半导体光刻胶组合物及使用所述组合物形成图案的方法

    公开(公告)号:CN114647146B

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN202111360348.8

    申请日:2021-11-17

    Abstract: 本发明公开一种半导体光刻胶组合物和一种使用半导体光刻胶组合物形成图案的方法,半导体光刻胶组合物包括由化学式1表示的有机锡化合物和至少一种有机酸化合物之间的缩合反应产生的缩合产物;以及溶剂,至少一种有机酸化合物选自取代的有机酸、包括至少两个酸官能团的有机酸以及取代或未取代的磺酸。所述半导体光刻胶组合物具有极好的存储稳定性和灵敏度特征。化学式1的具体细节如说明书中所定义。[化学式1]#imgabs0#。

    集成电路器件
    45.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110931468B

    公开(公告)日:2024-05-07

    申请号:CN201910822831.X

    申请日:2019-09-02

    Abstract: 本发明公开一种集成电路器件,其包括:下电极、上电极以及在下电极和上电极之间的电介质层结构,该电介质层结构包括面对下电极的第一表面和面对上电极的第二表面。该电介质层结构包括:第一电介质层,包括由第一电介质材料形成并且从第一表面延伸到第二表面的多个晶粒;以及第二电介质层,包括第二电介质材料并在低于第二表面的水平处围绕第一电介质层的所述多个晶粒中的每个晶粒的侧壁的一部分。第二电介质材料包括具有比第一电介质材料的带隙能量高的带隙能量的材料。

    半导体器件及其制造方法
    46.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113764417A

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN202110262666.4

    申请日:2021-03-10

    Abstract: 一种半导体器件包括:导电柱,在半导体衬底上;第一支撑图案,所述第一支撑图案接触所述导电柱的侧表面的第一部分并且将所述导电柱相互连接,所述第一支撑图案包括暴露所述导电柱的侧表面的第二部分的第一支撑孔;封盖导电图案,所述封盖导电图案接触所述导电柱的侧表面的第二部分并且暴露所述第一支撑图案,所述导电柱的侧表面的第二部分不与所述第一支撑图案接触;以及电介质层,所述电介质层覆盖所述第一支撑图案和所述封盖导电图案,所述电介质层与所述导电柱间隔开。

    集成电路器件
    47.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110931468A

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201910822831.X

    申请日:2019-09-02

    Abstract: 本发明公开一种集成电路器件,其包括:下电极、上电极以及在下电极和上电极之间的电介质层结构,该电介质层结构包括面对下电极的第一表面和面对上电极的第二表面。该电介质层结构包括:第一电介质层,包括由第一电介质材料形成并且从第一表面延伸到第二表面的多个晶粒;以及第二电介质层,包括第二电介质材料并在低于第二表面的水平处围绕第一电介质层的所述多个晶粒中的每个晶粒的侧壁的一部分。第二电介质材料包括具有比第一电介质材料的带隙能量高的带隙能量的材料。

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