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公开(公告)号：CN104660209B
公开(公告)日：2018-01-23
申请号：CN201510116775.X
申请日：2011-12-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/047 , H03H9/02551 , H03H9/0542 , H03H9/1071 , H03H9/14538 , H03H9/14558 , H03H9/14594
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为(117°≦θ≦142°，42.79°≦|ψ|≦49.57°)的石英基板；以及IDT，其设置所述石英基板上，包含多个电极指，激励出阻带上端模式的表面声波，在平面视图中，在所述电极指之间的位置上配置有电极指间槽，该电极指间槽是所述石英基板的凹槽，在设配置在所述电极指间槽之间的所述石英基板的凸部的线占有率为ηg、设配置在所述凸部上的所述电极指的线占有率为ηe、设所述IDT的有效线占有率ηeff为所述线占有率ηg和所述线占有率ηe的相加平均的情况下，满足ηg＞ηe并且0.59＜ηeff＜0.73的关系。
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公开(公告)号：CN102386878B
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201110241217.8
申请日：2011-08-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/0542 , H03H9/02551 , H03H9/02661 , H03H9/02897
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备。该表面声波谐振器具有：石英基板(30)，其欧拉角为(110°≤θ≤150°，88°≤ψ≤92°)；以及IDT(12、72)，其具有配置在所述石英基板(30)上的多个电极指(18、78)，且激励波为表面声波，该表面声波谐振器的特征在于，在所述石英基板(30)上，配置有在所述表面声波的传播方向上排列成条纹状的多个槽(32、84)，所述电极指(18、78)被配置在所述槽(32)之间、或者所述槽(84)的内部。
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公开(公告)号：CN102403974B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201110261726.7
申请日：2011-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/14594 , H03H9/02551 , H03H9/0542
Abstract: 一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置，其能够在维持工作温度范围内的SAW器件的优秀的频率温度特性的同时，抑制由于回流焊接安装时的高温、和使用时或环境的温度变化而导致的频率变化，从而使可靠性提高。SAW器件(1)具有：IDT(3)，其在欧拉角为(-1.5°≤φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，ψ)的水晶基板(2)的主面上，对阻带上限模式的SAW进行激振；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指(6a，6b)之间。当欧拉角ψ为42.79°≤|ψ|≤49.57°时，IDT电极指膜厚H设定在0.055μm≤H≤0.335μm的范围内，优选设定在0.080μm≤H≤0.335μm的范围内。当欧拉角为|ψ|≠90°×n，且n＝0、1、2、3时，电极指膜厚H设定在0.05μm≤H≤0.20μm范围内。
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公开(公告)号：CN103124166A
公开(公告)日：2013-05-29
申请号：CN201310005518.X
申请日：2010-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/0274
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器的特征在于，该表面声波谐振器具有：欧拉角为，117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，其在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的表面声波，俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，上述表面声波的波长λ、上述电极指的电极膜厚H、以及上述电极指间槽的深度G满足以下关系：0.0407≤（G+H）/λ≤0.20。
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公开(公告)号：CN102403974A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110261726.7
申请日：2011-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/14594 , H03H9/02551 , H03H9/0542
Abstract: 一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置，其能够在维持工作温度范围内的SAW器件的优秀的频率温度特性的同时，抑制由于回流焊接安装时的高温、和使用时或环境的温度变化而导致的频率变化，从而使可靠性提高。SAW器件(1)具有：IDT(3)，其在欧拉角为(-1.5°≤φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，ψ)的水晶基板(2)的主面上，对阻带上限模式的SAW进行激振；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指(6a，6b)之间。当欧拉角ψ为42.79°≤|ψ|≤49.57°时，IDT电极指膜厚H设定在0.055μm≤H≤0.335μm的范围内，优选设定在0.080μm≤H≤0.335μm的范围内。当欧拉角为|ψ|≠90°×n，且n＝0、1、2、3时，电极指膜厚H设定在0.05μm≤H≤0.20μm范围内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102386879A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201110246634.1
申请日：2011-08-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02551 , H03B5/326 , H03H9/02661 , H03H9/0542 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备，能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器(10)具有：IDT(12)，其利用欧拉角为(-1°≤φ≤1°、117°≤θ≤142°、42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30)，并激励出阻带上端模式的SAW；和槽(32)，其是使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的，SAW谐振器(10)的特征在于，在设SAW的波长为λ、设槽(13)的深度为G的情况下，满足下式的关系：0.01λ≤G，并且在设IDT(12)的线占用率为η的情况下，槽(32)的深度G与所述线占用率η满足下式的关系：并且，所述IDT中的电极指的对数N处于下式所示的范围内：160≤N≤220。
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公开(公告)号：CN102332887A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110162592.3
申请日：2011-06-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
CPC classification number: H03H9/02551 , H03B5/326 , H03H9/02653 , H03H9/02661 , H03H9/02669 , H03H9/02677 , H03H9/64 , H03H2009/0019
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，它们无论使用环境如何振荡稳定性都十分优异。SAW谐振器(10)利用了欧拉角为的石英基板(30)，具有激励出SAW的IDT(12)和夹着IDT(12)的一对反射器(20)；以及使电极指(18)之间的石英基板(30)凹陷而形成的槽(32)，其中，在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时，满足0.01λ≤G，在设IDT(12)的线占有率为η时，槽(32)的深度G与线占有率η满足以下关系：-2×G/λ+0.72≤η≤-2.5×G/λ+0.7775，其中0.01λ≤G≤0.05λ；以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5×G/λ+0.7775，其中0.0500λ＜G≤0.0695λ。
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公开(公告)号：CN103219966B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201310098334.2
申请日：2010-02-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山中国人
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/02551 , H03H9/0274
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器具有：欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，其由铝或以铝为主体的合金构成，并且在上述石英基板上具有多个电极指，激励产生阻带上端模式的表面声波，俯视时，在上述电极指之间的上述基板上具有电极指间槽，上述表面声波的波长λ、上述电极指间槽的深度G、以及上述电极指的线占有率η满足下式：0.01λ≤G≤0.094，而且‑2.5×G/λ+0.675≤η≤‑2.5×G/λ+0.775。
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公开(公告)号：CN102904547B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201210254019.X
申请日：2012-07-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/326 , H01L41/053 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/16195 , H03H9/02897 , H03H9/058 , H03H9/0585 , H03H9/25 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供SAW器件、SAW振荡器以及电子设备，能够分别以较高的水平实现老化特性、接合强度和平行度的各要素。SAW器件（1）具有在压电基板（21）上形成了IDT（22）的SAW芯片（2）、支承SAW芯片（2）的底座基板（311）、和将SAW芯片（2）固定到底座基板（311）的固定部件（4）。SAW芯片（2）在其平面视图中，在不与IDT（22）重叠的位置处经由固定部件（4）被单侧支承到底座基板（311）。在设y轴方向上的SAW芯片（2）的长度为W、y轴方向上的固定部件（4）的长度为（D）时，满足1＜D/W≤1.6的关系。此外，固定部件（4）设置成对SAW芯片（2）的固定端（28）的下表面（281）以及侧面（282a、282b）和底座基板（311）进行接合。
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公开(公告)号：CN104660209A
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201510116775.X
申请日：2011-12-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/047 , H03H9/02551 , H03H9/0542 , H03H9/1071 , H03H9/14538 , H03H9/14558 , H03H9/14594
Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为(117°≦θ≦142°，42.79°≦|ψ|≦49.57°)的石英基板；以及IDT，其设置所述石英基板上，包含多个电极指，激励出阻带上端模式的表面声波，在平面视图中，在所述电极指之间的位置上配置有电极指间槽，该电极指间槽是所述石英基板的凹槽，在设配置在所述电极指间槽之间的所述石英基板的凸部的线占有率为ηg、设配置在所述凸部上的所述电极指的线占有率为ηe、设所述IDT的有效线占有率ηeff为所述线占有率ηg和所述线占有率ηe的相加平均的情况下，满足ηg＞ηe并且0.59＜ηeff＜0.73的关系。
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