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公开(公告)号：CN107275796A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710488566.7
申请日：2017-06-23
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: H01Q17/008 , G02B5/003
Abstract: 本发明公开了一种太赫兹波吸波体、制备方法及应用，该太赫兹吸波体包括从上至下依次排列的天线阵列、介质层以及金属层，天线阵列包括多个呈阵列排布的天线单元，天线单元包括四个呈旋转对称的天线结构，天线结构呈未封闭的凹字形结构，天线结构开口位于凹字形左侧；介质层厚度为使经过天线阵列反射的反射光和经过金属层反射的反射光相位相差π，由于天线结构呈未封闭的凹字形结构，能够在天线结构所占据面积小情况下增加天线结构的有效长度，实现对太赫兹波段光吸收，介质层厚度使经过天线阵列反射的反射光和经过金属层反射的反射光相消，进而提高太赫兹吸波体的吸收率。
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公开(公告)号：CN107275421A
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201710420652.4
申请日：2017-06-07
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/0352 , H01L31/09 , H01L31/18 , B82Y30/00 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种量子点光电探测器及其制备方法，包括如下步骤：在ITO玻璃衬底上旋涂PMMA光刻胶；光刻胶曝光及微结构图形定义；蒸镀一定厚度的金属薄膜；光刻胶剥离及金属微结构的生成；将制备好的量子点旋涂或喷涂在上述衬底上形成薄膜；继续蒸镀一定厚度的金属形成背底电极，完成器件制备。本发明利用金属微结构的窄带滤波和光场增强功能，对量子点光电响应进行波长调制和增敏，利用量子点薄膜光电效应，使得ITO与背底电极之间的电流发生显著变化。本发明通过选取合适的金属和量子点材料体系，调节金属微结构阵列的结构设计与量子点尺寸，实现高灵敏、可调谐的窄带光电探测器。
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公开(公告)号：CN118922050B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202410960750.7
申请日：2024-07-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供一种基于相变材料的热释电探测器结构，包括：窄带吸收体腔结构，包括金属层、介质层和相变材料层；热释电探测器，位于窄带吸收体腔结构之下，热释电探测器包括钽酸锂单晶片；在光线射到窄带吸收腔体结构时，窄带吸收腔体结构用于吸收对应波长的光线，产生热释电效应，钽酸锂单晶片用于产生电流，以根据电流的大小获得光线的光强信息，并根据电流的大小改变相变材料层的状态，以调节窄带吸收体腔结构的吸收峰位来进行探测。本发明结构简单，对角度变化不敏感，可以选择性窄带探测的同时，实时调控选择性探测的范围，可以在物质识别、浓度检测等领域提供更为精确的定量结果，并且单个探测器就可以实现小范围内的光谱重现。
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公开(公告)号：CN117747690A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311645913.4
申请日：2023-11-30
IPC: H01L31/09 , H01L31/0232 , H01L31/032 , H01L31/0216 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种基于超表面集成的硒化铅探测器及制备方法。硒化铅探测器包括：从下至上设置的硅片衬底、金属背板、第一介质层、硒化铅层、第二介质层和金属天线，以及设置在硒化铅层上的金属电极；第一介质层和第二介质层在硒化铅层和金属电极/金背板中间绝缘；金属天线为超表面微纳结构，选择性增强硒化铅层对响应带宽内预设波段的吸收率，抑制其他波段的吸收率；硒化铅层吸收预设波段的光场转化为电信号；金属电极包括两个长条形金属电极，分别设置在第二介质层的左右两侧；金属电极将硒化铅层产生的电信号输出，以探测预设波段的光信号。采用超表面技术解决硒化铅光电探测器响应度低和没有波长选择的问题，实现对特定波段检测并提高响应度。
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公开(公告)号：CN117491304A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311409858.9
申请日：2023-10-27
IPC: G01N21/3504 , G01J5/35
Abstract: 本发明公开了一种面向气体传感的宽角域带通红外探测器，属于红外气体传感领域。探测器自下而上包括热释电探测器、带通吸收体和聚光透镜。热释电探测器由上下电极和钽酸锂薄膜组成，带通吸收体由背板，介质层，天线簇构成。聚光透镜由衬底，介质柱组成。本发明高效收集大角度入射光线并聚焦在于热电探测器上，通过调整圆盘半径和圆盘排列组合方式实现对特定目标通带内的电磁波高效吸收。大幅降低了红外探测器结构复杂度，赋予探测器带通响应的能力，同时提高了探测器探测率。同时，超材料聚光透镜大幅提升了探测器的聚光能力，相比于一般的探测器有着更高的灵敏度和探测效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113358595B
公开(公告)日：2023-04-11
申请号：CN202110604520.3
申请日：2021-05-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N21/27 , H01L27/144
Abstract: 本发明公开一种量子点近红外气体传感器以及制备方法，属于气体传感器技术领域，将集成光学天线的量子点光电探测器、气室、光源、信号处理电路进行片上集成，该气体传感器可将检测到的气体量转换成可用输出电信号，最后读出气体浓度信息。本发明中，红外气体传感器的核心部件为量子点光电探测器，与光学天线直接集成实现窄带滤光并且提高其灵敏度，取代分立滤光片元件，减小红外气体传感器体积，并提出适用于光子型探测器的后端信号检测与放大电路，结合气室、光源制备成NDIR气体传感器，针对CH4和NH3气体实现小体积、高灵敏、低成本的快速检测。本发明还提供了其制备方法，其制备方法简便可行。
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公开(公告)号：CN113345971B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202110585736.X
申请日：2021-05-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/18 , G02B5/08
Abstract: 本发明公开了一种超表面谐振增强窄带光电探测器及其制备方法，属于微纳光学和窄带光电探测器领域。本发明通过调整介质超表面反射镜的横向参数，能够在不改变其余的参数条件下调整探测器的响应波长，同时集成多个波长的窄带探测单元，每一种窄带探测单元只对特定波长电磁波有较高的响应度，对其他波长的入射光响应度较低，从而实现窄带多色探测。本发明的窄带光探测器具有较好的角度稳定性，当入射角度小于20°，窄带光电探测器对TM偏振态的峰值响应波长不发生改变；超表面反射镜的几何参数满足米氏谐振条件，使其对入射角度变化引入的光程相位变化有补偿效应，从而使谐振增强窄带探测器对TE偏振态的峰值响应波长的角度敏感性较小。
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公开(公告)号：CN114025062A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111239416.5
申请日：2021-10-25
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种大口径红外超透镜相机，属于红外成像与微纳光子学技术领域，包括大口径超透镜、红外焦平面阵列探测器、超透镜机械组装件和外壳，大口径超透镜的口径大于50mm，厚度小于2mm，大口径超透镜与红外焦平面阵列探测器的距离大于30mm；超透镜机械组装件采用缓冲结构对超透镜进行固定、调节与抗震保护；外壳采用隔热涂层并密封处理，对镜头进行隔热与防水保护。本发明采用严格电磁场数值、衍射设计算法与大面积半导体工艺制备方法，将超透镜的口径提升至50mm以上，在保证超透镜F数满足图像信噪比的要求下，大大提高了相机的焦距与放大率，克服了以往超透镜相机焦距短、放大率小、成像距离不够的问题，能对中远距离物体进行探测成像。
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公开(公告)号：CN113358595A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110604520.3
申请日：2021-05-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/3504 , G01N21/359 , G01N21/27 , H01L27/144
Abstract: 本发明公开一种量子点近红外气体传感器以及制备方法，属于气体传感器技术领域，将集成光学天线的量子点光电探测器、气室、光源、信号处理电路进行片上集成，该气体传感器可将检测到的气体量转换成可用输出电信号，最后读出气体浓度信息。本发明中，红外气体传感器的核心部件为量子点光电探测器，与光学天线直接集成实现窄带滤光并且提高其灵敏度，取代分立滤光片元件，减小红外气体传感器体积，并提出适用于光子型探测器的后端信号检测与放大电路，结合气室、光源制备成NDIR气体传感器，针对CH4和NH3气体实现小体积、高灵敏、低成本的快速检测。本发明还提供了其制备方法，其制备方法简便可行。
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公开(公告)号：CN113345971A
公开(公告)日：2021-09-03
申请号：CN202110585736.X
申请日：2021-05-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/0232 , H01L31/18 , G02B5/08
Abstract: 本发明公开了一种超表面谐振增强窄带光电探测器及其制备方法，属于微纳光学和窄带光电探测器领域。本发明通过调整介质超表面反射镜的横向参数，能够在不改变其余的参数条件下调整探测器的响应波长，同时集成多个波长的窄带探测单元，每一种窄带探测单元只对特定波长电磁波有较高的响应度，对其他波长的入射光响应度较低，从而实现窄带多色探测。本发明的窄带光探测器具有较好的角度稳定性，当入射角度小于20°，窄带光电探测器对TM偏振态的峰值响应波长不发生改变；超表面反射镜的几何参数满足米氏谐振条件，使其对入射角度变化引入的光程相位变化有补偿效应，从而使谐振增强窄带探测器对TE偏振态的峰值响应波长的角度敏感性较小。
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