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公开(公告)号：CN111472956B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202010301867.6
申请日：2020-04-16
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法，属于微流控技术领域。本发明是一种用于微流体输送的热气泡驱动微泵，具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频电流无线感应加热的热汽泡驱动微泵，在微泵内设有微加热盘，微加热盘上设计按一定规则形状排列的凹穴，使凹穴调整热汽泡的生长位置，通过控制热气泡周期性的膨胀和收缩，结合泵腔两侧微流道的阻力不同，最终微泵实现定向泵送。为了提高微泵的可靠性和工作频率，对微泵添加冷却装置，加强微泵在热汽泡收缩阶段的散热能力。本发明提出的微泵可广泛应用于航空航天、生物医学、化学等领域。
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公开(公告)号：CN113175423B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202110336828.4
申请日：2021-03-29
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 感应加热的热气泡驱动隔热型微泵及制备方法用于微流体输送的热气泡驱动，具体为具有热源隔离功能的热汽泡驱动微泵，利用高频交变电流无线感应加热生成热气泡，实现对微泵的驱动。采用液体将热源和微流道中被泵送的液体隔离开，减少高温对溶液特性的影响。这种隔热型热气泡驱动微泵不但具有普通热气泡微泵结构简单易集成、工作电压低、寿命长等优点，而且还可以降低泵送液体的温度，减小因高温对溶液中部分生物或化学物质的损害，因此热汽泡驱动隔热型微泵具有更好的应用前景。
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公开(公告)号：CN113175423A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110336828.4
申请日：2021-03-29
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 感应加热的热气泡驱动隔热型微泵及制备方法用于微流体输送的热气泡驱动，具体为具有热源隔离功能的热汽泡驱动微泵，利用高频交变电流无线感应加热生成热气泡，实现对微泵的驱动。采用液体将热源和微流道中被泵送的液体隔离开，减少高温对溶液特性的影响。这种隔热型热气泡驱动微泵不但具有普通热气泡微泵结构简单易集成、工作电压低、寿命长等优点，而且还可以降低泵送液体的温度，减小因高温对溶液中部分生物或化学物质的损害，因此热汽泡驱动隔热型微泵具有更好的应用前景。
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公开(公告)号：CN111472956A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010301867.6
申请日：2020-04-16
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 一种气泡定点生长的热气泡驱动微泵及制备方法，属于微流控技术领域。本发明是一种用于微流体输送的热气泡驱动微泵，具体为采用MEMS微加工技术制作的一种利用高频电流无线感应加热的热汽泡驱动微泵，在微泵内设有微加热盘，微加热盘上设计按一定规则形状排列的凹穴，使凹穴调整热汽泡的生长位置，通过控制热气泡周期性的膨胀和收缩，结合泵腔两侧微流道的阻力不同，最终微泵实现定向泵送。为了提高微泵的可靠性和工作频率，对微泵添加冷却装置，加强微泵在热汽泡收缩阶段的散热能力。本发明提出的微泵可广泛应用于航空航天、生物医学、化学等领域。
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