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公开(公告)号:CN1574202A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410044683.7
申请日:2004-05-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 宇都宫纯夫
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L21/6835 , H01L27/1214 , H01L27/1218 , H01L27/3244 , H01L29/78603 , H01L2221/68359 , H01L2221/68368 , H01L2251/5338 , H01L2924/30105
Abstract: 一种薄膜装置的制造方法、电光学装置和电子设备,所述薄膜装置的制造方法包括:在第一基板(11)上使用根据光刻法的图像形成工艺形成细微构造体或薄膜电路层(30)的过程(图1(a));将细微构造体或薄膜电路层从第一基板移动到第二基板(42),或经第三基板(33)从第一基板移动到第二基板(42)的过程(图1(b)~图2(b));在移动到第二基板上的上述细微构造体或上述薄膜电路层上使用非光刻法形成薄膜图案(51~52)的过程(图3(a)~该图(d))。利用本发明的转移技术,即使在形状稳定性差的基板上转移形成细微构造体或薄膜电路层情况下,也可不降低所制造的薄膜装置的尺寸精度。
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公开(公告)号:CN1448987A
公开(公告)日:2003-10-15
申请号:CN03108294.7
申请日:2003-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/1259 , G02F2001/13613 , H01L21/6835 , H01L27/1214 , H01L27/1288 , H01L27/3255 , H01L27/3293 , H01L51/56 , H01L2221/68354 , H01L2221/68359 , H01L2221/68363 , H01L2221/68368 , H01L2224/16225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/48465 , H01L2227/326 , H01L2924/01079 , H01L2924/12044 , H01L2924/30105 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于采用薄膜电路的基板间转印技术制造大型半导体装置。通过将多个第2基板(21)拼贴配置进行大型化。作为第2基板(21),采用两面布线和多层布线的印刷基板和可挠性电路。多个第2基板(21)分别独立驱动,第2基板(21)一部分相互重合,在重合部分上配置驱动电路(23)。又,使多个第2基板(21)的一部分相互重合,在重合部分上连接相互的电路。
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公开(公告)号:CN102539022B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201110402387.X
申请日:2011-12-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/04 , B25J13/085 , G01L1/20 , G01L1/205 , G01L5/161 , G01L5/228 , G06F3/0338 , G06F3/03547 , G06F3/0414 , Y10S901/46
Abstract: 本发明提供一种检测装置、电子设备以及机械手,能够快速地检测出外压的有无,并且能够高精度地检测出外压的方向和大小。该检测装置具有:检测部,其具有检测压力的有无的接触传感器(12)、和将压力的大小和方向进行分离的压力分量分离机构;以及控制部,其基于接触传感器(12)的检测结果,对压力分量分离机构的检测动作进行控制。
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公开(公告)号:CN104816318A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201510141447.5
申请日:2011-12-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/04 , B25J13/085 , G01L1/20 , G01L1/205 , G01L5/161 , G01L5/228 , G06F3/0338 , G06F3/03547 , G06F3/0414 , Y10S901/46
Abstract: 本发明提供一种检测装置、电子设备以及机械手,能够快速地检测出外压的有无,并且能够高精度地检测出外压的方向和大小。该检测装置具有:检测部,其具有检测压力的有无的接触传感器(12)、和将压力的大小和方向进行分离的压力分量分离机构;以及控制部,其基于接触传感器(12)的检测结果,对压力分量分离机构的检测动作进行控制。
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公开(公告)号:CN102412199B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201110314362.4
申请日:2007-01-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/77
CPC classification number: H01L27/1266 , H01L27/1248 , H01L29/78603 , Y10S438/978
Abstract: 本发明的目的在于提供能确保高的可靠性的薄膜电路装置。本发明的薄膜电路装置具备:基板;在上述基板上形成了的、具有包括薄膜元件的元件区域的薄膜电路层;以及在上述薄膜电路层中设置成介于上述薄膜电路层的端部与上述元件区域之间的、与周围相比机械强度相对地低的低强度区域。
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公开(公告)号:CN101764144B
公开(公告)日:2014-01-22
申请号:CN200910262078.X
申请日:2009-12-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/32 , H01L21/82 , H01L21/768 , G09F9/33
CPC classification number: H01L27/3279 , H01L27/3246 , H01L51/5228 , H01L2251/5315
Abstract: 本发明涉及EL装置、EL装置的制造方法及电子设备。用于不增加制造成本地得到可抑制阴极的面电阻的顶部发射型EL装置。该EL装置具备:EL元件(29),其具有第1电极(25)、与第1电极对置的第2电极(27)、夹持在第1电极与第2电极之间的包含EL材料层的发光功能层(26),并经由第2电极射出EL材料层的发光;将相邻的EL元件(29)之间隔开的隔离区域(102);包含多个EL元件和隔离区域的显示区域;和形成在隔离区域的与第2电极电连接的辅助布线;辅助布线包含沿第1方向延伸的第1辅助布线、沿第2方向延伸的第2辅助布线,第1辅助布线和第2辅助布线的至少一方在显示区域内沿一个延伸的方向至少具有一处间隙。
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公开(公告)号:CN100511604C
公开(公告)日:2009-07-08
申请号:CN200610084197.7
申请日:2006-03-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L21/324 , H01L21/20
CPC classification number: H01L21/02667 , F27B17/0025 , H01L21/2022 , H01L21/67103 , H01L27/1214 , H01L29/66757
Abstract: 一种半导体装置的制造方法,包括:在基板上成膜半导体的工序;以气体燃烧器的火焰作为热源进行所述半导体层的再结晶化的第1热处理工序,其中,所述的气体燃烧器将作为燃料的氢气和氧气的混合气体设定成氢过剩;在经过了所述第1热处理工序的所述半导体层上形成氧化膜的工序;以气体燃烧器的火焰作为热源对已形成所述氧化膜的半导体层进行改性的第2热处理工序,其中,所述的气体燃烧器将作为燃料的氢气和氧气的混合气体设定成氧过剩。本发明还提供一种半导体制造装置。
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公开(公告)号:CN101266348A
公开(公告)日:2008-09-17
申请号:CN200810083596.0
申请日:2008-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G06F3/0412 , G06F3/044
Abstract: 本发明公开一种液晶装置,其中液晶面板(PL)的对置电极(12)的电压周期地变化。在液晶面板(PL的第一基板(10)形成多个检测用电极(40X)。在各检测用电极40X,按照对置电极(12)的电压的变化,感应初始电压V0。切换电路72X把感应初始电压V0的多个检测用电极(40X)分别按顺序与检测部NX连接。位置确定电路(78)根据检测部NX中产生的检测信号SD_K,生成表示指示体的位置的位置信号PX。即位置确定电路(78)通过把检测用电极(40X)与检测部(NX)连接,按照检测信号SD_K的电压超过给定的范围A的期间的时间长度T,生成位置信号PX。从而抑制检测用电极的噪声引起的检测精度的下降。
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公开(公告)号:CN101257746A
公开(公告)日:2008-09-03
申请号:CN200810082367.7
申请日:2008-02-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G06F3/044 , G09G3/3225 , H01L27/323 , H01L27/3244
Abstract: 一种带输入功能的有机场致发光装置,具备:在配置成矩阵状的各子像素区域(A)中,设置有被夹持在阳极(20)与阴极(21)之间的发光层(50b)的元件基板(11);对元件基板(11)进行密封的密封基板(12);和在密封基板(12)的外面侧设置的触摸屏部(17);阴极(21)对应于子像素区域(A)中的显示色而独立形成,密封基板(12)具有形成在元件基板(11)侧且电位被固定的屏蔽导体(52)。由此,可提供一种带输入功能的有机EL装置及电子设备,能够防止因使有机EL元件发光时产生的噪声而引起的检测精度的降低。
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公开(公告)号:CN101038931A
公开(公告)日:2007-09-19
申请号:CN200710085591.7
申请日:2007-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/32 , H01L23/522
CPC classification number: H01L27/3244 , H01L27/3265 , H01L27/3276
Abstract: 本发明提供一种有机EL装置。本发明的有机EL装置包括:至少在一面具有导电性的基板(10);形成在上述基板的一面上的绝缘膜(50);分别包括源极与上述基板连接的p沟道型晶体管(58、62、64、66),并形成于上述绝缘膜上的多个驱动电路;对应于上述驱动电路每一个而形成于上述基板上,且一个端子与上述晶体管连接,另一个端子与公共接地连接的多个有机场致发光元件(82、88、90)。另外,在形成具有导电性的基板的像素的区域的外周部设置电源供给用的焊盘。本发明的有机EL装置可以使有机EL元件的发光亮度的面内分布更均匀。
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