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公开(公告)号：CN108827512A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810654290.X
申请日：2018-06-22
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种采用硅扭簧的微推力测量装置，具体为一种通过硅的微加工工艺制作的硅扭簧，利用硅扭簧和光路将微推进器的微推力位移进行放大，从而实现对微小推力的高灵敏度测量。微推力测量装置能够对微推进器的推力性能进行直接的测量和评估，在微推进器的研发和评估中起着重要的作用。此外，在一些新兴领域包括空间卫星控制技术、生物力学、微型机器人以及仿生学等也对微牛级、纳牛级以及更小力的推力测量技术有着越来越高的要求，本发明属于航空、航天、微力测量、微推进技术和微机械领域。
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公开(公告)号：CN108827512B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201810654290.X
申请日：2018-06-22
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种采用硅扭簧的微推力测量装置，具体为一种通过硅的微加工工艺制作的硅扭簧，利用硅扭簧和光路将微推进器的微推力位移进行放大，从而实现对微小推力的高灵敏度测量。微推力测量装置能够对微推进器的推力性能进行直接的测量和评估，在微推进器的研发和评估中起着重要的作用。此外，在一些新兴领域包括空间卫星控制技术、生物力学、微型机器人以及仿生学等也对微牛级、纳牛级以及更小力的推力测量技术有着越来越高的要求，本发明属于航空、航天、微力测量、微推进技术和微机械领域。
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公开(公告)号：CN108725846A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810414345.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种感应加热的液体蒸发型微推进器及其制备方法。微推进器包括腔体层、上盖片、基底、金属加热盘、上PCB板、下PCB板、励磁线圈Ⅰ和励磁线圈Ⅱ；其中，腔体层上制作的结构包括微流道、收缩口、加热蒸发腔和拉瓦尔喷口；具体为一种利用电磁感应加热液体，使液体在加热腔内汽化，腔内的压力增大，高压气体从微喷嘴高速喷出产生推力，进而使微推进器获得相反方向的驱动力。微推进器对于实现微卫星的位置保持、姿态控制、引力补偿、轨道调整等方面起着极其重要的作用，属于航空、航天、微推进技术和微机械领域。
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公开(公告)号：CN108725846B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201810414345.X
申请日：2018-05-03
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种感应加热的液体蒸发型微推进器及其制备方法。微推进器包括腔体层、上盖片、基底、金属加热盘、上PCB板、下PCB板、励磁线圈Ⅰ和励磁线圈Ⅱ；其中，腔体层上制作的结构包括微流道、收缩口、加热蒸发腔和拉瓦尔喷口；具体为一种利用电磁感应加热液体，使液体在加热腔内汽化，腔内的压力增大，高压气体从微喷嘴高速喷出产生推力，进而使微推进器获得相反方向的驱动力。微推进器对于实现微卫星的位置保持、姿态控制、引力补偿、轨道调整等方面起着极其重要的作用，属于航空、航天、微推进技术和微机械领域。
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