公开(公告)号：CN106876520A

公开(公告)日：2017-06-20

申请号：CN201710046206.1

申请日：2017-01-22

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 巢炎 ,  刘先欢 ,  王志权 ,  姚安琦 ,  吴立群 ,  席俊华

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0236 ,  C23F1/08 ,  C23F1/24 ,  B82Y40/00

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/1804 ,  B82Y40/00 ,  H01L31/02363

Abstract: 本发明公开了一种控制硅纳米线走向的装置，包括反应釜体、可调电源、控制单元、盛放蚀刻溶液器皿和泵，反应釜体的中部设有硅片架，反应釜体由硅片架及硅片平分为左右两个腔室，盛放蚀刻溶液器皿通过管道分别连接至两个腔室，泵设于管道的前端，反应釜体的顶部设有端盖，端盖上设有环形导轨和滑块，滑块与环形导轨相匹配，两个腔室分别设有惰性电极，惰性电极与硅片架相对面为平面，惰性电极通过穿设于端盖及滑块的长螺栓与可调电源电连接，两个长螺栓通过连杆连接，惰性电极与可调电源电连接，可调电源和泵分别受控制单元的控制。本发明制备可控硅表面纳米结构的装置具有操作简单、生产效率高、产品质量高等特点，适合大规模产业化应用。

公开(公告)号：CN105599515A

公开(公告)日：2016-05-25

申请号：CN201511009687.6

申请日：2015-12-29

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 巢炎 ,  高聪 ,  史超强 ,  何强 ,  王宇宸 ,  宋荣军

IPC: B44B3/04 ,  B44B3/00 ,  B44B3/06

Abstract: 本发明公开了蛋雕自动雕刻机。现有蛋雕机工艺复杂、成本高，只能适用于较大蛋壳的雕刻。本发明包括蛋壳夹持旋转机构、刻刀环绕旋转机构、水平进给机构和主体支架；蛋壳夹持旋转机构夹持蛋壳并完成旋转运动；刻刀环绕旋转机构环绕蛋壳完成绕蛋壳中心旋转运动，并带动水平进给机构；水平进给机构装夹电动刻刀并带动电动刻刀3-2实现水平进给雕刻运动；本发明适合从鸡蛋到鸵鸟蛋等不同大小及种类蛋的雕刻，普遍性强，能够快速自动的在蛋壳上雕刻出简单的文字。

公开(公告)号：CN104818532A

公开(公告)日：2015-08-05

申请号：CN201510173473.6

申请日：2015-04-14

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 巢炎 ,  焦晓东 ,  郑武永 ,  姚安琦 ,  吴立群

IPC: C30B33/10 ,  C25F3/14 ,  C25F3/12 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明公开了一种基于外加电场制备硅纳米结构材料的方法，其按如下步骤：(1)、将洁净的硅片放入氢氟酸与硝酸银的混合溶液中，使硅片表面沉积一层银薄膜；(2)、将步骤(1)的硅片镀膜后立刻放入腐蚀液内，腐蚀液盛于容器中，容器两侧固定一对惰性电极，惰性电极浸入腐蚀液中；(3)、步骤(2)完成后，立刻打开惰性电极电源，腐蚀一段时间得到硅纳米结构材料。本发明方法只需要改变电场大小这一单一变量即可实现控制催化剂颗粒腐蚀路径。该方法简单易行，利于规模化生产，而且提高了硅纳米结构材料在太阳能电池、锂离子电池、热电器件以及精密传感器等方面的应用性能。

公开(公告)号：CN203617322U

公开(公告)日：2014-05-28

申请号：CN201320709530.4

申请日：2013-11-11

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 吴立群 ,  蔡耀中 ,  巢炎 ,  杨贤龙 ,  王亚星

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本实用新型公开了一种网格化的多晶硅微纳加工装置。目前制备多晶硅太阳电池的减反射层效果欠佳。本实用新型中每个超声波发生器控制器的输入端及摄像机均与电脑连接；每个超声波发生器控制器的输出端与一个换能器的尾部连接，每个换能器的头部与一个变幅杆的尾部螺纹连接，每个变幅杆的头部与一个平面超声工具头的尾部螺纹连接；反应观察室为透明的密闭容器，每个平面超声工具头的头部均伸入反应观察室内；反应观察室与每个平面超声工具头相对的内侧壁处分别固定设置有一块声波反射板；反应容器设置在反应观察室内，且设置在平面超声工具头与声波反射板之间。本实用新型可提高多晶硅表面减反效果，从而提高多晶硅光伏电池光电转化效率。

公开(公告)号：CN205210204U

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201520916671.2

申请日：2015-11-17

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 姚安琦 ,  吴立群 ,  巢炎 ,  翟壮 ,  庄龙 ,  夏梦清

IPC: G01R31/00

Abstract: 本实用新型公开了一种超声微气泡带电性测量的装置，包括微注射泵、第一超声换能器、第二超声换能器、第一超声发生器、第二超声发生器、第一声变幅杆、第二声变幅杆、发射板、反射板，微注射泵上设有针头，针头正对水槽之内；第一超声发生器电联接第一超声换能器，第一超声换能器通过第一声变幅杆与第一发射板相联，第一发射板正对水槽；反射板正对水槽且处于第一发射板的正对侧；第二超声发生器电联接第二超声换能器，第二超声换能器通过第二声变幅杆与第二发射板相联，第二发射板正对水槽。本实用新型超声微气泡带电性测量的装置结构简单、操作方法简单易行，测出气泡带电性对如何控制气泡以及如何控制湿法腐蚀具有重大意义。

公开(公告)号：CN206293412U

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201621177329.6

申请日：2016-10-27

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 巢炎 ,  刘先欢 ,  姚安琦 ,  王志权

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型属于硅表面加工技术领域，具体涉及一种制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置。本实用新型电磁耦合装置包括：反应釜、电源；反应釜包括筒状的衔铁，衔铁的上口、下口分别由顶盖、底盖封住，衔铁的内壁安装有对称的两石墨电极，两侧石墨电极的相对面相平行；衔铁外壁缠绕有漆包线绕线组；衔铁内安装托架，托架用于安放硅片，硅片处于两石墨电极之间且与两石墨电极的相对面相平行，硅片将反应釜分隔成两个腔室；电源的一正负极分别与两石墨电极板电连接，电源的另一正负极还与漆包线绕线组两端电连接。本实用新型制备可控硅表面纳米结构的电磁耦合装置具有操作简单、智能化程度高、生产效率高等特点，适合大规模产业化应用。