静态清洁石墨烯表面的方法和装置

    公开(公告)号:CN110883017A

    公开(公告)日:2020-03-17

    申请号:CN201811051425.X

    申请日:2018-09-10

    Abstract: 本发明提供一种静态清洁石墨烯表面的方法,包括:将活性炭复合物覆盖在石墨烯的表面;沿着垂直于所述表面的方向,对所述活性炭复合物施加压力,以使所述活性炭复合物粘附所述表面的污染物。本发明还提供实现上述方法的装置。本发明的方法和装置能够使活性炭复合物与石墨烯的表面进行充分的静态接触,通过活性炭复合物的吸附性去除石墨烯表面的污染物,从而实现对石墨烯的洁净处理,提升石墨烯的洁净度,具有重要的应用价值。

    一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具

    公开(公告)号:CN215161038U

    公开(公告)日:2021-12-14

    申请号:CN202121016917.2

    申请日:2021-05-13

    Abstract: 本实用新型一实施方式提供了一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具,包括多个支撑板、多个加热板和电极组件;其中,所述多个支撑板用于放置生长石墨烯的衬底,所述多个加热板用于对所述衬底进行加热处理,所述电极组件与所述多个加热板相连,所述多个支撑板与所述多个加热板交替地层叠设置。本实用新型一实施方式的载具,能够实现石墨烯生长衬底的批量放置和高效加热。

    利用CVD方法生长石墨烯薄膜的载具

    公开(公告)号:CN209242684U

    公开(公告)日:2019-08-13

    申请号:CN201821846250.7

    申请日:2018-11-09

    Abstract: 本实用新型提供了一种利用CVD方法生长石墨烯薄膜的载具,用于放置在CVD设备的石英管内。载具包括底座、矩形底板以及多个矩形托板。矩形底板水平地设置在底座上方,且固定连接于底座;多个矩形托板用于承载石墨烯生长衬底,每一矩形托板上表面的四周设置有多个支撑体,石墨烯生长衬底容纳于多个支撑体围成的空间,多个矩形托板可层叠地放置在矩形底板上,相邻两个矩形托板之间用支撑体隔开。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

    石墨烯薄膜转移装置
    40.
    实用新型

    公开(公告)号:CN209442655U

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201920038866.X

    申请日:2019-01-09

    Abstract: 本实用新型提供了一种石墨烯薄膜转移装置,用以将石墨烯薄膜转移至目标基底。石墨烯薄膜转移装置包括壳体、刻蚀与清洗组件以及蠕动组件。壳体包括第一进水口和第一出水口,壳体内部形成真空腔体。刻蚀与清洗组件设于真空腔体内,包括腔室以及限位框。腔室包括第二进水口和第二出水口,分别连通于第一进水口和第一出水口。限位框悬浮于腔室内的液体,限位框形成一限域,石墨烯薄膜设于限域内,目标基底设于腔室的底部。蠕动组件用于控制液体进出的流速。其中,随着液面下移,石墨烯薄膜转移至目标基底。

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