公开(公告)号：CN114622277A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202210173699.6

申请日：2022-02-24

Applicant: 季华实验室

Inventor： 高桑田 ,  王鑫 ,  毛朝斌 ,  仇礼钦 ,  黄吉裕 ,  刘欣然

IPC: C30B25/12 ,  C30B25/14 ,  C30B25/16

Abstract: 本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种用于反应腔的气浮系统及方法，其包括：托盘，用于放置晶圆；供气装置，用于供应气浮气体；悬浮气路，与所述供气装置连接，用于朝所述托盘底面释放所述气浮气体以驱动所述托盘浮起；旋转气路，与所述供气装置连接，用于朝所述托盘侧面释放所述气浮气体以驱动所述托盘旋转；控制器，用于在外延生长开始前，控制所述悬浮气路驱动所述托盘悬浮，并在经过第一预设时间后，控制所述旋转气路驱动所述托盘旋转；只有在托盘悬浮后，控制器才会控制旋转气路释放气浮气体以驱动托盘旋转，从而实现先使托盘悬浮再使托盘旋转，避免出现由于托盘未浮起就开始旋转而造成托盘与底座磨损的情况。

公开(公告)号：CN113960923A

公开(公告)日：2022-01-21

申请号：CN202111107914.4

申请日：2021-09-22

Applicant: 季华实验室

Inventor： 黄秀韦 ,  董志岩 ,  陈海龙 ,  李志建 ,  邓涛 ,  霍震 ,  古家威 ,  何昊名 ,  高桑田

IPC: G05B13/02

Abstract: 本发明涉及自动化控制技术领域，具体公开了一种基于离散扩展状态观测器的无模型自适应滑模控制方法，该方法包括以下步骤：将带有外部扰动的离散非线性系统转换为仿射系统；采用自适应方法估计线性参数项，并采用离散扩展状态观测器估计未知非线性时变项；定义跟踪误差的收敛界，并将受收敛界约束的跟踪误差转化为无约束变量；根据无约束变量设计滑模函数；根据仿射系统和滑模函数设计控制器；该方法基于离散扩展状态观测器将原本带有外部扰动的离散非线性系统能转换为仿射系统，以实现系统的简化和重建，并实现带有外部扰动的离散非线性系统的闭环稳定控制。