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公开(公告)号：CN101493574A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200810204560.3
申请日：2008-12-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明涉及一种微机械推拉式可调谐光栅，其特征在于所述的微机械推拉式可调谐光栅包括光栅条阵列、光栅链接梁、光栅支撑梁以及所连接的推驱动器和拉驱动器，其中，光栅条阵列通过光栅链接梁相连后构成光栅本体，再通过光栅支撑梁与推驱动器和拉驱动器相连构成微机械推拉式可调谐光栅；所述的推驱动器或拉驱动器位于光栅本体的一侧或两侧；光栅链接梁为1级或多级细弹性梁。本发明提供推拉式光栅结构降低了常规拉伸式DRIE工艺的苛刻要求，在相同条件下可实现更大的调谐范围，且可采用常规的MEMS工艺，易于大批量、低成本制作。
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公开(公告)号：CN101214950A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032806.3
申请日：2008-01-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种制备单壁碳纳米管的方法，属于纳米材料制备领域。本发明采用金刚石纳米颗粒为催化剂或成核模板，以含碳的原料气体为碳纳米管生长气源，用化学气相沉积法在卧式电阻炉中制备单壁碳纳米管。本发明由于采用金刚石纳米颗粒作为催化剂或成核模板制备单壁碳纳米管，可避免采用任何金属催化剂制备单壁碳纳米管所带来的非碳元素对单壁碳纳米管的污染，且无需考虑常规金属催化剂在高温下因聚集而催化失效的问题，同时具有催化效率高、操作简单的特点。
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公开(公告)号：CN1865923A
公开(公告)日：2006-11-22
申请号：CN200610027341.3
申请日：2006-06-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法，其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成；其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽；热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构；热堆位于介质薄膜上面，引线柱位于支撑框架上，热堆阵列芯片上的通光孔与盖板上的通光孔相对应；光栅芯片上的闪耀光栅是采用特定晶向腐蚀出来的，将特定波长的红外光的最大功率正好反射在热堆的热端薄膜表面。依所述结构采用MEMS工艺制作三块芯片，再采用点胶机点胶键合，或利用粘合剂光刻对准键合，或直接进行Si－Si、Si－玻璃对准键合。具有体积微小、结构稳定、重复性好、成本低廉等优点。
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公开(公告)号：CN1588661A
公开(公告)日：2005-03-02
申请号：CN200410053913.6
申请日：2004-08-20
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种采用硅支撑梁的红外热电堆探测器阵列结构，其特征在于利用硅支撑梁结构取代原有各个器件单元间的硅框架以实现高密度的红外热电堆探测器阵列结构。周边硅框架不变，膜区的间距在20－ 700μm之间。本发明可利用无掩膜腐蚀工艺实现，且发明在保证器件结构稳定、性能优异的前提下，大大减小了单元器件的间距，从而提高了器件的占空比，有利于器件的大密度集成，同时其具有工艺简单、一致性好、重复性好、成品率高、易批量生产等特点，特别适用于制作大批量高密度的红外热电堆探测阵列。
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公开(公告)号：CN1178088C
公开(公告)日：2004-12-01
申请号：CN01139287.8
申请日：2001-12-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜。其特征在于驱动电极呈多级阶梯底电极结构；阶梯结构底电极台阶数至少大于或等于2，阶梯底电极与微镜的角度由台阶高度h和台阶宽度l的比值控制。通过X方向和Y方向分别设置扭梁并进行二维嵌套，可方便地扩展为二维转动微镜。其制作方法或用无掩膜各向异性腐蚀，或用DRIE干法刻蚀，或用这二种方法组合制作，然后将阶梯电极和微镜对准、安装。所用的材料为单晶硅或SOI材料，本发明综合了现有技术中倾斜电极和平行于微镜的底电极两种现有转动微镜的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113345781B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202110571179.6
申请日：2021-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 为了解决现有技术中竖直型纳米空气沟道晶体管的栅极电压高的技术问题，本发明提出了一种纳米空气沟道晶体管，晶体管包括：阳极，阳极设有阳极支点；栅极，栅极的第一侧与阳极支点连接，栅极的第二侧设有栅极支点；阴极，阴极与栅极支点连接，阴极的靠近栅极的一侧设有第一凸起。当本发明中的器件工作时，可在阴极上施加负偏压，在栅极和阳极上施加正偏压。当电压达到一定程度的大小时，阴极表面上发射出的电子通过栅极中的网孔到达阳极，产生电流。通过调节栅极电压和阳极电压可以改变电流的大小。由于栅极距离阴极距离更近，栅极电压对电流大小的影响要远大于阳极电压对电流大小的影响。阴极表面的第一凸起可以促进电子发射，降低工作电压。
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公开(公告)号：CN117894738A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311818956.8
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 , 上海为肯工业设计有限公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/78
Abstract: 本发明涉及一种薄膜转移装置及方法，装置包括：包括容器、限位罩、托架和转移工装，所述限位罩固定在所述容器上，所述限位罩限定一两端开口的限位腔；所述托架包括托板，托板上设有多个贯穿所述托板的通孔和多个支撑柱，多个支撑柱上可拆卸固定有用于吸附薄膜的转移工装。本发明的薄膜转移装置及方法，基于化学腐蚀方法，无需复杂机械设备即可完成薄膜的大尺寸转移，转移效率高，可实现器件的批量制备；通过限位罩限位和托板缓冲，避免因水流导致的薄膜运动与碰撞，减小薄膜破损概率，保证转移薄膜的性能。
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公开(公告)号：CN116525523A
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN202310421963.8
申请日：2023-04-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明涉及一种辅助转移的转移工装及其应用，所述转移工装包括：转移基板、设于转移基板上表面的界面改性层，转移基板与界面改性层上设有阵列化的通孔结构。所述通孔可对所述转移工装表面溶液进行有效分流，减小了所述转移工装对溶液升降的阻力与薄膜的滑移；所述转移工装可依据需要发生临时或永久性形变且表面可控，在溶液水位下降时便于对待转移物下方的溶液进行导流，提高待转移物贴合平整度，在溶液水位上升时待转移物又可从该表面剥离，利用所述转移工装即可在一个溶液池内辅助完成待转移物的转移，避免了待转移物在多个溶液池间转移时的破损或磨损，实现了待转移物大尺寸的转移。
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公开(公告)号：CN113933364B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202111031603.4
申请日：2021-09-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/414 , G01N33/531 , G01N33/535 , G01N33/543 , G01N33/58
Abstract: 本发明公开了一种基于硅纳米线场效应生化传感器的靶标物浓度检测方法，包括制备免疫磁珠‑靶标物‑免疫硅纳米颗粒；修饰硅纳米线场效应生化传感器，用于识别不同的所述三层结构催化所述pH酶的底物发生催化反应所产生的pH变化；使免疫磁珠‑靶标物‑免疫硅纳米颗粒与pH酶的底物发生催化反应，以改变待测溶液的pH；将待测溶液进行磁性分离，取上清液在硅纳米线场效应生化传感器上进行pH检测，根据浓度与pH的标准曲线，得到靶标物的浓度。本发明将靶标物浓度转化为pH变化，利用硅纳米线场效应生化传感器对该pH变化进行检测，根据其电流变化量，能够实现靶标物的定性与定量测定，简单稳定，灵敏度高，检测准确性好，通用性强。
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公开(公告)号：CN115181657A
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202210992199.5
申请日：2022-08-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种原位监测核酸扩增过程的装置及方法，装置包括堆叠设置的加热板和微反应板，所述微反应板包括具有开口的空腔及连通所述空腔的进液口和出液口，所述空腔内设置有至少一个测试传感器，所述加热板遮蔽所述开口。本发明的原位监测核酸扩增过程的装置及方法，通过测试传感器对扩增核酸的浓度进行检测，并将扩增核酸的浓度变化转化为显示单元上的电信号变化，从而实现核酸扩增过程的实时监测和定量检测，其灵敏度高、准确性好、通用性强，可用于现场检测并实时监测检测过程，大大提升检测效率。
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