公开(公告)号：CN104660209B

公开(公告)日：2018-01-23

申请号：CN201510116775.X

申请日：2011-12-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大胁卓弥 ,  山中国人 ,  饭泽庆吾 ,  羽野健一

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC classification number: H01L41/047 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/14538 ,  H03H9/14558 ,  H03H9/14594

Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为(117°≦θ≦142°，42.79°≦|ψ|≦49.57°)的石英基板；以及IDT，其设置所述石英基板上，包含多个电极指，激励出阻带上端模式的表面声波，在平面视图中，在所述电极指之间的位置上配置有电极指间槽，该电极指间槽是所述石英基板的凹槽，在设配置在所述电极指间槽之间的所述石英基板的凸部的线占有率为ηg、设配置在所述凸部上的所述电极指的线占有率为ηe、设所述IDT的有效线占有率ηeff为所述线占有率ηg和所述线占有率ηe的相加平均的情况下，满足ηg＞ηe并且0.59＜ηeff＜0.73的关系。

公开(公告)号：CN104660209A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201510116775.X

申请日：2011-12-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大胁卓弥 ,  山中国人 ,  饭泽庆吾 ,  羽野健一

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25

CPC classification number: H01L41/047 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/14538 ,  H03H9/14558 ,  H03H9/14594

Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为(117°≦θ≦142°，42.79°≦|ψ|≦49.57°)的石英基板；以及IDT，其设置所述石英基板上，包含多个电极指，激励出阻带上端模式的表面声波，在平面视图中，在所述电极指之间的位置上配置有电极指间槽，该电极指间槽是所述石英基板的凹槽，在设配置在所述电极指间槽之间的所述石英基板的凸部的线占有率为ηg、设配置在所述凸部上的所述电极指的线占有率为ηe、设所述IDT的有效线占有率ηeff为所述线占有率ηg和所述线占有率ηe的相加平均的情况下，满足ηg＞ηe并且0.59＜ηeff＜0.73的关系。

公开(公告)号：CN102545822B

公开(公告)日：2015-04-01

申请号：CN201110397440.1

申请日：2011-12-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大胁卓弥 ,  山中国人 ,  饭泽庆吾 ,  羽野健一

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/25

CPC classification number: H01L41/047 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/14538 ,  H03H9/14558 ,  H03H9/14594

Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为(117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板；以及IDT，其设置所述石英基板上，包含多个电极指，激励出阻带上端模式的表面声波，在平面视图中，在所述电极指之间的位置上配置有电极指间槽，该电极指间槽是所述石英基板的凹槽，在设配置在所述电极指间槽之间的所述石英基板的凸部的线占有率为ηg、设配置在所述凸部上的所述电极指的线占有率为ηe、设所述IDT的有效线占有率ηeff为所述线占有率ηg和所述线占有率ηe的相加平均的情况下，满足ηg＞ηe并且0.59＜ηeff＜0.73的关系。

公开(公告)号：CN102545822A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110397440.1

申请日：2011-12-02

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 大胁卓弥 ,  山中国人 ,  饭泽庆吾 ,  羽野健一

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/25

CPC classification number: H01L41/047 ,  H03H9/02551 ,  H03H9/0542 ,  H03H9/1071 ,  H03H9/14538 ,  H03H9/14558 ,  H03H9/14594

Abstract: 本发明提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为(117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板；以及IDT，其设置所述石英基板上，包含多个电极指，激励出阻带上端模式的表面声波，在平面视图中，在所述电极指之间的位置上配置有电极指间槽，该电极指间槽是所述石英基板的凹槽，在设配置在所述电极指间槽之间的所述石英基板的凸部的线占有率为ηg、设配置在所述凸部上的所述电极指的线占有率为ηe、设所述IDT的有效线占有率ηeff为所述线占有率ηg和所述线占有率ηe的相加平均的情况下，满足ηg＞ηe并且0.59＜ηeff＜0.73的关系。