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公开(公告)号:CN118618508A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202410718225.4
申请日:2024-06-04
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: B62D57/032 , B81C1/00 , B81B7/02
Abstract: 本发明公开了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人及其制作方法,涉及微型机器人技术领域,爬行机器人包括运动足和本体,本体的两侧分别设置有多个运动足,多个运动足的延伸方向相同,各运动足均包括悬臂梁和第一材料,悬臂梁的一端与本体连接,另一端为自由端,悬臂梁上堆叠有第一材料,悬臂梁和第一材料之间设置有加热组件,第一材料的热膨胀系数大于悬臂梁,常态下,悬臂梁的自由端悬空,当加热组件通电产热时,运动足的自由端向下翘曲并与支撑面接触。本发明还提供了一种基于电热驱动的MEMS微型爬行机器人的制作方法,本发明提供的方案能够提高热驱动微型机器人的驱动效率以及结构拓展能力。
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公开(公告)号:CN118490175A
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN202410719194.4
申请日:2024-06-05
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于光学相干层析成像的皮肤定量评价方法及电子设备,属于皮肤检测技术领域,包括获取被检测皮肤区域的原始三维OCT图像数据;对原始三维OCT图像进行图像预处理操作,得到预处理后的三维OCT图像;对预处理后的三维OCT图像,分别从沿y方向堆叠的B‑Scan截面图像和沿x方向堆叠的B‑Scan截面图像中获取y方向和x方向上的皮肤深度图像,并将两个方向上的皮肤深度图像进行图像融合,生成修正后的皮肤深度图像;分别获取修正后的皮肤深度图像的深度、密度、纹理特征参数中的一种或多种,对被检测皮肤区域进行定量评价。本发明提供的皮肤定量评价方法,能对三维皮肤数据给出定量评价结果,显著提升评估精确性。
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公开(公告)号:CN118229550A
公开(公告)日:2024-06-21
申请号:CN202410358303.4
申请日:2024-03-27
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种用于三维图像自动拼接的方法、计算机设备和介质,属于图像处理技术领域,包括获取待拼接的三维图像组,所述三维图像组包括至少一对针对相同目标不同视角的图像,并对其进行标准化处理和图像增强操作;采用SIFT算法提取图像中的特征点,并获取每个特征点对应的特征描述子;基于获取的特征点与对应的特征描述子,对三维图像组进行匹配,得到匹配图像组,并生成特征匹配点间的匹配连线;基于匹配连线确定匹配偏移参数;基于匹配偏移参数对三维图像组进行拼接,并对拼接后得到的三维图像的拼接缝隙进行消除。本发明能有效解决现有图像配准方法在三维图像拼接上的局限性,以及三维图像自动拼接过程中出现的错位和拼接效果不佳等问题。
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公开(公告)号:CN117977163A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202311742589.8
申请日:2023-12-18
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹MEMS可调谐反射阵天线及其波束扫描实现方法,其中反射阵天线包括:MEMS阵列包括多个MEMS单元,每个MEMS单元包括基体,金属反射板,以及固定在金属反射板与所述基体之间的驱动组件;基板,MEMS阵列、电源接口和控制接口固定在基板上,控制接口用于对驱动组件进行控制,实现金属反射板的位移和偏转;馈源天线,位于基板设置有所述MEMS单元的一侧,用于辐射太赫兹波经过自由空间传播到所述MEMS阵列上。而扫描实现方法包括:确定MEMS单元的周期、确定MEMS单元的设置数量、确定馈源天线尺寸、确定各金属反射板的位移、确定各金属反射板的偏转角度、驱动组件控制。使得本申请具有扫描角度大、成本低、带宽大的优点。
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公开(公告)号:CN116736525A
公开(公告)日:2023-09-12
申请号:CN202310728230.9
申请日:2023-06-19
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种可高精度组装的MEMS光学扫描探头,涉及使用MEMS芯片实现直扫的内窥式探头领域,包括:安装基座,所述安装基座上设置有准直组件安装内腔、MEMS组件安装内腔、扫描镜组安装内腔、反射镜安装孔;所述准直组件安装内腔内安装有光纤准直器;所述MEMS组件安装内腔内安装有MEMS芯片基座,所述MEMS芯片基座上安装有FPCB和MEMS芯片;所述扫描镜组安装内腔上安装有扫描镜组;所述反射镜安装孔上安装有反射镜;本发明,可实现精密调节,有效提高探头整体成像质量;同时,MEMS芯片、扫描镜组可替换,能实现分辨率、视场大小在不同应用条件下的多种组合。
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公开(公告)号:CN116364385A
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN202211698049.X
申请日:2022-12-28
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明涉及一种集成磁芯的自卷曲电感,用于提高磁芯填充的良率以及器件制造良率,属于MEMS加工制造领域。本发明的目的是为了优化3D自卷曲功率电感制造工艺,提高磁芯填充良率及器件制造速率,且实现器件全流程制造工艺与MEMS工艺相互兼容,提供一种集成磁芯的自卷曲电感。自卷曲电感包含衬底、磁芯、结构层下层薄膜、结构层上层薄膜、金属走线。其中,结构层下层薄膜,结构层上层薄膜和金属走线自下而上顺序堆叠于衬底上。磁芯沉积在结构层上层薄膜端部。该方案具有磁芯大小形貌可控、与MEMS工艺和IC工艺兼容、低成本、可量产等优势。
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公开(公告)号:CN116320960A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310354785.1
申请日:2023-04-06
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: H04R31/00
Abstract: 本发明公开的一种电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器及其制造方法。所述电磁式大声阻活塞运动式MEMS扬声器,包括基底、腔体、电磁式驱动组件、连接组件、振膜;所述基底包括基座和沿所述基座厚度方向延伸的支撑结构,所述支撑结构的四周围合从而形成所述腔体;所述连接组件用于连接所述振膜和所述支撑结构;所述振膜为悬空结构且悬设于所述腔体中;所述振膜与所述连接组件不共面;所述振膜的垂直方向的位移范围一般不超过所述空腔高度范围;所述电磁式驱动组件包括可动部件和固定部件;所述可动部件构成所述振膜的一部分,包含线圈和磁性材料中的一种;所述固定部件位于所述基底中;所述电磁式驱动组件通过电磁力带动所述振膜沿垂直方向做活塞式运动。
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公开(公告)号:CN114911051B
公开(公告)日:2023-03-31
申请号:CN202210493453.7
申请日:2022-04-26
Applicant: 北京理工大学 , 重庆虹势科技有限公司 , 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明公开的一种低温漂静电MEMS微镜及其实现方法,属于微光机电(MOEMS)领域。本发明包括镜面、扭转梁、梳齿驱动器、梳齿支撑结构,电隔离沟道,焊盘和空腔,微镜结构从上到下依次为结构层、绝缘层和衬底层。本发明通过优化微镜结构调节微镜阻尼,实现对静电MEMS微镜低角度温漂补偿;利用结构层和衬底层之间的热应力补偿结构层材料硅杨氏模量引入的频率温漂,实现低频率温漂补偿;在对静电MEMS微镜进行低角度温漂补偿、低频率温漂补偿基础上,提高静电MEMS微镜工作稳定性和运动控制的精确性。本发明无需额外增加位置检测模块和反馈控制,具有结构简单、体积小、成本低、易于实现的优点。所述低温漂包括低频率温漂和低角度温漂。
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公开(公告)号:CN119540276A
公开(公告)日:2025-02-28
申请号:CN202411616793.X
申请日:2024-11-13
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种宫颈病变区域辅助定位方法、设备及存储介质,属于图像处理技术领域,其方法包括获取宫颈锥切后的样本,并对样本进行定位与区域划分,确定扫描路径;获取宫颈锥切后的样本的OCT图像,并对OCT图像进行图像预处理操作;对预处理后的OCT图像,从沿x方向堆叠的B‑Scan截面图像、沿y方向堆叠的B‑Scan截面图像和沿z方向堆叠的B‑Scan截面图像中分别筛选出x方向、y方向和z方向上的疑似病灶区域所在截面图像的序号;对筛选结果序号的截面图像进行疑似病灶区域勾画;将各方向截面图像中的疑似病灶区域进行组合,形成三维体数据,定位其在样本的区域划分中的区域编号。本发明能对获取的宫颈数据进行处理,实现对疑似病灶位置的准确定位,降低漏检率。
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公开(公告)号:CN119503722A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411645929.X
申请日:2024-11-18
Applicant: 重庆邮电大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种静电和电热驱动结合的二自由度微夹持器及其制备方法,属于微机电系统领域,主要包括:外框以及设于所述外框内侧的内框;连接在所述外框与内框之间的电热驱动结构;设置在所述内框内的静电驱动结构和夹持器本体,所述静电驱动结构与所述夹持器本体连接;其中,所述电热驱动结构用于控制包含夹持器本体及静电驱动结构的内框进行面外运动;所述静电驱动结构用于控制夹持器本体进行面内运动,实现对微小物体进行面内、面外二自由度的操控。
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