公开(公告)号：CN106444303A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201611066888.4

申请日：2016-11-25

Applicant: 武汉理工大学

Inventor： 何亮 ,  潘唐钰 ,  洪旭峰

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70808

Abstract: 本发明涉及微加工工艺中的微对准操作技术领域，特指一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具及应用，包括样品夹具，样品夹具采用合金或铁氟龙作为主体材料，样品夹具表面的中央位置设有与待对准样品尺寸相匹配的样品夹具凹槽，样品夹具凹槽上下位置分别设有固定作用的螺纹通孔。将样品嵌入到样品夹具凹槽中，利用光刻机的左右显微镜对上下两个样品进行对准，然后采用螺钉将上样品和下样品的相对位置固定，以用于后续工艺。本发明对于微加工工艺中的样品精确微对准操作和三维结构的制作具有极强的适用性，在对准夹具材料选择、不同尺寸和不同形状样品的对准操作上具有极高的灵活性，可以方便实现三维微结构的高精度对准及集成。

公开(公告)号：CN106444303B

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201611066888.4

申请日：2016-11-25

Applicant: 武汉理工大学

Inventor： 何亮 ,  潘唐钰 ,  洪旭峰

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明涉及微加工工艺中的微对准操作技术领域，特指一种用于微纳器件微组装中对准操作的样品夹具及应用，包括样品夹具，样品夹具采用合金或铁氟龙作为主体材料，样品夹具表面的中央位置设有与待对准样品尺寸相匹配的样品夹具凹槽，样品夹具凹槽上下位置分别设有固定作用的螺纹通孔。将样品嵌入到样品夹具凹槽中，利用光刻机的左右显微镜对上下两个样品进行对准，然后采用螺钉将上样品和下样品的相对位置固定，以用于后续工艺。本发明对于微加工工艺中的样品精确微对准操作和三维结构的制作具有极强的适用性，在对准夹具材料选择、不同尺寸和不同形状样品的对准操作上具有极高的灵活性，可以方便实现三维微结构的高精度对准及集成。