公开(公告)号：CN1911665A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200610109730.0

申请日：2006-08-09

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 李欣山 ,  西胁学

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/045 ,  B41J2/16

Abstract: 本发明提供一种可以保持良好的压电体层的压电特性并且可以防止上电极剥离的致动器装置及其制造方法、以及液体喷射头和液体喷射装置。所述方法具有在基板上形成振动板的步骤以及在振动板上形成由下电极、压电体层、和上电极构成的压电元件的步骤，在形成压电元件的步骤中，通过溅射法在压电体层上形成上电极，使溅射时的温度为25～250(℃)、压力为0.4～1.5(Pa)，由此，形成厚度为30～100(nm)、应力为0.3～2.0(GPa)、且电阻率为2.0(×10－7Ω·m)以下的上电极。

公开(公告)号：CN1838444A

公开(公告)日：2006-09-27

申请号：CN200610065140.2

申请日：2006-03-21

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 李欣山

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  B41J2/14 ,  B41J2/045

Abstract: 本发明公开了一种具有高耐受电压和更长的耐久性寿命的压电元件，一种液体喷射头和一种液体喷射设备。该压电元件包括：设置在衬底之上的下电极；设置在所述下电极之上的压电层；和设置在所述压电层之上的上电极，并且所述压电层的电阻率不低于20MΩ·cm。

公开(公告)号：CN1666870A

公开(公告)日：2005-09-14

申请号：CN200510053843.9

申请日：2005-03-11

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 李欣山 ,  村井正己 ,  新保俊尚 ,  伊藤牧

IPC: B41J2/045 ,  B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  H04R17/00 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性，又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化，从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1～3nm范围内地形成的工序，并且，形成所述压电元件的工序包括：通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛(Ti)来形成钛种层的工序；以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜，并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶，从而形成所述压电层的工序。