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公开(公告)号：CN108535881A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810362414.7
申请日：2018-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B27/28
Abstract: 本发明提供了一种具有超表面的钙钛矿天线，包括从上至下层叠设置的钙钛矿层、金膜和基底。本发明还提供了一种具有超表面的钙钛矿天线的制备方法。本发明的有益效果是：利用金膜设计了在反射模式下工作的钙钛矿天线为基的超表面调控光束，钙钛矿天线在可见光范围内折射率高，能够在较小的厚度下实现在-π~π的范围内调控光的相位，并进一步应用于异常反射，异常反射的效率较高，并且，钙钛矿天线便于制备。
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公开(公告)号：CN106298414B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201610659049.7
申请日：2016-08-10
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01J37/317 , H01L21/266
Abstract: 本发明提供了一种离子注入技术控制合成后钙钛矿光学特性的方法，所述钙钛矿为单晶钙钛矿微结构，所述单晶钙钛矿微结构含有第一卤素离子；对所述单晶钙钛矿微结构，采用第二卤素用离子注入方法进行离子注入，将第一卤素离子进行部分取代；其中，所述第二卤素不同于第一卤素。采用本发明的技术方案，制备简单，采用离子注入的方法可以选择性地调谐光致发光和调谐一个卤化铅钙钛矿器件上的不同位置的激射行为，实验的操作以及验证比较容易，方法简单、可行，应用前景广阔，为微纳光电领域和光子器件领域的发展提供新思路。
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公开(公告)号：CN105092556A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510417395.X
申请日：2015-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G01N21/65
Abstract: 本发明提供了一种G-SERS基底的制备方法及癌细胞检测方法，G-SERS基底的制备方法步骤1：金纳米结构的制备：步骤2：制备石墨烯-金纳米结构基底；步骤3：银纳米结构-石墨烯-金纳米结构器件的制备。癌细胞检测方法，利用表面增强拉曼的原理设计并开发出一种简单、通用、快捷、成本低的方法实现了对癌细胞的检测。尺寸小：该方法制备的微纳结构器件尺寸可以小到微米。测试效率高：利用金属微纳结构对表面拉曼进行增强，增加入射光与物质的作用几率，能够使癌细胞的结构信息更为灵敏的表达出来，提高了检测和诊断的效率。不需要对癌细胞进行预处理和标记：克服了现有技术需要提前对癌细胞进行标记的困难，同时提高了检测诊断的准确性和可靠性。
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公开(公告)号：CN104749665A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510164384.5
申请日：2015-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B3/00
CPC classification number: G02B3/00
Abstract: 本发明提供了一种基于介质材料的平面透镜单元、平面透镜及制备方法，单元包括高折射率介质材料组成的天线、二氧化硅填充层、银镜和二氧化硅基底。平面透镜包括以中心对称分布的平面透镜单元，平面透镜单元的天线在x轴上呈周期分布，在y轴上以y=0为对称中心对称分布。制备方法为：第一步是在二氧化硅基底上覆盖一层银膜，然后在银膜表面上继续用电子束蒸镀覆盖填充层二氧化硅和硅膜；第二步是在硅膜上旋涂光刻胶，然后用电子束曝光技术完成光刻胶的刻蚀和显影；第三步是采用反应离子束刻蚀技术实现对硅膜的刻蚀；第四步是经过剥离过程得到最终的纳米硅天线。该结构可以提高一个数量级的聚焦效率，因此具有很高的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN104090321A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410318204.X
申请日：2014-07-04
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B5/20
Abstract: 本发明提供了一种基于硅的中红外区磁谐振超材料结构，其包括两部分，一部分是基板，另一部分是硅立方块，所述基板为玻璃基板，所述硅立方块周期性分布在所述玻璃基板上，硅立方块的边长为L，L的取值范围是在1微米至5微米之间，硅立方块的间距为W，W的取值范围是在1微米至5微米之间。还提供了上述的基于硅的中红外区磁谐振超材料结构的制备方法，采用光刻的方法获得上述结构。本发明有效减少电导损耗，实现集中在中红外波段的应用，如过滤器、偏振器、光谱发射器等的设计，特提出以下基于硅的中红外区磁谐振超材料结构以及相应的制备方案，真正实现低损耗、极化不敏感、可以三维扩展、低成本的磁谐振超材料。
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公开(公告)号：CN115403002B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202210982168.1
申请日：2022-08-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种倾斜微纳结构的制备方法，其包括如下步骤：步骤S1，在基底上制备待刻蚀材料膜层；步骤S2，在待刻蚀材料膜层上制备图案化掩模层；步骤S3，将步骤S2制备了图案化掩模层的样品放在槽型载件的斜面上，将槽型载件放置于干法刻蚀机台腔体的下电极上，斜面朝上，进行刻蚀；所述槽型载件内，斜面与水平面的夹角为5°‑70°，所述槽型载件的开口上覆盖金属隔离网；步骤S4，移除残余的掩模层。采用本发明的技术方案的刻蚀方法，能够使微纳结构倾斜角在5‑70度可控，精细控制的倾斜角度能够大大减小所设计微纳结构的制备误差。而且不受材料限制，适用与多种不同介质材料。
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公开(公告)号：CN110007451B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910277288.X
申请日：2019-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统，所述制备方法采用二氧化钛超表面制备由两个不同焦距、直径可小达100μm的超透镜组成的超表面显微镜，还提供了一种光路测量系统。与现有技术相比，本发明的超透镜不存在球差；结构简单，由2个简单的平面超透镜组成，不需要添加额外的透镜组；尺寸很小，直径可做到100μm，有利于集成；本发明的制备方法均采用常规试剂和仪器，各步骤易行，可操作性强；本发明的光路测量系统简单、快捷，可快速对超表面显微镜成品进行测量。
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公开(公告)号：CN113218625A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110245352.3
申请日：2021-03-05
Applicant: 香港理工大学深圳研究院 , 复旦大学 , 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种基于几何相位超构表面的标准相位检测元件，包括：基板和设置于所述基板上的相位精准度检测模块和空间分辨率检测模块，所述相位精准度检测模块由具有不同旋转角度的若干第一超构表面组成，所述空间分辨率检测模块由具有不同尺寸和不同间距的若干第二超构表面组成。本发明通过集成不同旋转角度的超构表面来产生多阶相位分布，实现相位测量系统的相位测量精准度检测，通过调节超构表面的整体尺寸和超构表面之间的间距，实现相位测量系统的空间解析度检测。
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公开(公告)号：CN112987290A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110250375.3
申请日：2021-03-08
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳) , 香港理工大学
Abstract: 本发明提供了一种可见光消色差超构透镜及其制备方法，该可见光消色差超构透镜包括亚波长的基本单元，所述可见光消色差超构透镜基本单元的相位分布ϕ(r,ω)满足公式（1），排布在r处的基本单元同时满足如公式（3）的中心频率ωo对应的相位分布ϕo(r,ωo)和如公式（4）相应的群延迟大小。采用本发明的技术方案，在420‑700纳米波长范围内，实现宽带消色差，并且聚焦效率得到显著提升，仿真结果表明其平均效率高达88.3%以上；且消色差超构透镜的数值孔径得到了提升；纵深比也得到提升。
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公开(公告)号：CN109599497B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201811403918.5
申请日：2018-11-23
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 一种基于微纳结构的可调色钙钛矿LED及其制备方法，其整体器件结构从下到上依次包括：氧化铟锡层、二氧化钛层、苯乙烯磺酸盐层、钙钛矿层、1,3,5‑三(1‑苯基‑1H‑苯并咪唑‑2‑基)苯层和氟化锂/铝层，所述二氧化钛层作为散射体，包括多个单层且周期性排列的二氧化钛微纳结构，各二氧化钛微纳结构的纵截面为上边长短于下边长的梯形，各二氧化钛微纳结构的上、下表面横截面均为正方形，各二氧化钛微纳结构之间整齐排列并且形成清晰边缘，本发明还公开了一种制备方法。相比现有技术，本发明的结构简单、制备方法大大简化，转换效率高，能耗低，是一种新型高亮度、高灵敏、大颜色调整范围的可调色钙钛矿LED。
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