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公开(公告)号：CN119270598A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411804389.5
申请日：2024-12-10
Applicant: 鹏城实验室
IPC: G03F7/20
Abstract: 本申请公开了一种光刻照明系统、方法及光刻机，涉及光刻技术领域，所述光刻照明系统包括：非对称分光器、监测器、曝光装置、预设光源以及控制器；通过非对称分光器将预设光分为传输至监测器的监测光以及传输至曝光装置的照明光，控制器可以通过监测器获取的监测光的光场分布来获取照明光的光场分布，从而达到监控的效果。同时控制器在判定照明光的光场分布出现异常时，可以自适应地调节预设光源输出的预设光对应的光源像素参数，以使产生的照明光继续实现匀光的效果。通过上述简单的结构实现光刻照明系统的匀光和监控的一体化，极大地降低了整个光刻照明系统的硬件结构复杂度，并减少了光源不稳定的情况对光刻照明系统造成的干扰。
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公开(公告)号：CN119094038A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411572528.6
申请日：2024-11-06
Applicant: 鹏城实验室
IPC: H04B10/70 , H04B10/556 , H04B10/54 , H04Q11/00
Abstract: 本申请公开了一种可纠错空域‑频域并行的光子计算装置，涉及光子计算技术领域，该装置包括：接收若干路多波长光信号，并对输入的各路多波长光信号进行第一矩阵运算处理；幅度相位频率响应控制单元在处理过程中，利用微环结构在频域上的周期性响应对各路多波长光信号进行频率阵列处理；对处理后的光信号进行光交换处理和/或第二矩阵运算处理，获得目标光信号。本发明利用幅度相位频率响应控制单元在频域上的周期性响应对各路光信号进行频域阵列处理，使得可以基于处理后的光信号获得目标光信号，解决了现有技术中的光子机算系统的光处理无法实现对处理过程进行监控和纠错导致可靠性低，且无法充分利用空域和频率域导致处理效率低的技术问题。
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公开(公告)号：CN117241428B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311485441.0
申请日：2023-11-09
Applicant: 鹏城实验室
Abstract: 本发明涉及灯光控制技术领域，公开了一种光源控制系统及光源控制方法，该系统包括：时钟控制信号模块接收光源亮度数据，并将光源亮度数据发送至阵列功率驱动模块；在光源亮度数据发送完成后，向阵列功率驱动模块发送光源同步信号，光源同步信号为根据刷新频率生成的周期性信号；阵列功率驱动模块在接收到光源同步信号时，根据光源亮度数据同步本地驱动发光阵列板中各发光单元。本发明中时钟控制信号模块将接收的光源亮度数据发送至阵列功率驱动模块后，向其发送光源同步信号，阵列功率驱动模块在接收到光源同步信号时根据光源亮度数据驱动发光阵列板，解决了通过逐行扫描模式进行时钟控制时存在时序限制，导致控制精度较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN117241428A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202311485441.0
申请日：2023-11-09
Applicant: 鹏城实验室
Abstract: 本发明涉及灯光控制技术领域，公开了一种光源控制系统及光源控制方法，该系统包括：时钟控制信号模块接收光源亮度数据，并将光源亮度数据发送至阵列功率驱动模块；在光源亮度数据发送完成后，向阵列功率驱动模块发送光源同步信号，光源同步信号为根据刷新频率生成的周期性信号；阵列功率驱动模块在接收到光源同步信号时，根据光源亮度数据同步本地驱动发光阵列板中各发光单元。本发明中时钟控制信号模块将接收的光源亮度数据发送至阵列功率驱动模块后，向其发送光源同步信号，阵列功率驱动模块在接收到光源同步信号时根据光源亮度数据驱动发光阵列板，解决了通过逐行扫描模式进行时钟控制时存在时序限制，导致控制精度较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN119727931B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510239173.7
申请日：2025-03-03
Applicant: 鹏城实验室
IPC: H04B10/516 , H04B10/69 , H04B10/80 , H04B10/61
Abstract: 本申请涉及光通信技术领域，公开了一种信号重构系统及方法，系统包括：第一光耦合器、第一光电探测器、光混频器、第二光电探测器、第一模数转换器、第二模数转换器以及数字信号处理单元，光混频器包括第二光耦合器、第三光耦合器以及多个色散元件；本申请通过第一光耦合器将待测复值双边带信号分为两路，一路信号经第一光电探测器的平方律检波处理获得平方处理后电信号，通过第二光耦合器、第三光耦合器、多个色散元件以及第二光电探测器对另一路信号获得色散处理后电信号，经数字信号处理单元获取信息承载信号同相分量和信息承载信号正交分量，获得重构信号，有效缓解了色散元件导致的频率选择性功率衰落效应，提高了重构信号的质量和准确性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119727931A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202510239173.7
申请日：2025-03-03
Applicant: 鹏城实验室
IPC: H04B10/516 , H04B10/69 , H04B10/80 , H04B10/61
Abstract: 本申请涉及光通信技术领域，公开了一种信号重构系统及方法，系统包括：第一光耦合器、第一光电探测器、光混频器、第二光电探测器、第一模数转换器、第二模数转换器以及数字信号处理单元，光混频器包括第二光耦合器、第三光耦合器以及多个色散元件；本申请通过第一光耦合器将待测复值双边带信号分为两路，一路信号经第一光电探测器的平方律检波处理获得平方处理后电信号，通过第二光耦合器、第三光耦合器、多个色散元件以及第二光电探测器对另一路信号获得色散处理后电信号，经数字信号处理单元获取信息承载信号同相分量和信息承载信号正交分量，获得重构信号，有效缓解了色散元件导致的频率选择性功率衰落效应，提高了重构信号的质量和准确性。
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公开(公告)号：CN117406564A
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202311697407.X
申请日：2023-12-12
Applicant: 鹏城实验室
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及光源调控技术领域，公开了一种光源调控方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：将泵浦光源发射的高强度激光输入至高次谐波产生腔，获得目标极紫外光；基于目标极紫外光对泵浦光源对应的光源模场进行空间分布调控，获得泵浦光源对应的光源模场数据；基于光源模场数据建立光源基本数据库；基于光源基本数据库进行光源掩模联合优化，以根据掩模版优化参数进行极紫外光调控。本发明基于对泵浦光源对应的光源模场进行调控获得的光源模场数据建立光源基本数据库，并基于光源基本数据库进行光源掩模联合优化，以根据掩模版优化参数进行极紫外光调控，解决了EUV光刻中的EUV光源难调控，进而导致光刻分辨率较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN115826368B
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202310123013.7
申请日：2023-02-16
Applicant: 鹏城实验室
Abstract: 本发明公开了一种时变光源‑掩模版协同优化方法及相关设备，所述方法包括：获取散焦和光刻胶的阈值，对散焦和阈值进行预计算得到初始参量；进行时变光源优化和掩模版优化得到联合方案，并将联合方案反馈给第一训练库；根据联合方案对隐图像进行计算光刻模拟得到模拟结果，并对联合方案进行曝光得到量测结果，并将模拟结果与量测结果进行对比得到对比结果；将对比结果输入第二训练库，根据智能核心算法对第一训练库和第二训练库进行学习得到优化后的多次曝光方案，并基于多次曝光方案得到超分辨光刻图案。本发明通过稀疏采样降低量测所需的精度，并在多次曝光后形成具有高质量临界尺寸的锐化边缘，实现超分辨光，且降低测试成本。
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