公开(公告)号：CN201210480Y

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200820108564.7

申请日：2008-06-13

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 尉秀英 ,  秦光荣 ,  熊玉华 ,  苑鹏 ,  杜军 ,  毛昌辉 ,  李腾飞 ,  张艳

IPC: H01J7/18 ,  H01J9/39

Abstract: 本实用新型提供一种热子型吸气元件，电阻加热丝螺旋作为涂敷吸气剂的支架，在螺旋丝上电泳一层氧化铝作绝缘层，吸气剂填充在螺旋空腔中，最后用吸气剂将整个螺旋包覆起来。吸气元件激活方式采用在螺旋丝两端加上电源直接对吸气元件进行加热，避免感应加热或烘烤加热给电真空器件整体带来的热损伤。通过对电阻加热丝材料、丝径、螺旋参数的选择，并根据吸气剂的质量来调节激活的电流或电压，获得所需的吸气剂激活温度。吸气元件可根据电真空器件内部形状调整螺旋丝的弧度，有效利用电真空器件内部空间，不需要单独的吸气剂室。本实用新型解决了吸气元件的放置对电真空器件结构设计的限制，及感应加热或烘烤加热给电真空器件整体带来热损伤的问题。

公开(公告)号：CN201099621Y

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200720149562.8

申请日：2007-06-11

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 熊玉华 ,  尉秀英 ,  秦光荣 ,  苑鹏 ,  毛昌辉 ,  杜军

IPC: C01B23/00

Abstract: 本实用新型公开了属于气体净化设备领域的一种高效的氩气净化装置，此净化装置包括两个装吸气剂的圆筒形金属壳、金属壳体内装吸气材料颗粒、每个吸气剂圆形腔体顶端与预抽真空的空间相连处装两个金属过滤网，防止在振动冲击条件下净化材料颗粒物的脱落并过滤氩气中的微小颗粒物。有通气和出气的管道、净化装置与气瓶和真空机组相连的阀门。本实用新型采用两级净化方式净化惰性气体氩气，其净化效果好，使氩气中的活性杂质气体从几个～十几个ppm减少到ppb量级。该净化器使用Zr－V－Fe合金颗粒和改性5A分子筛混合作为纯化材料，采用400～500℃保温40分钟的工艺对净化材料颗粒进行激活处理。在室温工作，减少能耗；不需要水冷，使用方便安全。

公开(公告)号：CN201309961Y

公开(公告)日：2009-09-16

申请号：CN200820123627.6

申请日：2008-11-10

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 杜军 ,  毛昌辉 ,  杨剑 ,  唐群 ,  杨志民 ,  熊玉华

IPC: C23C14/35

Abstract: 本实用新型公开了一种滚筒式磁控溅射设备，包括溅射室及内置的靶托和放置试样的样品台，所述的溅射室为双开门可抽拉式结构，靶托与放置试样的样品台分别固定在两门上，两门分别通过支撑架安置于导轨上且可沿导轨移动。所述固定靶托的门上安装有扳手，靶托可随溅射室门上的扳手联动，门与扳手为可绕固定支点左右180°旋转的结构。所述的放置试样的样品台为内置滚筒式结构。滚筒与固定其门可实现左右双向120°旋转并可实现上、下角度倾斜。其可用于粉末或颗粒表面薄膜沉积批量的制备且可以满足均匀镀膜的要求。

公开(公告)号：CN200958468Y

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200620134168.2

申请日：2006-10-25

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 熊玉华 ,  尉秀英 ,  秦光荣 ,  苑鹏 ,  杜军 ,  毛昌辉

IPC: F04B37/02

Abstract: 一种使用安全大抽速吸气剂泵，该吸气剂泵是在壳体内均布排列若干根支撑杆，每根支撑杆分别串接数片吸气剂片，形成吸气剂串，在壳体上设有一个开口为气剂泵口，并在壳体外部设有烘烤加热装置。壳体为圆筒状，若干根支撑杆的两端分别固定在两块定位板上，在两块定位板上分别均布设有若干个通孔。该气剂泵采用外部烘烤加热方式激活泵体内吸气剂，使用维修方便安全；泵体内部结构设计合理，有利于均匀加热吸气剂、有利于气体扩散，提高抽速。