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公开(公告)号：CN104812927A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380061000.6
申请日：2013-12-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/041 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-vCrv)xAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN107923801A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680044835.4
申请日：2016-07-11
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: G01K7/22
CPC classification number: G01K7/223 , G01K1/12 , G03G15/2039
Abstract: 本发明的温度传感器具备一对引线框(2)、与引线框连接的传感器部(3)及保持引线框的绝缘性的保持部(4)，传感器部具备：绝缘性薄膜(5)，在上表面粘结有引线框；薄膜热敏电阻部(6)，形成于绝缘性薄膜；一对梳状电极(7)，形成于薄膜热敏电阻部上；一对图案电极，形成于绝缘性薄膜的上表面；及一对保护胶带(9A、9B)，从上下夹着一对引线框及传感器部而彼此粘结，绝缘性薄膜的两侧部(5a)配设于在一对引线框的粘结面侧上所配设的外侧角部(2b)的附近且内侧，保护胶带的两侧部(9a)从绝缘性薄膜的两侧部在外侧朝向上表面侧弯曲。
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公开(公告)号：CN104838453B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201380060807.8
申请日：2013-11-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/34 , C23C14/3414 , G01K7/22 , H01C7/042 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用Cr‑Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN105122385A
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201480022226.X
申请日：2014-05-26
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C01B21/0602 , C01P2006/32 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/5826 , C30B23/02 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的热敏电阻用金属氮化物材料是用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：VxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用V-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN104838453A
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201380060807.8
申请日：2013-11-28
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C23C14/34 , C23C14/3414 , G01K7/22 , H01C7/042 , H01C17/06513 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用Cr-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104797734A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201380060050.2
申请日：2013-11-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/0036 , C23C14/3414 , C23C14/5826 , C23C14/586 , G01K7/22 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/06513
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-wCrw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN104508442A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380040118.0
申请日：2013-09-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/22 , G01K13/08 , H01C1/14 , H01C1/1413 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/04 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种温度传感器，其在与加热辊等接触来检测温度时，响应性优异。本发明的温度传感器具备：一对引线框(2)；传感器部(3)，与一对引线框连接；及绝缘性保持部(4)，固定于一对引线框来保持引线框，传感器部具备：绝缘性薄膜(6)；薄膜热敏电阻部(7)，在绝缘性薄膜的表面以热敏电阻材料图案形成；一对梳状电极(8)，在薄膜热敏电阻部上具有多个梳部并相互对置地图案形成；及一对图案电极(9)，连接于一对梳状电极，在绝缘性薄膜表面图案形成，一对引线框在绝缘性薄膜表面将薄膜热敏电阻部配置在之间而延伸并被粘接，并且连接于一对图案电极(9)。
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公开(公告)号：CN104370549A
公开(公告)日：2015-02-25
申请号：CN201410386541.2
申请日：2014-08-07
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/22 , C23C14/0676 , C30B25/06 , C30B29/38 , C30B29/605 , H01C7/008 , H01C7/04 , C04B35/58 , C04B2235/76 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜在薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M1-vAv)xAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，并且A表示Sc、Zr、Mo、Nb及W中的至少一种，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-A-Al合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜。
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公开(公告)号：CN104137196A
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN201380011410.X
申请日：2013-03-25
Applicant: 三菱综合材料株式会社
IPC: H01C7/04
CPC classification number: G01K7/226 , G01K1/143 , H01C1/142 , H01C7/008 , H01C17/06513
Abstract: 本发明提供一种能够进行表面安装并且能够通过非烧成直接成膜于薄膜等上的薄膜型热敏电阻传感器。本发明的薄膜型热敏电阻传感器具备：绝缘性薄膜(2)；薄膜热敏电阻部(3)，形成于该绝缘性薄膜(2)的表面；一对表面图案电极(4)，以将相互对置的一对对置电极部(4a)配设于薄膜热敏电阻部之上或之下的方式形成于绝缘性薄膜的表面；及一对背面图案电极(5)，在绝缘性薄膜的背面形成为与一对表面图案电极的一部分对置，表面图案电极和背面图案电极通过以贯穿状态形成于绝缘性薄膜的通孔(2a)电连接。
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公开(公告)号：CN104040647A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201380004775.X
申请日：2013-02-21
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0641 , C30B29/38 , G01K7/22 , H01C7/04 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：TixAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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