利用CVD方法生长石墨烯薄膜的载具

    公开(公告)号:CN209242684U

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201821846250.7

    申请日:2018-11-09

    Abstract: 本实用新型提供了一种利用CVD方法生长石墨烯薄膜的载具,用于放置在CVD设备的石英管内。载具包括底座、矩形底板以及多个矩形托板。矩形底板水平地设置在底座上方,且固定连接于底座;多个矩形托板用于承载石墨烯生长衬底,每一矩形托板上表面的四周设置有多个支撑体,石墨烯生长衬底容纳于多个支撑体围成的空间,多个矩形托板可层叠地放置在矩形底板上,相邻两个矩形托板之间用支撑体隔开。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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