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公开(公告)号：CN101487695B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200910119932.7
申请日：2009-02-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种多灵敏度制栅云纹干涉仪，属于光测力学、变形检测技术领域。本发明由激光器、分光耦合器、干涉光路系统、图像采集系统、加载及六维调节装置五大部分组成。集光栅制作与变形测量为一体，可制作可转移光栅模板，也可在试样表面制作零厚度试件栅，通过四光束云纹干涉光路可实现实时变形测量，且光栅频率和测量灵敏度均可按需要调节。光路系统采用光纤技术以消除散斑噪声对光栅、图形质量的影响，位移测量灵敏度达波长量级。此外，本发明还具有结构紧凑、使用方便、光路原理简单、可制作单向栅或正交栅、制作的光栅不易被污染、可对试件实现六个自由度的调节等优点。
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公开(公告)号：CN101819217A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010156007.4
申请日：2010-04-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种微纳米尺度平面周期性结构的反演方法，属于显微镜成像分析、平面结构检测、光测力学技术领域。本发明以扫描电子显微镜的扫描线为参考栅，微纳米表面周期性结构为试件栅，通过两栅发生几何叠加形成云纹，再通过微小的沿着与扫描线相垂直的方向随机平移扫描电镜的试件平台，即产生相移几何云纹。将得到的云纹图，根据随机相移算法求出云纹条纹相位图，通过该方法的反演得到其试件周期性结构。此方法综合了云纹法灵敏度高、测量视场大，及扫描电子显微镜分辨率高、空间定位方便等优点。该方法可用到其它带扫描线的显微镜下，用于平面周期性结构的反演及全面检测，测量精度高，操作简单，检测成本低，操作自动化，方法灵敏简单有效。
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公开(公告)号：CN101608905A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910088897.7
申请日：2009-07-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种微裂纹微小张开位移的测量方法，属于光测力学、构件变形和位移测试等技术领域。本发明采用主要由激光器、加载装置、带微裂纹的试件、光强接收屏和图像采集系统组成的测量系统。测量时，使激光发出波长为λ的光，通过微裂纹，在接收屏上形成夫琅禾费衍射条纹图，通过图像采集系统得到一幅微裂纹的初始光强图像；再利用加载装置对试件进行缓慢加载，使裂纹张开，通过图像采集系统记录不同载荷下接收屏上微裂纹的多幅狭缝衍射光强图像，根据光强图像进行数字图像分析和相关运算，最终得到不同载荷下微裂纹微小张开位移量。本方法具有使用方便，测量精度高等特点。微裂纹的形变量测量能够使其达到100με量级。位移测量灵敏度可达波长量级。
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