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公开(公告)号：CN101916794A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010216946.3
申请日：2010-06-25
Applicant: 清华大学 , 张家港保税区华冠光电技术有限公司
IPC: H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了属于制备光伏新能源材料所用设备技术领域的一种连续制备铜铟镓硒硫太阳能电池吸收层的设备。该设备为连续式五室硒化硫化炉，预热室、硒化室、过渡室、硫化室和冷却室顺次相连，采用连续式五室硒化硫化炉可制备出具有S成分梯度分布的CIGSeS/CIGSe复合吸收层，使得该吸收层不仅在CISe基础上提高了带隙，而且使之沿吸收层厚度方向形成带隙梯度，增加对太阳光谱中光能的吸收，提高了CISe系太阳能电池的光电转换效率。本发明可以使得铜铟硒系薄膜太阳能电池的制造工艺简单，制造成本低，操作稳定性好，生产效率高，为制备高光电转换效率、大面积CISe系太阳能电池提供了便捷和设备保证。
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公开(公告)号：CN101333645A
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200810116717.7
申请日：2008-07-16
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于光电材料新能源技术领域，特别涉及一种制备铜铟硒溅射靶材的工艺。通过制备或市场购买Cu2Se粉末和In2Se3粉末，混合后在行星式球磨机中球磨，而后冷压成型，制得Cu2Se和In2Se3混合材料素坯，将此素坯置于密闭的真空烧结炉中，在H2保护气氛中，烧结，冷却后脱模，即得到铜铟硒靶材。所制得的靶材具有均一的铜铟硒相，相对密度达到95％以上。本发明具有工艺简便，效率高，成本低，稳定性好等优点，为制备铜铟硒吸收层薄膜的制备工艺提供了便捷和稳定的保证。
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公开(公告)号：CN100346992C
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200410000007.X
申请日：2004-01-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 一种具有红外反射性能的汽车风挡玻璃的制备方法涉及汽车风挡玻璃设计及制造技术领域，特别涉及具有节能隔热、防结雾功能的高档汽车风挡玻璃的设计及制造技术领域。其特征在于，它采用磁控溅射方法，以半导体氧化物为原材料，在外层玻璃的内表面、内层玻璃的内表面或PVB薄膜上沉积半导体氧化物薄膜，然后将内层玻璃、PVB薄膜、外层玻璃进行热封装，构成汽车风挡玻璃。本发明制备得到的风挡玻璃对可见光的透过率高于70%，对红外辐射反射率大于70%，使玻璃具有隔热性能，起到节能作用；有一定的防结雾能力，可在一定程度上保证风挡玻璃的清晰度。
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公开(公告)号：CN1719626A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510011859.3
申请日：2005-06-03
Applicant: 清华大学
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 用于铜铟镓硒薄膜太阳能电池的铜镓合金靶及其制备方法，涉及光电产业及半导体产业所需的金属溅射靶材及其制备。其是将铜、镓单质金属混合，在气体保护下或真空中，熔炼后浇注，同时急冷成型；所形成的合金溅射靶材，镓的原子百分比含量为25％～67％，具有微细化及高均质化的特性。本发明具有工艺简便，效率高，成本低，稳定性好等优点，通过简便的急冷成型工艺，避免了繁琐的工序，为磁控溅射铜铟镓硒吸收层前驱膜的制备工艺提供了便捷和稳定的保证。
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公开(公告)号：CN1199726C
公开(公告)日：2005-05-04
申请号：CN03140525.8
申请日：2003-05-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 含氮的二氧化钛光催化薄膜及其制备方法，涉及到半导体光催化技术领域，特别涉及到二氧化钛光催化薄膜技术领域。本发明的含氮的二氧化钛光催化薄膜，其特征在于，它含有氮元素，氮元素在所述薄膜中的质量百分比为0.1%～5%；该薄膜的制备方法，是采用磁控溅射方法，其特征在于，反应气体是高纯氧气和氮气的混合气体，其中氮气含量为5%～95%。该薄膜降低了半导体光催化剂的禁带宽度，使得薄膜具有对可见光的吸收能力，在可见光辐照下具有对有机污染物的催化降解能力，在紫外光辐照的条件下，相对于纯二氧化钛光催化薄膜其降解能力也有大幅度提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1142554C
公开(公告)日：2004-03-17
申请号：CN00129797.X
申请日：2000-10-13
Applicant: 清华大学 , 浙江金洲集团股份有限公司
Abstract: 本发明属于光电材料技术领域，涉及用于制备透明导电薄膜的锌铝氧化物靶材。其特征在于，用纯度不低于99.9%的氧化锌粉末与纯度不低于99.9%的氧化铝粉末或纯铝粉末相互混合均匀，烧结成密度不低于理论密度的94%的块体，用该靶材制备透明导电薄膜的电阻率达10-4Ω.cm量级。本发明具有成分简单、经济、膜基附着力强，使用寿命长、性能好，镀膜不起斑点、耐蚀耐磨、色泽漂亮等特点。用于镀膜制造成本低廉，无毒，易于实现掺杂，且ZAO薄膜在等离子体中稳定性好，是ITO的替代产品，尤其是在太阳能电池透明电极领域。
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公开(公告)号：CN1460728A
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：CN03137254.6
申请日：2003-06-03
Applicant: 清华大学
Abstract: 绒面氧化锌透明导电薄膜及其制备方法涉及用于太阳电池的光电材料技术领域，特别涉及到用于太阳电池的透明导电薄膜设计技术领域。其特征在于，这种薄膜是一种绒面的氧化锌透明导电薄膜。制备该薄膜的方法是磁控溅射方法，其特征在于，溅射气体的压力为3.0Pa～15.0Pa；衬底温度为20℃～400℃。本发明的氧化锌透明导电薄膜具有较高的绒度和表面粗糙度，能够增加光的吸收。
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公开(公告)号：CN1289128A
公开(公告)日：2001-03-28
申请号：CN00129797.X
申请日：2000-10-13
Applicant: 清华大学 , 浙江金洲集团股份有限公司
Abstract: 本发明属于光电材料技术领域,其特征在于,用纯度不低于99.9%的氧化锌粉末与纯度不低于99.9%的氧化铝粉末或纯铝粉末相互混合均匀,烧结成密度不低于理论密度的94%的块体。本发明具有成分简单、经济、膜基附着力强,使用寿命长、性能好,镀膜不起斑点、耐蚀耐磨、色泽漂亮等特点。用于镀膜制造成本低廉,无毒,易于实现掺杂,且ZAO薄膜在等离子体中稳定性好,是ITO的替代产品,尤其是在太阳能电池透明电极领域。
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公开(公告)号：CN112877661A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110039957.7
申请日：2021-01-13
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明提供了一种改性铜锌锡硫靶材及其制备方法和应用，属于光电材料技术领域。本发明提供的改性铜锌锡硫靶材，化学组成上表示为Cux(Zn,Ca)ySn2‑yS4或Cux(Ba,Zn)ySn2‑yS4，所述Cux(Zn,Ca)ySn2‑yS4和Cux(Ba,Zn)ySn2‑yS4中的x独立地为1.2～2.0，y独立地为0.8～1.4，所述Ca和Ba的原子百分比独立地为0.005～10％。本发明以Ca元素或Ba元素替位部分Zn元素，可以得到高温性能更稳定的铜锌钙锡硫靶材或铜钡锌锡硫靶材。
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公开(公告)号：CN112802924A
公开(公告)日：2021-05-14
申请号：CN202110039924.2
申请日：2021-01-13
Applicant: 清华大学
IPC: H01L31/18 , H01L21/02 , H01L31/032
Abstract: 本发明提供了一种铜钾锌锡硫吸收层的制备方法，属于光电材料制备技术领域。本发明直接利用铜钾锌锡硫靶材经真空磁控溅射制备铜钾锌锡硫吸收层预制层，再经退火即可得到铜钾锌锡硫吸收层吸收层，钾元素分布均匀，操作简单，工艺稳定性高，生产成本低。具体的，与现有技术相比，本发明提供的方法减少了溅射后沉积KF的步骤，同时K元素能够均匀分布于最终所得铜钾锌锡硫吸收层吸收层中，K元素钝化缺陷、促进晶粒生长的优势得以在整个铜钾锌锡硫吸收层中均匀体现。
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