一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪

    公开(公告)号:CN118463956B

    公开(公告)日:2024-11-29

    申请号:CN202410919407.8

    申请日:2024-07-10

    Abstract: 本发明为一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪。陀螺仪为平面Z轴陀螺,整体结构为旋转对称布置,包括中间的多环结构,设置在多环结构外侧的8或12个外侧质量块,设置在多环结构内侧的8或12个内侧质量块,中间的多环结构不与任何锚点直接连接,每一组相对的内、外质量块只能沿同一径向往复运动,不能产生周向位移;多环结构的振型是差分的2θ模态或者3θ模态,两侧质量块反向运动、且运动方向与多环结构差分的2θ模态或3θ模态振型波腹方向一致。本发明提高陀螺仪的动态稳定性和抗振性,抑制共模误差和偏移模态的干扰,提高陀螺仪的机械灵敏度,满足业界对MEMS器件在复杂环境中的鲁棒性需求。

    基于Pt基催化剂的常温氢氧反应安全消除氢气系统及方法

    公开(公告)号:CN118594249A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410791027.0

    申请日:2024-06-19

    Abstract: 本发明提出一种基于Pt基催化的常温氢氧反应系统及方法,用于在常温条件下安全消除受限空间内的氢气。密闭反应室设有催化剂填充区,安装有氢气浓度传感器、温度传感器和压力传感器;过滤装置安装在进气口用于过滤反应气体中杂质,安装在出气口用于气液分离;控制器包括温度传感器、气体流量控制器和微处理器,用于实时监控和调节氢气和空气的流量;安全阀用于检测到异常时释放反应室内部气体。系统能够在常温环境下维持稳定的反应条件,通过精确的控制器调节氢气和空气的流量和比例,显著提高了氢气转化率和操作安全性。该系统适用于氢能源储存、实验室氢气处理、涉氢环境舱等多种场合,对于推动氢能源的安全应用和促进氢经济的发展具有重要意义。

    一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪

    公开(公告)号:CN118463956A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410919407.8

    申请日:2024-07-10

    Abstract: 本发明为一种电极外置的双差分多质量块耦合环形MEMS陀螺仪。陀螺仪为平面Z轴陀螺,整体结构为旋转对称布置,包括中间的多环结构,设置在多环结构外侧的8或12个外侧质量块,设置在多环结构内侧的8或12个内侧质量块,中间的多环结构不与任何锚点直接连接,每一组相对的内、外质量块只能沿同一径向往复运动,不能产生周向位移;多环结构的振型是差分的2θ模态或者3θ模态,两侧质量块反向运动、且运动方向与多环结构差分的2θ模态或3θ模态振型波腹方向一致。本发明提高陀螺仪的动态稳定性和抗振性,抑制共模误差和偏移模态的干扰,提高陀螺仪的机械灵敏度,满足业界对MEMS器件在复杂环境中的鲁棒性需求。

    一种应用于MEMS力敏感器件的二级应力隔离结构

    公开(公告)号:CN109110724B

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN201811158479.6

    申请日:2018-09-30

    Inventor: 张晶 苏岩 刘雨东

    Abstract: 本发明公开了一种应用于MEMS力敏感器件的二级应力隔离结构(3),包括外部框架结构(14)以及设置在外部框架结构(14)内的力敏感结构(9),所述外部框架结构(14)包括内框架(15),所述内框架(15)的上下两端分别通过至少一个应力集中梁(12)与对应的应力衰减梁(13)连接,所述应力衰减梁(13)通过多个柔性连接(11)与位于柔性连接(11)内部的固定锚点(10)相连字,本发明能够实现二级应力释放,所述柔性连接(11)为一级应力隔离,应力衰减梁(13)与应力集中梁(12)为短粗的刚性梁构成过渡框架,作为二级应力隔离,能够在敏感结构层上隔绝敏感结构工艺与封装过程中产生的应力。

    一种速率积分半球谐振陀螺数字ASIC电路系统

    公开(公告)号:CN118376219A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410556818.5

    申请日:2024-05-07

    Abstract: 本发明公开了一种速率积分半球谐振陀螺数字ASIC电路系统,包括ADC接口模块;信号解调模块,得到包含陀螺谐振子主驻波能量、陀螺谐振子正交波幅度、陀螺谐振子驻波信号与载波信号的相位差、陀螺谐振子进动角度信息;频相控制模块,输出与陀螺谐振子的载波信号;能量控制模块,将陀螺谐振子振动能量稳定到固定值;正交控制模块,将正交波幅度抑制到0;角度检测模块,对陀螺谐振子进动角度解算并输出角度参与正交分解;RS232接口模块,将角度检测模块的输出进动角度发送至上位机和接收控制参数;信号调制、正交分解与合成模块,用于实现陀螺驱动信号的调制、正交分解与合成;以及DAC接口模块。本发明实现了数字控制电路的集成化。

    检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法

    公开(公告)号:CN113092817B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202110233189.9

    申请日:2021-03-03

    Inventor: 吴天豪 张晶 苏岩

    Abstract: 本发明提供了一种检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法,该加速度计工作平面层包括一个敏感质量块、三个谐振器,其中两侧的谐振器包括一个惯性力放大杠杆结构和一组差分梳齿驱动检测结构,相邻谐振器之间由等间距平板电容提供静电力构成静电耦合。当加速度较小时,由电路控制三个谐振器处于不同电位,使得三个谐振器间产生静电耦合构成模态局部化检测模式,通过振幅比检测加速度,当加速度超过预设临界值时,由电路控制取消中间谐振器的电位,使得各谐振器之间不再相互耦合,处于单独谐振状态,即由模态局部化模式切换成振梁式,通过差分谐振频率检测加速度。本发明能实现大量程、高灵敏度、大动态测量范围的高精度加速度计。

    可实现增益、带宽独立调控的低噪声微弱信号检测接口电路

    公开(公告)号:CN114553208A

    公开(公告)日:2022-05-27

    申请号:CN202210042912.X

    申请日:2022-01-14

    Inventor: 王皓 张晶 苏岩

    Abstract: 本发明公开了一种可实现增益、带宽独立调控的低噪声微弱信号检测接口电路,该接口电路用于将传感器的微弱检测电流信号转换为电压信号。本接口电路包括两级放大拓扑:以电容C1、寄生电容Cp、伪电阻Rb、电阻R1、电阻R2、跨导放大器OTA1构成的第一级T型放大;电容C2、电容Cc、电阻Rf、跨导放大器OTA2构成的第二级跨阻放大。该电路可通过提高R2/R1、C2/C1的比值提高增益而无需增大Rf,电阻Rb和电容Cc可单独调整带宽,极大地解决了增益、带宽与噪声之间的制约问题;此外该电路可实现极低的等效输入电流噪声,大大提高了检测电流信号的信噪比。

    一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法

    公开(公告)号:CN113552386A

    公开(公告)日:2021-10-26

    申请号:CN202110637867.8

    申请日:2021-06-08

    Inventor: 吴天豪 张晶 苏岩

    Abstract: 本发明公开了一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法,该加速度计包括至少一个敏感质量块、至少一对差分谐振器、驱动模块和检测模块;所述谐振器与敏感质量块非接触式连接,每个差分谐振器的两侧分别设置对应的驱动模块和检测模块,并与差分谐振器之间非接触式连接。所述加速度计控制方案包含两套闭环回路,其中所述差分谐振器受闭环驱动控制实现自激振荡,所述敏感质量块受电压反馈回路使得敏感质量块在加速度输入下不发生偏移。本发明避免多源应力互相传递干扰和电路噪声干扰,提高系统精度和稳定性,且本发明工作于该控制模式下输出与加速度成线性关系,实现了高精度、高稳定性、环境依赖性小和结构设计便利的要求。

    一种新型直流电压下垂控制方法

    公开(公告)号:CN110492513A

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201910470139.5

    申请日:2019-05-31

    Abstract: 本发明公开了一种新型直流电压下垂控制方法。该方法将直流电网内的电压源型换流站分为4组,并针对每一个换流站组设计电压裕度和死区来决定各电压源型换流站组参与协调控制的优先等级;已有的电压裕度和死区将不再受电压源型换流站个数变化的影响,并且优先使得接入强交流系统的电压源型换流站参与协调控制,而尽量减少接入弱交流系统的电压源型换流站在协调控制过程中受到的影响。当有新的电压源型换流站加入系统或系统内某个电压源型换流站退出运行时,无需修改己有的各换流站组的电压裕度和死区,因此使得本发明的方法具备较强的可靠性和适应性,十分适合作为未来直流电网的协调控制方法。

    一种基于DC-DC降压电源换流器系统的容错采样控制方法

    公开(公告)号:CN109450251A

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201811547437.1

    申请日:2018-12-18

    CPC classification number: H02M3/156 H02M1/32 H02M2001/325

    Abstract: 本发明公开了一种基于DC-DC降压电源换流器系统的容错采样控制方法,包括以下内容:通过坐标变换,推导出考虑元件不确定性和可能的执行器故障的DC-DC降压电源换流器系统的数学模型,然后通过DC-DC降压电源换流器的状态方程构造相应的李雅普诺夫函数,通过设计相应的采样控制信号与采样周期,得到了基于DC-DC降压电源换流器系统的容错采样控制方法。本发明借助了控制方法设计的简便性,在基于DC-DC降压电源换流器系统采样控制方法的基础上加入容错控制,使得系统具有更好的抗扰动性能,提高了系统的动态性和鲁棒性,具有较高的工程实用价值。

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