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公开(公告)号：CN101038440A
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200710085765.X
申请日：2007-03-14
Applicant: 岛尼尔公司
Inventor： C·绍奇
CPC classification number: C25D1/003 , B81B2201/035 , B81C99/0085 , B81C2201/032 , C25D1/20 , G03F7/00
Abstract: 本发明涉及用于以LIGA工艺制造单层或多层金属结构体的方法，其中将光致抗蚀剂层沉积在平坦金属衬底上，通过辐照或电子或离子轰击产生光致抗蚀剂模具，将金属或合金电镀在该模具中，将电铸的金属结构体从所述衬底脱离，并且从该金属结构体分离所述光致抗蚀剂，其中将所述金属衬底用作涉及形成金属结构体除了由所述衬底的平表面形成的表面以外的至少一个表面的媒介。
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公开(公告)号：CN1738710A
公开(公告)日：2006-02-22
申请号：CN200480002378.X
申请日：2004-01-16
Applicant: 李承燮
IPC: B29D31/00
CPC classification number: B81C99/0085 , A61B5/14514 , A61M37/0015 , A61M2037/0053 , B81B2201/055 , B81C2201/032 , G03F7/00 , G03F7/0035
Abstract: 本发明涉及以X射线工艺制造微针阵列的方法。本发明提供了微针阵列的制造方法，包含的步骤为：通过在基片上生成具有微针阵列构造的吸收器，制备X射线掩膜；采用X射线掩膜，通过将PMMA曝光于垂直和倾斜的X射线，制备用于微针阵列的PMMA铸型；通过将PDMS浇注于PMMA铸型上，制备具有与PMMA相反构造的柔性PDMS模具；以凝胶型聚合物填充PDMS模具的上表面，得到期望厚度的聚合物；通过在聚合物上辐照紫外线，将具有期望构造的孔穴图案代；以及分离PDMS模具，完成聚合物微针阵列。本发明的微针阵列由聚合物材料制成，可用于从皮肤抽取血液或将药物注射入皮肤。
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公开(公告)号：CN101038440B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200710085765.X
申请日：2007-03-14
Applicant: 劳力士有限公司
Inventor： C·绍奇
CPC classification number: C25D1/003 , B81B2201/035 , B81C99/0085 , B81C2201/032 , C25D1/20 , G03F7/00
Abstract: 本发明涉及用于以LIGA工艺制造单层或多层金属结构体的方法，其中将光致抗蚀剂层沉积在平坦金属衬底上，通过辐照或电子或离子轰击产生光致抗蚀剂模具，将金属或合金电镀在该模具中，将电铸的金属结构体从所述衬底脱离，并且从该金属结构体分离所述光致抗蚀剂，其中将所述金属衬底用作涉及形成金属结构体除了由所述衬底的平表面形成的表面以外的至少一个表面的媒介。
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公开(公告)号：CN101920928A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010200250.1
申请日：2010-06-09
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: B81C99/008 , B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C1/00031 , B81C1/00087 , B81C1/00119 , B81C2201/0132 , B81C2201/032 , C25D1/003 , C25D1/20 , C25D5/022 , G04B13/022 , G04B13/026 , G04D3/0069
Abstract: 本发明涉及制造复合微机械部件(41，41’)的方法(1)，包括如下步骤：a)提供(10)基材(9，9’)，该基材包括由导电的可微加工材料制成的水平顶层(21)和水平底层(23)，顶层和底层通过电绝缘的水平中间层(22)彼此紧固；b)在顶层中蚀刻至少一种图案(26)直至中间层，以在基材内形成至少一个腔室(25)；c)在基材的顶部涂覆(16)电绝缘的涂层；d)有方向性地蚀刻(18)涂层和中间层，以将该涂层限制为只存在于在顶层形成的各垂直壁(51，52)上；e)通过将电极与基材的导电的底层连接进行电沉积(5)，以形成复合部件的至少一个金属部分(33，43，43’)；f)从基材释放复合部件。本发明涉及微机械部件领域，特别用于钟表机芯。
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公开(公告)号：CN1578753A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN02821630.X
申请日：2002-10-25
Applicant: 住友电气工业株式会社
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C99/0085 , B81C2201/032 , C25D1/003 , H01L21/4821 , H05K3/202 , H05K3/205
Abstract: 本发明是一种用树脂模型(13)制造金属精细结构体(1)的制造方法，为了提供能设定树脂模型(13)的损坏少并且温和的制造条件，通过均匀的电铸大量制造高精度的金属精细结构体(1)的方法，本发明的金属精细结构体(1)的制造方法包括通过感光性聚合物(12)将树脂模型(13)固定在导电基板(11)上，形成树脂模型层合体(2)的工序，其中所述感光性聚合物(12)通过电子射线、紫外线或可见光线使化学组成改变，树脂模型(13)具有贯穿厚度方向的空穴部；用电子射线、紫外线或可见光线将所述树脂模型层合体(2)曝光的工序；除掉所述树脂模型(13)的空穴部中存在的感光后的感光性聚合物(12c)的工序；和通过电铸用金属(14)中填埋所述树脂模型层合体(2)的空穴部的工序。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107743433A
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201680030707.4
申请日：2016-05-19
Applicant: TTY-赛提欧
CPC classification number: B25J13/082 , B25J7/00 , B25J15/00 , B25J15/0028 , B81B2201/0292 , B81C99/002 , B81C2201/032
Abstract: 本发明涉及一种用于操纵微型物体和测量施加在所述微型物体上的力的微型操纵装置，该微型操纵装置包括微型夹具和连接到所述微型夹具的力传感器。为了提供这种操纵装置，其构造相当简单且坚固，比其它用于这种目的的典型装置便宜，并且在相对位移高达1mm或更大的情况下仍然是有用且容易适用于测量在10μN至1000mN的范围内的线性力，该装置适用于宽范围的具有微尺度尺寸的材料和组件，本发明提出该装置包括作为力传感器的微型弹簧。
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公开(公告)号：CN102459713B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201080025743.4
申请日：2010-05-26
Applicant: 尼瓦罗克斯-法尔股份公司
Inventor： A.富辛格
CPC classification number: C25D1/003 , B81C99/0085 , B81C2201/032 , C25D1/20 , C25D5/022 , G03F7/0035 , Y10T29/49124
Abstract: 本发明涉及一种用于制造多个金属微观结构的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：a)获得导电衬底或涂覆有导电种子层的绝缘衬底；b)在衬底表面的导电部分上施加光敏树脂层；c)将光敏树脂层的表面平整到期望的厚度和/或表面状态；d)通过限定期望的微观结构的轮廓的掩模照射树脂层；e)使光敏树脂层的非聚合区域溶解以部分地暴露衬底的导电表面；f)从所述导电层电流沉积至少一个金属层，以形成基本上达到光敏树脂的上表面的单元；g)使树脂和电铸金属平整以使树脂和电铸单元达到同一水平并且由此形成电铸部件或微观结构；h)使树脂层和电铸部件与衬底分离；以及i)在步骤g)结束时从所获得的结构移除光敏树脂层以释放由此形成的微观结构。
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公开(公告)号：CN102459713A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080025743.4
申请日：2010-05-26
Applicant: 尼瓦罗克斯-法尔股份公司
Inventor： A.富辛格
CPC classification number: C25D1/003 , B81C99/0085 , B81C2201/032 , C25D1/20 , C25D5/022 , G03F7/0035 , Y10T29/49124
Abstract: 本发明涉及一种用于制造多个金属微观结构的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：a)获得导电衬底或涂覆有导电种子层的绝缘衬底；b)在衬底表面的导电部分上施加光敏树脂层；c)将光敏树脂层的表面平整到期望的厚度和/或表面状态；d)通过限定期望的微观结构的轮廓的掩模照射树脂层；e)使光敏树脂层的非聚合区域溶解以部分地暴露衬底的导电表面；f)从所述导电层电流沉积至少一个金属层，以形成基本上达到光敏树脂的上表面的单元；g)使树脂和电铸金属平整以使树脂和电铸单元达到同一水平并且由此形成电铸部件或微观结构；h)使树脂层和电铸部件与衬底分离；以及i)在步骤g)结束时从所获得的结构移除光敏树脂层以释放由此形成的微观结构。
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公开(公告)号：CN105527820B
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201510673937.X
申请日：2015-10-16
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: C25D21/04 , B81B2201/035 , B81C1/00674 , B81C2201/032 , C22C19/03 , C22C45/04 , C25D1/003 , G04B1/145 , G04B13/02 , G04B15/00 , G04B15/14 , G04B37/22 , G04D3/0074
Abstract: 本发明涉及一种一体式金属部件，其包括电成型金属本体，该本体的外表面仅在预定深度上或者直至预定深度包括比电成型金属本体的其余部分更少的被捕获氢，导致相对于本体的其余部分发生硬化，以提高该一体式部件的耐磨性，同时保持小于10的相对导磁率和被紧配合或压配合的能力。
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公开(公告)号：CN105527820A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201510673937.X
申请日：2015-10-16
Applicant: 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司
CPC classification number: C25D21/04 , B81B2201/035 , B81C1/00674 , B81C2201/032 , C22C19/03 , C22C45/04 , C25D1/003 , G04B1/145 , G04B13/02 , G04B15/00 , G04B15/14 , G04B37/22 , G04D3/0074 , G04B37/221 , G04B33/00
Abstract: 本发明涉及一种一体式金属部件，其包括电成型金属本体，该本体的外表面仅在预定深度上或者直至预定深度包括比电成型金属本体的其余部分更少的被捕获氢，导致相对于本体的其余部分发生硬化，以提高该一体式部件的耐磨性，同时保持小于10的相对导磁率和被紧配合或压配合的能力。
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