公开(公告)号：CN103249864B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201180055106.6

申请日：2011-10-20

Applicant: 斯沃奇集团研究及开发有限公司

Inventor： S·布尔班 ,  D·里夏尔 ,  B·吉洛门 ,  D·施泰因米勒 ,  H·德雷克泽尔 ,  S·格霍德巴内

IPC: C23C16/27 ,  D04B15/14 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01L21/02527 ,  B81B3/0075 ,  B81B2201/035 ,  B81C2201/0119 ,  C23C16/27 ,  C23C16/278 ,  C23C16/279 ,  G04B15/14

Abstract: 涂布微机械系统中的微机械零件，尤其是手表机芯的方法，包括：提供待涂布的基体(4)零件；为所述零件提供掺杂有硼的第一金刚石涂层(2)；为所述零件提供第二金刚石涂层(3)；其中：所述第二金刚石涂层(3)在反应室中通过CVD提供；在CVD沉积过程中，在生长过程的最后阶段，在反应室内可控地增大碳含量，由此使sp2/sp3碳键(6)的增大到sp2含量大体上为1％至45％。另外还提供了相应的微机械零件。

公开(公告)号：CN103249864A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201180055106.6

申请日：2011-10-20

Applicant: 斯沃奇集团研究及开发有限公司

Inventor： S·布尔班 ,  D·里夏尔 ,  B·吉洛门 ,  D·施泰因米勒 ,  H·德雷克泽尔 ,  S·格霍德巴内

IPC: C23C16/27 ,  D04B15/14 ,  B81B3/00

CPC classification number: H01L21/02527 ,  B81B3/0075 ,  B81B2201/035 ,  B81C2201/0119 ,  C23C16/27 ,  C23C16/278 ,  C23C16/279 ,  G04B15/14

Abstract: 涂布微机械系统中的微机械零件，尤其是手表机芯的方法，包括：提供待涂布的基体(4)零件；为所述零件提供掺杂有硼的第一金刚石涂层(2)；为所述零件提供第二金刚石涂层(3)；其中：所述第二金刚石涂层(3)在反应室中通过CVD提供；在CVD沉积过程中，在生长过程的最后阶段，在反应室内可控地增大碳含量，由此使sp2/sp3碳键(6)的增大到sp2含量大体上为1％至45％。另外还提供了相应的微机械零件。