公开(公告)号：CN116736525A

公开(公告)日：2023-09-12

申请号：CN202310728230.9

申请日：2023-06-19

Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院

Inventor： 蒲嘉 ,  綦廷祥 ,  陈倩 ,  谢会开 ,  王久江 ,  王效峰

IPC: G02B26/10 ,  G02B26/08 ,  G02B27/00 ,  G02B7/182

Abstract: 本发明公开了一种可高精度组装的MEMS光学扫描探头，涉及使用MEMS芯片实现直扫的内窥式探头领域，包括：安装基座，所述安装基座上设置有准直组件安装内腔、MEMS组件安装内腔、扫描镜组安装内腔、反射镜安装孔；所述准直组件安装内腔内安装有光纤准直器；所述MEMS组件安装内腔内安装有MEMS芯片基座，所述MEMS芯片基座上安装有FPCB和MEMS芯片；所述扫描镜组安装内腔上安装有扫描镜组；所述反射镜安装孔上安装有反射镜；本发明，可实现精密调节，有效提高探头整体成像质量；同时，MEMS芯片、扫描镜组可替换，能实现分辨率、视场大小在不同应用条件下的多种组合。