝缘层和导体层之间形成较大混溶区，使得金属氧化物薄膜器件表现出二极管的整流特性，制备出高性能的金属氧化物薄膜二极管。
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公开(公告)号：CN109616525A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811434260.4
申请日：2018-11-28
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L21/02
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，公开了一种溶液法制备锆铝氧化物绝缘层薄膜及叠层结构的方法。所述方法包括如下步骤：将五水合硝酸锆和九水合硝酸铝溶于乙二醇单甲醚中，搅拌老化得到前驱体溶液；在ITO玻璃衬底上旋涂所得的前驱体溶液，然后在300～500℃退火处理1～2h，得到锆铝氧化物绝缘层薄膜。在所得锆铝氧化物绝缘层薄膜上通过磁控溅射镀圆形Al电极，得到MIM叠层结构。本发明提高绝缘薄膜的物理化学性能，如漏电流密度从6.71×10-5A/cm2降低为3.8×10-7A/cm2，禁带宽度从5.0eV提升为5.8eV，禁带宽度的增大将有利于提高击穿电压。
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公开(公告)号：CN109574515A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811529766.3
申请日：2018-12-14
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明涉及一种电致变色汽车挡风玻璃及其制备方法。该汽车挡风玻璃依次由玻璃衬底、透明图形化阴极、电致变色层、聚合物锂离子电解质层、离子储存层、透明公共阳极和玻璃衬底构成。所述制备方法包括以下步骤：(1)在第1玻璃基板上采用喷墨打印方法依次制备透明图形化阴极、电致变色层；(2)在第2玻璃基板采用喷墨打印方法依次制备透明公共阳极、离子储存层；(3)将两块玻璃基板用聚合物锂离子电解质层压合粘结。本发明的优点在于：本发明制备方法将电致变色技术应用在汽车前挡风玻璃上，采用了图形化的电极，实现了挡风玻璃区域化变色，同时采用了低于人眼分辨率的电极间距，视觉效果、透射性能更佳。
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公开(公告)号：CN110614863B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN201910841335.9
申请日：2019-09-06
Applicant: 华南理工大学
IPC: B41M5/00
Abstract: 本发明属于喷墨打印技术领域，公开了一种实现喷墨打印均匀图案阵列的方法。将玻璃基板经预处理后旋涂一层聚合物溶液，紫外光固化得到聚合物薄膜；所述聚合物薄膜与后续喷墨打印墨水的溶剂相溶；将喷墨打印墨水在上述聚合物薄膜上喷墨打印均匀墨滴阵列，退火处理后自然冷却，得到均匀图案阵列。本发明通过在喷墨打印前预先制备一层聚合物薄膜，利用喷墨打印过程中的“咖啡环”效应，可以得到高精细均匀图案阵列，突破了传统制备方法的极限，且获得的图案阵列具有良好的可重复性、均匀性。
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公开(公告)号：CN111128023B
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN201911351905.2
申请日：2019-12-23
Applicant: 华南理工大学
IPC: G09F9/30
Abstract: 本发明属于柔性显示的技术领域，公开了一种韧性可调的柔性基板结构及其制备方法。所述柔性基板结构由下至上依次包括第二柔性基板、第二导电薄膜、第二绝缘层、电流变液填充体、第一绝缘层、第一导电薄膜、第一柔性基板。本发明还公开了柔性基板结构的制备方法。本发明采用的绝缘层结构，有效减小漏电流，防止通电情况下第一导电层和第二导电层因接触而短路，同时避免电流对电流变液的损伤，有效阻断电流变液对导电层的侵蚀；经过等离子体表面处理，绝缘层的表面浸润特性进行了改善，有利于电流变液填充体粘附于绝缘层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111455324B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010315773.4
申请日：2020-04-21
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于薄膜材料制备技术领域，公开了一种晶型及厚度可控的二氧化锆薄膜的制备方法。以氧化锆为靶材，将玻璃基片放置在基板上，将真空腔室抽至2×10‑4～5×10‑4Pa，调整靶材与基板之间的距离，设置脉冲频率为4～6Hz，激光能量为150～350mJ，采用非圆形的激光光斑照射靶材，预沉积1～3min后将脉冲数设置为10000～30000次继续沉积，然后在空气环境中热退火，退火温度为300～400℃，得到晶型及厚度可控的二氧化锆薄膜。本发明通过激光光斑的形状及基片放置的位置调控薄膜晶型，通过沉积时的脉冲数及靶材‑基板距离等调节厚度，可以实现一次制样得到不同晶型及厚度的氧化锆薄膜。
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公开(公告)号：CN111129161B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201911353459.9
申请日：2019-12-25
Applicant: 华南理工大学
IPC: H01L29/786 , H01L21/336 , H01L29/423
Abstract: 本发明属于薄膜晶体管技术领域，公开了一种柔性基板半嵌入式栅极薄膜晶体管及其制备方法。所述薄膜晶体管包括柔性基板和柔性基板上的栅极，所述柔性基板上设有矩形凹槽，所述栅极下部矩形区域刚好嵌入至矩形凹槽内，栅极上部梯形区域凸出于矩形凹槽外。与现有的堆栈式底栅顶接触的薄膜晶体管和全嵌入式栅极的薄膜晶体管结构相比，本发明有利于绝缘层薄膜和有源层薄膜的内部及接触界面的缺陷减少，提高器件的性能。且本发明在对嵌入栅极后的柔性基板进行表明清洗时，可有效去除可能存在于凹槽内边角处的杂质和清洗剂，洁净度更高，器件质量更好。
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公开(公告)号：CN113211983A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110406779.7
申请日：2021-04-15
Applicant: 华南理工大学
IPC: B41J2/045 , B41J2/14 , B41J29/393
Abstract: 本发明公开了一种应用于印刷墨滴的压电喷墨系统，包括中央控制系统、压电喷墨子系统和墨滴优化系统，压电喷墨子系统和墨滴优化系统均分别与中央控制系统连接；压电喷墨子系统包括压电驱动模块、压电喷头和供墨组件，压电驱动模块与中央控制系统连接，压电喷头包括多个喷嘴，压电喷头与压电驱动模块连接，供墨组件与压电喷头连接；墨滴优化系统包括多通道升温装置和温控调节装置，多通道升温装置内设置多个与压电喷头上的喷嘴相应的加热通道，温控调节装置用于对中各加热通道的温度进行调节。还提供了相应的优化方法。主墨滴与卫星滴共同进入多通道升温装置，经加热后将卫星滴完全挥发，主墨滴进一步缩小，克服了喷头尺寸对超高精度印刷的限制。
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公开(公告)号：CN111320208B
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202010104855.4
申请日：2020-02-20
Applicant: 华南理工大学
Abstract: 本发明属于多金属氧酸盐制备技术领域，公开了一种光诱导原位聚集制备POMs的方法。将金属氧酸盐单体或过渡族金属氧化物溶解在氨水中，调节pH使多金属氧酸盐解聚合，保持单体形态，搅拌溶液至澄清；然后加入极性带羟基有机溶剂调节沸点，将所得溶液加工成未完全干燥的粉体、块体或薄膜状形态；然后在一定湿度的环境下，采用紫外线照射诱发金属氧酸盐单体发生聚集形成多金属氧酸盐。本发明方法为先加工后聚合，采用常规的溶液工艺路线先将金属氧酸盐单体根据应用需求加工成特定形态(粉体、块体或薄膜等)，然后在紫外线照射下原位诱导金属氧酸盐聚集成为POMs，解决了传统POMs加工特性差的问题。
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