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公开(公告)号：CN108428607A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201711494189.4
申请日：2017-12-31
Applicant: 宁波大学 , 宁波华仪宁创智能科技有限公司
IPC: H01J3/04
CPC classification number: H01J3/04
Abstract: 本发明提供了一种具有控温功能的离子源及其工作方法，所述离子源包括高压电极；气体管道，所述气体管道具有依次排列的内径较大段、过渡段和内径较小段，所述内径较大段的一端固定在所述第一承载件上；所述高压电极设置在所述内径较小段的远离所述内径较大段的一侧；加热件，所述加热件设置在所述内径较小段内；测温部件，所述测温部件检测所述内径较小段内气体的温度；输送单元，所述输送单元将气体输送到所述过渡段和内径较小段的连接处的外侧。本发明具有结构简单、升温快、降温快等优点。
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公开(公告)号：CN107910237A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：CN201711106175.0
申请日：2017-11-10
Applicant: 中国人民解放军陆军防化学院 , 苏州微木智能系统有限公司
IPC: H01J3/04
CPC classification number: H01J3/04
Abstract: 本发明提供一种大气压辉光放电离子源，包括第一螺旋电极和第二螺旋电极。所述第一螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极与所述第一螺旋电极共面且平行间隔设置。在螺旋状的放电电极之间设置细长连贯的放电沟道，减小了两放电电极之间的间隙。在不增大整体面积的情况下尽量的增大了样品电离的面积，从而使通过的样品流量增加，提高了电离效率。
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公开(公告)号：CN1956119A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200510100604.4
申请日：2005-10-24
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J3/04
CPC classification number: H01J27/04
Abstract: 本发明提供一种离子枪，其包括一真空容器、一阳极和一阴极装置，真空容器上设置有电子注入孔、离子出射孔及气体入口，该阳极位于真空容器内部，该阴极装置位于电子注入孔处，所述阴极装置为场发射冷阴极装置。该离子枪具有发射电子稳定、结构简单的特点。
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公开(公告)号：CN107910237B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN201711106175.0
申请日：2017-11-10
Applicant: 中国人民解放军陆军防化学院 , 苏州微木智能系统有限公司
IPC: H01J3/04
Abstract: 本发明提供一种大气压辉光放电离子源，包括第一螺旋电极和第二螺旋电极。所述第一螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极为带状，且由起始端向外螺旋延伸。所述第二螺旋电极与所述第一螺旋电极共面且平行间隔设置。在螺旋状的放电电极之间设置细长连贯的放电沟道，减小了两放电电极之间的间隙。在不增大整体面积的情况下尽量的增大了样品电离的面积，从而使通过的样品流量增加，提高了电离效率。
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公开(公告)号：CN111863566A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010530708.3
申请日：2020-06-11
Applicant: 北京交通大学
IPC: H01J3/04
Abstract: 本发明实施例提供了一种多电极真空弧离子源，包括多个相同的单电极；单电极包括：阴极、绝缘套筒、阳极和阳极绝缘层；阴极为一端具有凸起结构的圆柱，其中，具有凸起结构的一端为放电端，另一端为平面端；阴极表面包裹有绝缘套筒，且绝缘套筒内壁与阴极表面紧密接触；阳极固定于绝缘套筒上，且阳极内表面与绝缘套筒外表面相接触，阳极的外表面由阳极绝缘层包裹；多个阴极的非放电端均连接同一个放电电源的负高压端子，多个阳极均接地。本发明基于绝缘阳极结构实现了在一个电源下多个电极同时放电，增大了阴极电流幅值，提高了等离子体的生成量，丰富了金属离子的种类。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111161987A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201911382854.X
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: H01J3/04
Abstract: 本发明提供一种离子源，包括：一阴极壳体，其包括底壁、顶壁以及连接底壁和顶壁的侧壁，所述底壁、顶壁以及侧壁围成一容纳空间，所述顶壁上开设有呈迂回曲折延伸的开口，壳体上设置有电极以及一通气孔；一阴极板条，其与所述开口的形状适配，阴极板条设置于所述开口处并沿着所述开口迂回曲折延伸，阴极板条的外侧缘与所述开口的内侧缘间隔预设距离以形成迂回曲折延伸的狭缝；一阳极，其设置于所述壳体内并位于狭缝正对，所述阳极沿着所述狭缝的延伸方向迂回曲折延伸；一永磁体，其设置于所述容纳空间内并位于所述阴极板条相对，所述永磁体沿着所述阴极板条的延伸方向迂回曲折延伸。本发明实施例提供的离子源可以提高离子源的效率，节省空间。
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公开(公告)号：CN110729159A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910969392.5
申请日：2019-10-12
Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司
Inventor： 周华佗
Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种离子源的安装装置，离子源包括起弧室的一开口侧设有一阴极电极，阴极电极一端具有开口，灯丝位于开口内并与阴极电极保持一定间距，阴极电极自起弧室的开口侧向内突出，安装装置包括：阴极夹，用于固定阴极电极；两个灯丝夹，分别用于固定灯丝的两端于起弧室外，以使灯丝与阴极电极保持间距；绝缘盘，绝缘盘的正面具有一第一定位结构，阴极夹的一端固定于第一定位结构上；绝缘盘的背面具有一第二定位结构，两个灯丝夹的一端固定于第二定位结构上。有益效果：减少灯丝的安装时间，并且能够防止螺钉松动或受热变形造成的灯丝偏移；便于调节阴极电极和灯丝的位置，从而保证其间距。
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公开(公告)号：CN108040498A
公开(公告)日：2018-05-15
申请号：CN201680027886.6
申请日：2016-05-11
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
Abstract: 本文提供用于改善离子撷取系统的离子束撷取稳定度及离子束流的方式。在一种方式中，一种源壳体组件可包括源壳体，所述源壳体环绕包括弧室的离子源，所述源壳体具有安装于其近端处的撷取孔板。所述源壳体组件还包括真空衬垫，所述真空衬垫安置于所述源壳体的内部内以在一组真空抽吸孔周围形成屏障。在构成后，所述源壳体组件中的除撷取孔板中的开口以外的开口被撷取孔板及真空衬垫封闭，进而确保在弧室外形成的附属弧或无关离子保持于源壳体内。只有在弧室内形成的那些离子经由撷取孔板的开口而离开源壳体。
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公开(公告)号：CN100561634C
公开(公告)日：2009-11-18
申请号：CN200510100604.4
申请日：2005-10-24
Applicant: 清华大学 , 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
IPC: H01J3/04
CPC classification number: H01J27/04
Abstract: 本发明提供一种离子枪，其包括一真空容器、一阳极和一阴极装置，真空容器上设置有电子注入孔、离子出射孔及气体入口，该阳极位于真空容器内部，该阴极装置位于电子注入孔处，所述阴极装置为场发射冷阴极装置。该离子枪具有发射电子稳定、结构简单的特点。
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