公开(公告)号：CN101165540A

公开(公告)日：2008-04-23

申请号：CN200710167669.X

申请日：2007-06-08

Applicant: 翰兹-利索兹切科专利管理有限公司及两合公司

Inventor： 安德列斯·拜尔

IPC: G02B27/09 ,  G02B3/00

CPC classification number: G02B19/0057 ,  G02B19/0014 ,  G02B27/0961

Abstract: 用于产生激光射线(17)的均匀角度分布的装置，包括第一个均匀化级(10)，待均匀化的激光射线(17)可以穿过该均匀化级，其中第一个均匀化级(10)具有带有第一透镜阵列(4)的第一衬底(1)，还包括第二个均匀化级(11)，从第一个均匀化级(10)射出的激光射线(17)可以穿过该第二个均匀化级，其中第二个均匀化级(11)具有带有第二透镜阵列(5)的第二衬底(2)和带有第三透镜阵列(6)的第三衬底(3)，并且其中角度分布受到第二和第三衬底(2，3)的间距(d1，d2)的影响。

公开(公告)号：CN1313861C

公开(公告)日：2007-05-02

申请号：CN02807507.2

申请日：2002-03-12

Applicant: 新日本制铁株式会社 ,  学校法人文理学园

Inventor： 山口哲 ,  滨田直也

IPC: G02B27/09 ,  H01S5/40

CPC classification number: G02B19/0057 ,  G02B19/0014 ,  G02B27/09 ,  G02B27/0961 ,  G02B27/0966 ,  G02B27/0972 ,  H01S5/005 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4025 ,  H01S5/405

Abstract: 本发明提供一种提高焦点能量密度的半导体激光装置，及采用它的半导体激光激励固体激光装置，接收设置于发射呈虚线状直列布置的激光束排进一步并排形成的，2维阵列状激光束组的叠层阵列激光器件前面的，沿与上述虚线方向基本垂直的方向折射，经准直处理的各激光束排，将来自各发射体，或各射体组的激光束的方向旋转90°，辐射该激光束，将其转换为实质上呈梯级状并排的多个激光束排，将该激光束排，转换为进行了光束压缩处理的并排激光束排进一步按1排直列布置而形成的排列，旋转90°辐射分别进行了压缩处理的并列激光束排，转换为全部激光束1排并排的激光束组，对该激光束组进行准直处理，将其聚焦于焦点。

公开(公告)号：CN1310058C

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN03818635.7

申请日：2003-08-28

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 郑宇进 ,  宫岛博文 ,  菅博文

IPC: G02B27/09 ,  G02B27/10

CPC classification number: G02B27/0966 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0057 ,  G02B27/09 ,  G02B27/0905 ,  G02B27/1006 ,  G02B27/143 ,  G02B27/145

Abstract: 聚光装置具有多个光源(10、20)和合光元件(30)。这些光源(10、20)分别具有半导体激光器阵列叠层体(12、22)、准直透镜(16、26)和光束变换器(18、28)。因为合光元件(30)合成来自叠层体(12)的光束和来自叠层体(22)的光束，所以能够生成高光密度的激光束。合光元件(30)的透过单元(32)和反射单元(34)，优选为沿叠层体(12、22)的叠层方向为细长的带状，这时，即便多个活性层(14、24)具有位置偏离，也可以由合光元件(30)适当地接受、合成从活性层(14、24)射出的光束。

公开(公告)号：CN1942806A

公开(公告)日：2007-04-04

申请号：CN200580011311.7

申请日：2005-04-13

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 高新 ,  大桥弘之 ,  筱田和宪

IPC: G02B27/14

CPC classification number: G02B19/0057 ,  G02B19/0028 ,  G02B27/0977 ,  G02B27/143

Abstract: 聚光装置(10)包括第1光源(12)，第2光源(14)以及聚光反射镜(18)。第1以及第2光源，输出沿着第1方向排列的多个第1以及第2光束。聚光反射镜，具有相互交叉的第1以及第2光学板(22，24)。第1光学板包括沿着第1方向排列，并分别反射第1光束的多个第1反射部(22a)。第2光学板包括沿着第1方向并与第1反射部交替排列，分别反射第2光束的多个第2反射部(24a)。

公开(公告)号：CN1914543A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200580003504.8

申请日：2005-01-28

Applicant: 加拿大柯达图形通信公司

Inventor： M·雷诺 ,  O·戴茨 ,  S·休 ,  I·辛科达 ,  I·斯佩尔

IPC: G02B27/10 ,  H01S5/40

CPC classification number: G02B19/0057 ,  G02B19/0028 ,  G02B19/009 ,  H01S5/005 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4025

Abstract: 在照明系统中，来自一个或多个激光器阵列的辐射被导入光管。该光管混合来自该激光器阵列的各个辐射贡献，并且形成均匀的照明线。该激光器阵列的每个的指向被监测和控制以保持复合照明线的亮度。

公开(公告)号：CN1238885C

公开(公告)日：2006-01-25

申请号：CN03131162.8

申请日：2003-05-16

Applicant: 夏普株式会社 ,  株式会社日本激光

Inventor： 佐佐木伸夫 ,  宇塚达也 ,  大木孝一

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/00 ,  G02F1/133

CPC classification number: H01L21/02683 ,  B23K26/067 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/08 ,  B23K26/0884 ,  B23K2101/006 ,  B23K2101/40 ,  C30B13/24 ,  C30B35/00 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0057 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02691 ,  H01L21/2026 ,  H01L27/1285 ,  H01L29/6675 ,  H01L29/78672 ,  Y10T29/41

Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。通过一个光束扩展器纠正在该激光束之间的发散角的差别。该装置包括一个子光束选择照射系统，该系统包括子光束分离组件和子光束聚焦组件。并且，该装置包括激光源、聚焦光学系统、以及组合光学系统。用于支承基片的平台包括多个第一台部件、置于该第一台部件上方的第二台部件、以及可旋转地置于该第二平台上以支承该无定形半导体的第三台部件。

公开(公告)号：CN1672083A

公开(公告)日：2005-09-21

申请号：CN03817477.4

申请日：2003-08-07

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 郑宇进 ,  宫岛博文 ,  菅博文

IPC: G02B27/10 ,  H01S5/02

CPC classification number: G02B19/0057 ,  G02B3/005 ,  G02B3/0068 ,  G02B19/0028 ,  G02B27/0961 ,  G02B27/0966 ,  G02B27/123 ,  G02B27/143 ,  G02B27/145 ,  H01S5/005 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4031

Abstract: 聚光装置具备光源(10、20)和合光元件(30)。光源(10、20)分别具有半导体激光列阵(12、22)、视准透镜(16、26)以及光束转换器(18、28)。合光元件(30)合成来自光源(10、20)的光束。通过视准透镜(16、26)的折射作用，抑制在与活性层(14、24)的排列方向垂直的面内的光束发散。通过光束转换器(18、28)使光束的横截面大致旋转90°。因此，在活性层的排列方向的光束发散被抑制，邻接的光束难以互相交叉。

公开(公告)号：CN1198158C

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN01821242.5

申请日：2001-07-16

Applicant: 王之江 ,  余勤跃 ,  王颖

Inventor： 王之江 ,  余勤跃 ,  王颖

IPC: G02B6/26

CPC classification number: G02B19/0057 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0028 ,  G02B27/09 ,  G02B27/0955 ,  H01S5/005 ,  H01S5/4031

Abstract: 一种光学耦合系统公开了形成高效激光束耦合的光学耦合方法和装置，特别是对半导体激光列阵的激光束做整形和重排列的新结构。由于采用独特的方法将光泵激光耦合进入光纤或其他介质，可以获得高效率。本发明可以实现高效率高功率光纤激光、光纤放大器及其他固体激光。这种光束整形结构可以显著改善半导体激光列阵的光束质量，而且易于实施，易于装调。本发明的一种半导体光泵固体激光器包括激光介质、聚焦器、光源，其中光源包括至少一个半导体激光列阵、光束偏置器、成象光学系统以及光束重定向器。

公开(公告)号：CN1573410A

公开(公告)日：2005-02-02

申请号：CN200410047802.4

申请日：2004-06-01

Applicant: 富士胶片株式会社

Inventor： 寺村友一 ,  山中英生 ,  冈崎洋二

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G03F7/70216 ,  G02B6/08 ,  G02B19/0014 ,  G02B19/0057 ,  G02B27/0994 ,  G03F7/70025 ,  H01S5/005 ,  H01S5/02216 ,  H01S5/02284 ,  H01S5/02292 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4025

Abstract: 本发明提供一种可射出高亮度激光的新型激光装置。具有多个将激光元件射出的激光束用聚光光学系统进行聚光，并从光纤(30)的入射端射入的激光模块(64)，设有将该光纤(30)的射出端部形成束状的激光射出部(68)的激光装置中，该光纤(30)的各包层厚度h，按上述式算出的值以下构成，并能够射出为提高曝光装置的分辨率，作为激光源性能所要求的高亮度激光束。

公开(公告)号：CN1500223A

公开(公告)日：2004-05-26

申请号：CN02807507.2

申请日：2002-03-12

Applicant: 新日本制铁株式会社 ,  学校法人文理学园

Inventor： 山口哲 ,  滨田直也

IPC: G02B27/00

CPC classification number: G02B19/0057 ,  G02B19/0014 ,  G02B27/09 ,  G02B27/0961 ,  G02B27/0966 ,  G02B27/0972 ,  H01S5/005 ,  H01S5/4012 ,  H01S5/4025 ,  H01S5/405

Abstract: 本发明提供一种提高焦点能量密度的半导体激光装置，及采用它的半导体激光激励固体激光装置，接收设置于发射呈虚线状直列布置的激光束排进一步并排形成的，2维阵列状激光束组的叠层阵列激光器件前面的，沿与上述虚线方向基本垂直的方向折射，经准直处理的各激光束排，将来自各发射体，或各射体组的激光束的方向旋转90°，辐射该激光束，将其转换为实质上呈梯级状并排的多个激光束排，将该激光束排，转换为进行了光束压缩处理的并排激光束排进一步按1排直列布置而形成的排列，旋转90°辐射分别进行了压缩处理的并列激光束排，转换为全部激光束1排并排的激光束组，对该激光束组进行准直处理，将其聚焦于焦点。