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公开(公告)号：CN104627957B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510076789.3
申请日：2015-02-12
Applicant: 武汉理工大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供了一种热解碳微结构电极的制作工艺及其电性能表征方法，包括紫外光刻、热解碳化、掩膜制作、金属电极沉积、剥离浮脱和电性能表征，利用光刻胶的感光性能，通过紫外光刻工艺、半导体加工工艺、惰性气氛下的热解碳化工艺以制作图案化的热解碳微结构；然后通过掩膜制作、金属电极沉积、剥离浮脱工艺，使拟制作电极的部位精确得到电极，制作成与碳微结构相集成的金属电极；通过四探针法，对电性能进行表征。本发明提出了一种基于C-MEMS的优化工艺以制作图案化的热解碳微结构，该工艺融合利用了半导体领域的相关技术与四探针法，工艺简洁、相关技术成熟，可应用于大规模生产，所得到的热解碳微结构有着较好的电性能。
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公开(公告)号：CN104649219B
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510075300.0
申请日：2015-02-12
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种新型图案化碳-锡复合材料微结构的微加工工艺，包括如下步骤：通过水热法制取“自下而上”的SnO2球状微纳米结构；通过紫外光刻、半导体微加工工艺，制取图案化光刻胶-SnO2纳米复合材料微结构；通过惰性气氛下的热解碳化-还原，制取图案化碳-锡复合材料微结构。本发明提出了一种基于C-MEMS的优化工艺以制作图案化的碳-锡复合材料微结构，该工艺融合利用了半导体领域的相关技术和微纳米结构合成的方法，工艺简洁、相关技术成熟，可应用于大规模生产，所得到的碳-锡复合材料微结构有着较好的机械性能，较高的化学稳定性和较好的电化学性能。
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公开(公告)号：CN104766724A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510100884.2
申请日：2015-03-06
Applicant: 武汉理工大学
IPC: H01G11/84
Abstract: 本发明提供一种基于四氧化三钴纳米结构的微型电容器微制作工艺，包括掩模制作、紫外光刻、物理气相沉积、剥离浮脱、快速退火处理，利用光刻胶的感光性能，通过掩模制作、紫外光刻工艺、半导体加工工艺制作带有光刻胶微结构图案的样品，然后通过物理气相沉积、剥离浮脱、快速退火处理，制作基于四氧化三钴纳米结构的微型电容器。本发明提出了一种基于快速退火氧化的优化工艺以制作图案化的四氧化三钴纳米线微结构，该工艺融合利用了半导体领域的相关技术和微纳米结构合成的方法，工艺简洁、相关技术成熟，可应用于大规模生产，所得到的四氧化三钴纳米线微结构有着较高的化学稳定性和较好的电化学性能。
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公开(公告)号：CN104730097A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201510098850.4
申请日：2015-03-06
Applicant: 武汉理工大学
IPC: G01N23/20
Abstract: 本发明提供一种方铁矿高温晶格常数的原位表征方法，包括如下步骤：以α-Fe和Fe3O4为反应物在一定条件下合成方铁矿；对合成的方铁矿进行高温原位XRD表征；对所得的XRD表征数据进行处理以测定方铁矿的高温晶格常数。本发明提出了一种基于原位XRD表征方法以测定方铁矿高温下晶格常数的新方法，融合了材料合成与测试领域的相关技术和数据处理方法，方法有效、可靠性高、相关技术成熟，可应用于方铁矿及其它部分材料在高温下的晶格常数精密测定，通过对材料XRD衍射图谱的晶修以及相关公式可计算出晶格常数，其结果精确且可靠性高。
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公开(公告)号：CN113437369A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110571481.1
申请日：2021-05-25
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供了一种基于重构外延相的镍锌微电池及其制备方法，制备方法包括以下步骤：将硫酸镍、硫酸铜、硼酸加入到去离子水中，得到电镀液；将电镀液作为电解液，在第一三电极体系下进行镍铜合金的共沉积与部分刻蚀，得到纳米多孔镍微电极；在第二三电极体系下，将纳米多孔镍微电极置于氢氧化钾溶液中进行重构活化，得到重构多孔镍微电极；对重构多孔镍微电极进行原位还原，得到锌化后的纳米多孔镍微电极；以锌化后的纳米多孔镍微电极作正极，电镀锌微电极作负极，配加碱液以及PDMS封盖处理，组装得到基于重构外延相的镍锌微电池。本发明制备的镍锌微电池具备超高倍率性能与电化学稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109841422A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201910212697.1
申请日：2019-03-20
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及一种Co3O4/Co2P同轴异质结构材料及其制备方法，包括有以下步骤：1)将氢氧化钴纳米线采用磷化氢气氛烧结得到磷化钴纳米线；2)将磷化钴纳米线经过快速退火处理，使表面层氧化，得到Co3O4/Co2P同轴异质结构微型超级电容器电极材料。本发明的有益效果是：对于Co3O4/Co2P同轴异质结构，外层的Co3O4将提供赝电容容量，而内层的Co2P具有高导电性；同时，因电化学反应仅发生在材料表面或近表面，在较高的反应电势下由于内层Co2P无法直接接触吸附溶液离子，并不会催化水分解。因此，该同轴异质结构保持了较高的容量和循环稳定性，也具有较好的电子传导能力，倍率性能得到提高。
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公开(公告)号：CN106444303A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201611066888.4
申请日：2016-11-25
Applicant: 武汉理工大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70716 , G03F7/70808
Abstract: 本发明涉及微加工工艺中的微对准操作技术领域，特指一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具及应用，包括样品夹具，样品夹具采用合金或铁氟龙作为主体材料，样品夹具表面的中央位置设有与待对准样品尺寸相匹配的样品夹具凹槽，样品夹具凹槽上下位置分别设有固定作用的螺纹通孔。将样品嵌入到样品夹具凹槽中，利用光刻机的左右显微镜对上下两个样品进行对准，然后采用螺钉将上样品和下样品的相对位置固定，以用于后续工艺。本发明对于微加工工艺中的样品精确微对准操作和三维结构的制作具有极强的适用性，在对准夹具材料选择、不同尺寸和不同形状样品的对准操作上具有极高的灵活性，可以方便实现三维微结构的高精度对准及集成。
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公开(公告)号：CN105810454A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610209074.5
申请日：2016-04-06
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明公开了一种碳/氧化镍/镍图案化微电极的制备工艺，包括以下步骤：1)中空氧化镍纳米球合成；2)光刻胶?氧化镍纳米球复合材料微电极的图案化：将中空氧化镍纳米球和光刻胶进行机械搅拌和超声处理，将所得混合物涂覆于电极基板上，再进行光刻、显影、润洗；3)微电极高温热解。本发明创新性地利用光刻胶的光致抗蚀性，并以光刻胶中的感光树脂为碳源与水热法合成的中空氧化镍纳米球进行复合，制得碳/氧化镍/镍图案化微电极，实现了热解碳?氧化镍复合材料的微电极化目的，且所得微电极表现出良好的电化学性能和机械性能，应用前景广阔。
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公开(公告)号：CN103700826B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310732918.0
申请日：2013-12-26
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明涉及超薄预锂化V6O13纳米片及其制备方法，其具有超薄结构，长度500-2000纳米，厚度3-5纳米，采用下述方法制得，包括有以下步骤：1）取超薄V6O13纳米片，加入到去离子水溶液中，超声分散，然后加入锂源并继续超声分散，然后将所得的溶液加入反应釜中进行反应，取出沉淀物；2）用去离子水和乙醇反复洗涤步骤1）所得沉淀物，离心过滤，然后在烘箱中烘干即得。本发明结合工艺简单，在较低的温度下通过低温烧结即可实现超薄纳米片的合成，经过简单水热法即可实现锂离子对超薄纳米片的预嵌入，没有改变其超薄结构，符合绿色化学的要求，利于市场化推广。
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公开(公告)号：CN104752282A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510089590.4
申请日：2015-02-27
Applicant: 武汉理工大学
Abstract: 本发明提供一种用于微纳器件制作的样品处理装置，包括由铁氟龙制作的洗显装置与甩干装置，所述洗显装置包括底盘、通过螺丝固定在所述底盘上的提杆，所述底盘上设有若干矩形凹槽与圆形通孔，所述圆形通孔从所述底盘底面贯穿至所述矩形凹槽底部；所述甩干装置中间设有凹槽、周围设有镂空的齿状边缘；还提供了一种用于微纳器件制作的样品清洗、显影、润洗的处理工艺。本发明的样品处理装置，用于样品清洗、显影、润洗与甩干过程盛放微纳器件，使样品能得到稳定可靠的清洗与甩干；本发明的样品处理工艺，可显著提高样品清洗、显影、润洗的效率，缩短微纳器件制作周期。
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