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公开(公告)号：CN1166725C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN02155019.0
申请日：2002-12-19
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种固态基底表面有序排布纳米颗粒的方法属于纳米技术领域。本发明的具体步骤为：将带有亲水和疏水基团的链状有机分子溶于挥发性非水溶剂中。将与带有亲水和疏水基团的链状有机分子结合的纳米颗粒分散于上述溶液中。以纯水为底液，将上述含有纳米颗粒的非水溶液铺展在Langmuir槽中，控制水表面纳米颗粒单分子薄膜的膜压。用垂直提拉法将薄膜转移到处理过的固态基底表面形成Y-型LB膜。所制备的纳米颗粒薄膜经过高温退火或高能光线照射，一些有机分子离解，并从衬底上蒸发，纳米颗粒保留在基底上。所提供的方法具有简单易行，转移效率高，薄膜表面的颗粒排布有序，尺寸和厚度方便可调等特点，所制得的薄膜缺陷少，该方法适用范围广，便于推广和应用。
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公开(公告)号：CN118754053A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410596965.5
申请日：2024-05-14
Applicant: 上海交大平湖智能光电研究院 , 上海交通大学
Abstract: 本发明属于半导体加工技术领域，特别是微纳结构复制与转移技术领域，提供了一种可转移的三维微纳结构的制备方法，包括：S1提供悬空薄膜，悬空薄膜包括镂空衬底和所述镂空衬底上的有机薄膜；S2在悬空薄膜的表面沉积无机薄膜，形成复合层薄膜结构；S3在复合层薄膜结构表面进行图形加工，得到悬空的局部连接结构；S4采用聚焦离子束辐照悬空的局部连接的悬空结构获得三维微纳结构；S5将获得的悬空的三维微纳结构转移到目标衬底上。本发明利用在悬空的有机薄膜上沉积无机薄膜形成复合层薄膜结构，然后在该复合层薄膜结构上制备三维微纳结构，实现三维微纳结构的完整转移，不会破坏三维微纳结构。
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公开(公告)号：CN110231110B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201910537102.X
申请日：2019-06-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01L1/00 , G01L1/18 , B32B27/08 , B32B27/06 , B32B27/28 , B32B3/08 , B32B33/00 , B32B37/00 , A61B5/0205
Abstract: 本发明涉及一种高灵敏度电子皮肤及其制备方法，包括：第一柔性衬底：外表面包裹第一封装层、内表面为具有规则形状或不规则形状的第一基底，该第一基底的表面涂有第一导电层，第二柔性衬底：外表面包裹第二封装层、内表面为具有不规则形状的第二基底，该第二基底的表面涂有第二导电层，第二基底与第一基底相对设置，第一柔性衬底及第二柔性衬底的内表面均设有电极。与现有技术相比，本发明所制备得到的器件灵敏度高、线性度宽，所使用的制备工艺简单、成本低，具有批量生产的前景。
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公开(公告)号：CN116495696A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310672571.9
申请日：2023-06-07
Applicant: 上海交大平湖智能光电研究院 , 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种聚焦离子束悬浮微结构加工方法、其系统及悬浮微结构，包括如下步骤：步骤S1：在衬底的表面上设置有牺牲层；在牺牲层上沉积薄膜材料；步骤S2：将沉积薄膜材料后的衬底放入聚焦离子束设备腔室中，选取所设计图形的中间部分，采用聚焦离子束在薄膜材料表面进行图形结构加工，且刻蚀深度不小于薄膜厚度；步骤S3：在聚焦离子束设备腔室中通过气体系统通入预设气体，在图形结构表面进行牺牲层刻蚀，控制通气时间结合离子束刻蚀，获得悬浮结构；步骤S4：在悬浮结构表面加工剩余图形至所需位置，获得悬空边缘结构和悬浮微结构。本发明采用聚焦离子束两次刻蚀的方法进行悬浮微结构加工，解决了现有技术中悬浮边缘难以控制及边缘结构不易加工的技术难题。
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公开(公告)号：CN115440407A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202210928478.5
申请日：2022-08-03
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种耐腐蚀导电材料及其制备方法。耐腐蚀导电材料是以SiO2和铂或金为主要成分的一种新型材料。该材料利用氨水、醋酸作为催化剂，正硅酸已酯(TEOS)为SiO2源，甘油作为防裂剂，铂或金粉作为导体材料。利用氨水的催化使得硅‑羟基化合物的溶解度增大，再利用醋酸的二步催化使硅－羟基化合物聚合成胶粒。往配制好的胶体里加入甘油作为防裂剂，添加适量的微米级粒度的铂或金粉，搅拌混合均匀。将制备好的胶体旋涂在硅片等不同的衬底上，利用快速退火炉进行热处理，可制备出一种新型耐腐蚀导电材料。本发明方法简单，具有非常好的可塑形性，具有耐氧化，耐强酸、盐水的腐蚀性能，在海水中长时间工作，电阻不变，电阻率可调节的范围非常大。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111613400B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202010393189.0
申请日：2020-05-11
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明公开了一种常温NTC热敏电阻薄膜及其制备方法；所述薄膜是以VO2，MgV2O5为主要成分的一种玻璃态多混合材料。制备时，在高真空条件下，在衬底上对还原性金属靶和五氧化二钒靶进行共溅射沉积薄膜。本发明尤其利用镁原子优异的还原性能，将五氧化二钒中﹢5价钒，降价还原﹢4价制备NTC薄膜。通过改变加在镁靶和五氧化二钒靶的功率，调节薄膜中不同成分的比例，同时还可调节薄膜电阻升降温热滞，以及电阻率。相比传统制备NTC薄膜方法，本发明制备薄膜更简单，快捷，高效，且兼容各种衬底；制备出的NTC薄膜不需要高温退火，结晶状况良好；且在室温条件下具有电阻温度系数高，热滞宽度小，薄膜电阻率低，材料常数高等特点。
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公开(公告)号：CN102629685A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201210103658.6
申请日：2012-04-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01M4/48
Abstract: 本发明涉及一种Cu2O/Cu/PPy纳米线复合锂离子电池负极材料的制备方法，包括以下步骤：(1)配制吡咯单体溶液和乙酸铜溶液，超声使其分散均匀；(2)按体积比为1∶13-1∶3量取步骤(1)得到的吡咯单体溶液与乙酸铜溶液混合，并转移到水热反应釜中；(3)将水热反应釜放置到烘箱中，设置烘箱温度为120-180℃，反应10-20h；(4)将反应得到的产品进行离心分离，经洗涤后，进行干燥处理，得到Cu2O/Cu/PPy纳米线复合锂离子电池负极材料。与现有技术相比，本发明所得材料作为锂离子电池负极材料有比较高的比容量，并且有良好的循环性能。
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公开(公告)号：CN101050228A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200710038297.0
申请日：2007-03-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明涉及一种用DNA分子构造复杂纳米形状的方法，根据实际应用中所需要的目标形状，选择一根DNA单链作为脚手架链，通过在水平方向反复折叠该脚手架链来填满目标形状的轮廓，并编程得到若干根短的DNA单链即订书钉链的序列使得它们根据碱基互补的原则来固定脚手架链的走向，然后通过脚手架链和订书钉链DNA分子在溶液中的自组装得到所需要的目标形状。本发明还进一步以电子器件的形状作为目标形状，将得到的溶液中的电子器件形状的DNA纳米结构金属化并转移至空气中，得到纳米尺度的电子器件。本发明所提供的方法操作简单可行，可以构造出对称或非对称的高复杂度的DNA纳米结构，且有望在集成电子电路产业获得广阔的发展前景。
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公开(公告)号：CN1332775C
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200510027571.5
申请日：2005-07-07
Applicant: 上海交通大学
IPC: B22F9/24
Abstract: 一种基于谷胱甘肽对金纳米粒子粒径的控制方法，属于纳米技术领域。具体步骤如下：a.将柠檬酸三钠溶液和谷胱甘肽溶液混合；b.将步骤a中所得的溶液与氯金酸溶液分别加热，然后混合；c.待步骤b中所得的溶液变色后，将溶液加热至沸腾，使反应充分，然后将溶液冷却得到金纳米粒子溶胶溶液。本发明所提供的方法具有简单易行，效率高，颗粒尺寸方便可调，生物兼容性好等特点，所得纳米颗粒分散性好、粒径均一，粒径可控制在8-40nm范围内。由此制得的金纳米粒子可应用在DNA检测、生物及医药等领域，便于推广和应用。
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