感应加热的热气泡驱动隔热型微泵及制备方法

    公开(公告)号:CN113175423A

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN202110336828.4

    申请日:2021-03-29

    Abstract: 感应加热的热气泡驱动隔热型微泵及制备方法用于微流体输送的热气泡驱动,具体为具有热源隔离功能的热汽泡驱动微泵,利用高频交变电流无线感应加热生成热气泡,实现对微泵的驱动。采用液体将热源和微流道中被泵送的液体隔离开,减少高温对溶液特性的影响。这种隔热型热气泡驱动微泵不但具有普通热气泡微泵结构简单易集成、工作电压低、寿命长等优点,而且还可以降低泵送液体的温度,减小因高温对溶液中部分生物或化学物质的损害,因此热汽泡驱动隔热型微泵具有更好的应用前景。

    一种采用硅扭簧的微推力测量装置

    公开(公告)号:CN108827512B

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN201810654290.X

    申请日:2018-06-22

    Abstract: 本发明是一种采用硅扭簧的微推力测量装置,具体为一种通过硅的微加工工艺制作的硅扭簧,利用硅扭簧和光路将微推进器的微推力位移进行放大,从而实现对微小推力的高灵敏度测量。微推力测量装置能够对微推进器的推力性能进行直接的测量和评估,在微推进器的研发和评估中起着重要的作用。此外,在一些新兴领域包括空间卫星控制技术、生物力学、微型机器人以及仿生学等也对微牛级、纳牛级以及更小力的推力测量技术有着越来越高的要求,本发明属于航空、航天、微力测量、微推进技术和微机械领域。

    一种基于移动气泡的可调节溶液浓度梯度的微混合器

    公开(公告)号:CN107824105B

    公开(公告)日:2020-05-08

    申请号:CN201710886386.4

    申请日:2017-09-27

    Abstract: 本发明是一种基于移动气泡的可调节溶液浓度梯度的微混合器,利用阵列的气泡在体声波的激励下发生振动,使气泡周围的流体中产生稳定的循环流动,实现局部流体的快速混合。本发明通过控制气液界面两侧的压强差,调节气泡的数量、位置和大小,控制不同位置的流体是否进行混合以及混合程度,从而按需生成不同变化规律的溶液浓度梯度。微流道中溶液浓度梯度的分布控制方法,在生命工程、医学、细胞分析等众多科学领域具有重要的应用和研究价值。

    一种基于电阻加热的非接触式常闭型相变微阀

    公开(公告)号:CN107676542B

    公开(公告)日:2018-12-25

    申请号:CN201710852940.7

    申请日:2017-09-20

    Abstract: 一种基于电阻加热的非接触式常闭型相变微阀,属于微流控技术领域。从上到下包括有主流道芯片、弹性薄膜Ⅰ、控制流道芯片、弹性薄膜Ⅱ、加热腔芯片和玻璃基底;主流道芯片的结构包括进液口、主流道进液侧、挡块、主流道出液侧与出液口;所述进液口与出液口,为圆形孔,其贯穿主流道芯片,分别与主流道进液侧和主流道出液侧相连通;所述挡块,位于主流道进液侧和主流道出液侧之间,与微阀上芯片为一体,底边与微阀上芯片底面平齐。该微阀利用电阻式微加热器加热,利用相变材料相变时产生的热膨胀实现对主流道和控制腔的压力差的控制,进一步实现对微阀的控制。

    一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器

    公开(公告)号:CN108757361A

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201810455142.5

    申请日:2018-05-14

    Abstract: 本发明公开了一种多极输出阵列式薄型MEMS微推进器,属于微推进技术和微机电系统(MEMS)领域,该微推进器采用正面式微推进器和侧面式微推进器相结合的方式。本发明多极输出阵列式薄型MEMS微推进器的上盖片、基底制作完成后,采用键合方法将上盖片、基底组装在一起,最后再和带有励磁线圈的PCB电路板粘合在一起。本发明具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频脉冲感应加热,使处于加热盘周围的液体迅速汽化成气体,并在微腔内形成高压,气体在高压的作用下经过喷嘴高速喷出,微推进器获得相反方向的驱动力。该微推进器能够用于微卫星的位置保持、姿态控制和轨道调整等。

    感应加热的液体蒸发型微推进器及其制备方法

    公开(公告)号:CN108725846A

    公开(公告)日:2018-11-02

    申请号:CN201810414345.X

    申请日:2018-05-03

    Abstract: 本发明是一种感应加热的液体蒸发型微推进器及其制备方法。微推进器包括腔体层、上盖片、基底、金属加热盘、上PCB板、下PCB板、励磁线圈Ⅰ和励磁线圈Ⅱ;其中,腔体层上制作的结构包括微流道、收缩口、加热蒸发腔和拉瓦尔喷口;具体为一种利用电磁感应加热液体,使液体在加热腔内汽化,腔内的压力增大,高压气体从微喷嘴高速喷出产生推力,进而使微推进器获得相反方向的驱动力。微推进器对于实现微卫星的位置保持、姿态控制、引力补偿、轨道调整等方面起着极其重要的作用,属于航空、航天、微推进技术和微机械领域。

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