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公开(公告)号：CN103249864B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201180055106.6
申请日：2011-10-20
Applicant: 斯沃奇集团研究及开发有限公司
CPC classification number: H01L21/02527 , B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C2201/0119 , C23C16/27 , C23C16/278 , C23C16/279 , G04B15/14
Abstract: 涂布微机械系统中的微机械零件，尤其是手表机芯的方法，包括：提供待涂布的基体(4)零件；为所述零件提供掺杂有硼的第一金刚石涂层(2)；为所述零件提供第二金刚石涂层(3)；其中：所述第二金刚石涂层(3)在反应室中通过CVD提供；在CVD沉积过程中，在生长过程的最后阶段，在反应室内可控地增大碳含量，由此使sp2/sp3碳键(6)的增大到sp2含量大体上为1％至45％。另外还提供了相应的微机械零件。
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公开(公告)号：CN105527820A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510673937.X
申请日：2015-10-16
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: C25D21/04 , B81B2201/035 , B81C1/00674 , B81C2201/032 , C22C19/03 , C22C45/04 , C25D1/003 , G04B1/145 , G04B13/02 , G04B15/00 , G04B15/14 , G04B37/22 , G04D3/0074 , G04B37/221 , G04B33/00
Abstract: 本发明涉及一种一体式金属部件，其包括电成型金属本体，该本体的外表面仅在预定深度上或者直至预定深度包括比电成型金属本体的其余部分更少的被捕获氢，导致相对于本体的其余部分发生硬化，以提高该一体式部件的耐磨性，同时保持小于10的相对导磁率和被紧配合或压配合的能力。
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公开(公告)号：CN103979483A
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201410049720.7
申请日：2014-02-13
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
IPC: B81C1/00
CPC classification number: H03H3/0072 , B81B2201/035 , B81C99/008 , G03F7/00 , G03F7/0002 , G04B15/14 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明涉及一种制造包括至少两个不同的功能性高度的一体式微机械构件（31，41，61，91）的方法。根据本发明，所述方法（1）包括在单个高度上的LIGA工艺以及对直接在衬底（2）上的LIGA沉积物进行机加工的工艺。
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公开(公告)号：CN101920928B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201010200250.1
申请日：2010-06-09
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: B81C99/008 , B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C1/00031 , B81C1/00087 , B81C1/00119 , B81C2201/0132 , B81C2201/032 , C25D1/003 , C25D1/20 , C25D5/022 , G04B13/022 , G04B13/026 , G04D3/0069
Abstract: 本发明涉及制造复合微机械部件(41，41’)的方法(1)，包括如下步骤：a)提供(10)基材(9，9’)，该基材包括由导电的可微加工材料制成的水平顶层(21)和水平底层(23)，顶层和底层通过电绝缘的水平中间层(22)彼此紧固；b)在顶层中蚀刻至少一种图案(26)直至中间层，以在基材内形成至少一个腔室(25)；c)在基材的顶部涂覆(16)电绝缘的涂层；d)有方向性地蚀刻(18)涂层和中间层，以将该涂层限制为只存在于在顶层形成的各垂直壁(51，52)上；e)通过将电极与基材的导电的底层连接进行电沉积(5)，以形成复合部件的至少一个金属部分(33，43，43’)；f)从基材释放复合部件。本发明涉及微机械部件领域，特别用于钟表机芯。
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公开(公告)号：CN101625541B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200910140226.0
申请日：2009-07-09
Applicant: 斯沃奇集团研究及开发有限公司
IPC: G04B99/00
CPC classification number: B81C99/008 , B81B2201/035 , B81C1/00674 , B81C2201/112 , G04B13/02 , G04D3/0069 , Y10T29/49579
Abstract: 本发明涉及制造机械部件(51)的方法(1)，包括如下步骤：a)提供(3)由可微加工材料制成的基片(53)；b)借助于光刻法，在所述整个基片上蚀刻(5)包含所述部件的图案(50)；根据本发明，该方法还包括如下步骤：c)将所述蚀刻的基片安装(7)在支座(55’)上，使得可容易接近所述基片的顶面和底面；d)在所述部件外表面上沉积(9，C’)比所述可微加工材料摩擦质量好的涂层；e)将部件从基片上分离(11)。本发明涉及时钟制造领域。
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公开(公告)号：CN101861281B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200880116149.9
申请日：2008-11-12
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: F16H55/06 , B81B2201/035 , B81C99/0095 , B81C2201/0197 , C25D1/08 , C25D5/02 , C25D5/10 , G04B13/02 , G04B13/022 , G04B19/042 , Y10T74/1987
Abstract: 本发明涉及一种结合有DRIE和LIGA工艺的制造硅-金属复合微机械部件的方法(1)。本发明还涉及一种微机械部件(51)，该微机械部件包括一个层，具有硅部分(53)和金属部分(41)，从而形成复合微机械部件(51)。本发明可用于钟表机芯领域。
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公开(公告)号：CN102471047A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080032968.2
申请日：2010-07-20
Applicant: 宝玑表有限公司
Inventor： N.卡拉帕蒂斯
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00682 , B81B2201/035 , B81C1/00674 , B81C2201/0178 , Y10T29/49986
Abstract: 本发明涉及用于制备由增强的硅制成的微机械部件的方法，所述方法包括以下步骤：在硅晶片中微加工该部件或一组部件；在一个或多个步骤中在该部件的整个表面上形成二氧化硅层，以便获得为天然二氧化硅的厚度至少五倍的二氧化硅厚度；通过化学侵蚀除去二氧化硅层。
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公开(公告)号：CN1433379A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN00818842.4
申请日：2000-12-04
Applicant: 西孝
Inventor： 西孝
CPC classification number: F16H55/22 , B23P15/14 , B81B2201/035 , B81C99/0085 , Y10T29/49462 , Y10T29/49467 , Y10T29/49469 , Y10T29/4948
Abstract: 为了蜗杆(1)旋转，在基板(3)上形成间隙(形成与轴承部，蜗轮的间隙部分区域)(图4(1)～图4(3))。形成制造蜗杆的下半部区域的模具(12)(图4(8))。将蜗杆材料(5)堆积到下半部区域与蜗杆的上半部的高度(图4(9))。形成蜗杆的上半部(图4(10)～图4(12))。最后，为了齿轮可以旋转，除去位于基板(3)与齿轮(1)的间隙内的材料(13)(图4(13))。
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公开(公告)号：CN1077300C
公开(公告)日：2002-01-02
申请号：CN93116450.8
申请日：1993-08-21
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： 范龙身 , 汉斯·赫尔姆特·扎普
CPC classification number: G03F7/11 , B81B2201/035 , B81B2201/037 , B81C99/0085 , G03F7/00 , H02N1/008
Abstract: 一种制造集成化独立式微小型结构的方法，选定一种衬底材料；在衬底材料表面上演积一层保护材料；将保护层刻成图案以规定一种形状；在保护层上淀积一层光敏抗蚀材料；用反差增强光刻法，将光敏抗蚀层刻成图案，以形成一个光敏抗蚀型模；在光敏抗蚀型模上，电镀上一层金属层材料，所述光敏抗蚀层被制成图案，以提供具有至少9∶1的纵横比的独立金属结构；以及应用蚀刻剂来溶去光敏抗蚀型模和保护层，以形成一个独立式的金属结构。
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公开(公告)号：CN107065501A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710063435.4
申请日：2017-02-03
Applicant: 劳力士有限公司
IPC: G04D3/00
CPC classification number: G04B31/06 , B81B2201/035 , B81C99/0085 , B81C2201/034 , G04B1/145 , G04B13/02 , G04B15/14 , G04B17/063 , G04B17/066 , G04B18/08 , G04B19/042 , G04B19/044 , G04D3/0069
Abstract: 本发明涉及用于制造混合钟表组件的方法，包括以下步骤：结构化第一可微机械加工材料的至少一个晶片(14)，以在所述晶片(14)中形成至少一个贯通开口(15)，该结构化的晶片(14)用于形成所述混合钟表组件的第一部件(4)；通过电成型沉积金属，以便所述金属作为由一个且相同的电成型步骤产生的单件延伸通过贯通开口(15)且在晶片(14)的上下两个面上延伸，该电成型的金属用于形成所述混合钟表组件的第二部件(8)。本发明的制造方法简单，且可以实现混合钟表组件的令人满意的内聚力和令人满意的机械强度。
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