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公开(公告)号：CN110926620B
公开(公告)日：2021-02-26
申请号：CN201811092252.6
申请日：2018-09-19
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种基于单晶硅基底的红外靶标及其制作方法、保护结构，红外靶标包括单晶硅基底，单晶硅基底的厚度为100μm，单晶硅基底上设置有镂空图形，单晶硅基底的反射面上设置有高反射率膜，高反射率膜上设置有保护膜；采用单晶硅作为基底，使其在镂空图形的加工过程中不会产生表面变形，并且便于抛光和镀膜，不产生塑性变形，保证靶标表面的平整度。
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公开(公告)号：CN110501023A
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201810464935.3
申请日：2018-05-16
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明提供了一种用于星敏感器的量子效率标定装置，该装置包括：激光器、光阑、起偏器、半波片、非线性晶体、待标定星敏感器、标准星敏感器、第一滤光片、第二滤光片、杂光陷阱、符合计数模块和数据处理及分析模块，非线性晶体在偏振状态调整后的激光的作用下产生纠缠光子对，纠缠光子对的一个光子经过第一滤光片进入待标定星敏感器，纠缠光子对的另一个光子经过第二滤光片进入标准星敏感器，符合计数模块用于对待标定星敏感器和标准星敏感器进行符合计数，数据处理及分析模块用于根据符合计数结果完成待标定星敏感器的量子效率标定。应用本发明的技术方案，以解决现有技术中星敏感器在极弱星光照度条件下的量子效率无法标定的技术问题。
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公开(公告)号：CN103175677B
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201310065833.1
申请日：2013-03-04
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及紫外光参数校准技术领域，具体的讲是一种紫外多参数校准装置，旋转平台内置于所述真空仓内，单色仪与真空仓相连接，紫外探测器通过单色仪测量真空仓内的紫外光源的辐射，或者紫外光源通过单色仪向真空仓提供紫外光源的辐射；标准紫外光源，待校准光源，标准紫外探测器，待校准探测器，紫外成像器和紫外成像参数校准系统均置于所述旋转平台之上，所述旋转平台根据控制信号沿着所述旋转平台的圆心旋转，其中，所述紫外成像器和紫外成像参数校准系统处于同一光路。通过上述实施例，能够在一个共用校准装置上实现紫外光源光谱辐射度校准、紫外探测器光谱响应度和紫外成像器参数的校准，节省了试验成本，提高了试验效率。
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公开(公告)号：CN102998089B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210478716.3
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种极远紫外探测器校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。其中，汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜，其包括摆镜和旋转位移平台，摆镜为两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜。探测器单元包括标准探测器和待测探测器。利用本发明可以实现在30nm～200nm范围内探测器相对光谱响应度校准。本发明提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。
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公开(公告)号：CN102998088B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201210478703.6
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种极远紫外光源校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。其中，汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜，其包括摆镜和旋转位移平台，摆镜为两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜。利用本发明可以实现30nm～200nm范围内光源光谱辐射参数校准。本发明提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102928343B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210458688.9
申请日：2012-11-15
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
IPC: G01N21/00
Abstract: 本发明提供了一种高温材料发射率测量方法和系统，其中所述系统包括大功率辐射源、扩束整形均束装置、真空仓、样品测试平台、旋转反射镜、显微成像装置、光谱切换装置、辐射能量成像测量装置、温度测量装置。本发明通过在被测样品上加工出黑体空腔，并用成像方法对被测材料表面和黑体空腔的辐射能量同时测量，采用窄带滤光片进行光谱选择，不仅能够保证被测材料和标准参考样品测量的同时性，也能够保证样品和参考源的完全等温，能够显著减少发射率测量的误差来源，提高测量准确度和测试的便利程度，有利于本发明的工程化应用。
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公开(公告)号：CN104483019A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201410705356.5
申请日：2014-12-01
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明提供了一种真空紫外成像光谱仪的校准方法，包括：校准真空紫外成像光谱仪的波长测量范围、波长准确度、光谱响应率、均匀性以及空间角分辨率。本发明还提供了一种真空紫外成像光谱仪的校准装置，包括：依次设置于光路中的光源、真空紫外单色分光系统、真空紫外积分球、真空紫外靶标、真空紫外准直光学系统，以及与需要被校的真空紫外成像光谱仪可切换地设置于真空紫外准直光学系统的输出端的真空紫外标准探测器和用以实现真空紫外成像光谱仪的空间角度变换的真空三维扫描机构。采用本发明的技术方案能够及时发现真空紫外成像光谱仪设计过程中存在的缺陷，同时能够有效保证真空紫外成像光谱仪获取数据的准确性。
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公开(公告)号：CN104359554A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410734892.8
申请日：2014-12-04
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
IPC: G01J3/10
Abstract: 本发明涉及一种紫外光谱可调谐光源，包括依次串联的光源系统、准直系统、色散系统、光谱调制系统、投影系统和均匀混光系统；所述准直系统以及所述投影系统均由球面反射镜组成，所述色散系统由平面衍射光栅和一个球面反射镜组成，所述光谱调制系统包括变形镜，所述紫外光谱可调谐光源能够实现光谱范围从300nm到400nm光谱组成成分可调以及光斑亮度可调。本发明可产生光谱成分任意分布及辐射亮度任意调节的复色光，使得有足够准确的光谱分布以进行成像光谱仪及星光敏感器的标定，可以有效减少标定误差，提升校准精度。
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公开(公告)号：CN103176280A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310065831.2
申请日：2013-03-04
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及光学系统设计技术领域，具体的讲是一种用于真空紫外光谱参数校准的光学系统，其中当进行探测器真空紫外相对光谱响应率校准时，所述复数个准直透镜中的特定准直透镜将110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源变为平行光发送给所述探测器；当进行光源真空紫外光谱辐照度校准时，所述复数个会聚透镜中的特定会聚透镜将经过漫射器的110nm-400nm波段范围内的特定波段的紫外光源会聚输出至标准探测器，其中经过特定漫射器对特定波段的紫外光源进行均光。通过本发明实施例使用组合式设计方法，使光学系统的7片透镜材料、波段范围和性能参数得到合理匹配，降低了成本，简化了系统结构。
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公开(公告)号：CN102998089A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201210478716.3
申请日：2012-11-23
Applicant: 北京振兴计量测试研究所
Abstract: 本发明提供了一种极远紫外探测器校准装置，包括光源、汇聚摆镜单元、紫外单色仪单元、探测器单元和压力差分单元。其中，汇聚摆镜单元包括一汇聚摆镜，其包括摆镜和旋转位移平台，摆镜为两块非反射面贴合的凹面反射镜，其反射镜中心轴线重合，其中一块反射镜的反射面A镀30nm～200nm反射膜，另一块反射镜的反射面B镀60nm～200nm反射膜。探测器单元包括标准探测器和待测探测器。利用本发明可以实现在30nm～200nm范围内探测器相对光谱响应度校准。本发明提供的整个装置体积小巧，接口丰富，在极紫外和远紫外辐射度校准和消除高级次光谱上有独特的设计，提高了极紫外和远紫外辐射校准的精度。
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