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公开(公告)号：CN102904547B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201210254019.X
申请日：2012-07-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/326 , H01L41/053 , H01L2224/05554 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/16195 , H03H9/02897 , H03H9/058 , H03H9/0585 , H03H9/25 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供SAW器件、SAW振荡器以及电子设备，能够分别以较高的水平实现老化特性、接合强度和平行度的各要素。SAW器件（1）具有在压电基板（21）上形成了IDT（22）的SAW芯片（2）、支承SAW芯片（2）的底座基板（311）、和将SAW芯片（2）固定到底座基板（311）的固定部件（4）。SAW芯片（2）在其平面视图中，在不与IDT（22）重叠的位置处经由固定部件（4）被单侧支承到底座基板（311）。在设y轴方向上的SAW芯片（2）的长度为W、y轴方向上的固定部件（4）的长度为（D）时，满足1＜D/W≤1.6的关系。此外，固定部件（4）设置成对SAW芯片（2）的固定端（28）的下表面（281）以及侧面（282a、282b）和底座基板（311）进行接合。
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公开(公告)号：CN102403980B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201110264421.1
申请日：2011-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/02834 , H03H9/02551 , H03H9/02661 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置。在具有于工作温度范围内具有极大值和极小值、和两者之间的拐点的、曲线的频率温度特性的SAW器件中，抑制由于制造误差而可能在个体之间产生的频率温度特性的偏差及劣化。SAW器件(1)在欧拉角(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，|ψ|≠90°×n(但是，n＝0，1，2，3))的水晶基板(2)的主面上，具有：IDT(3)，其激振阻带上限模式的瑞利波(波长：λ)；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指之间，其中，通过使电极指间槽的深度G为0.01λ≤G≤0.07λ，并使电极指膜厚H和IDT线占有率η满足预定的关系，从而频率温度特性常时在工作温度范围内，于极大值和极小值之间具有拐点，并且抑制由于IDT线占有率η的制造误差而导致的拐点温度的变动。
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公开(公告)号：CN104079260A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410104030.7
申请日：2014-03-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/177 , H01L41/053 , H01L41/0913 , H01L41/0993 , H03B5/32 , H03H9/0538 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/172
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，可以在抑制大型化的同时，减少由加速度（振动）等的外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性。振动元件（1）具有压电基板（2），该压电基板（2）包含振动部（21）和厚度比振动部（21）厚的厚壁部（22）。并且，厚壁部（22）具有：沿着振动部（21）的第1外缘（211）设置的第1厚壁部（23）、沿着第2外缘（213）设置的第2厚壁部（24）、以及沿着第1外缘（212）设置的第3厚壁部（25），在压电基板（2）的前端部设置有分别与X轴和Z’轴这两个轴交叉的倾斜外缘部（26）。
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公开(公告)号：CN108631731B
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN201810190783.2
申请日：2018-03-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小幡直久
Abstract: 本发明提供振荡器、电子设备以及移动体，具有较高的频率稳定性。一种振荡器，该振荡器包含：振动元件；振荡用电路，其使所述振动元件振荡并输出振荡信号；温度传感器，其对温度进行检测；温度补偿电路，其根据所述温度传感器的输出信号对所述振动元件的频率温度特性进行补偿；第一容器，其内部为第一环境，收纳所述振动元件；以及第二容器，其内部为第二环境，收纳所述第一容器、所述振荡用电路、所述温度传感器以及所述温度补偿电路，所述第一环境的热传导率比所述第二环境的热传导率高。
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公开(公告)号：CN107204743A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201710116917.1
申请日：2017-03-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03L1/04 , H01L2224/48091 , H01L2924/16195 , H03B1/02 , H03B5/32 , H03B2201/038 , H03L1/026 , H01L2924/00014 , H03B5/04 , H03B5/06
Abstract: 提供振荡器、电子设备和移动体，振荡器能够用于从开始供给电源起的早期要求高频率精度的电子设备和移动体。一种振荡器，其是温度补偿型振荡器，在该振荡器中，包含振动片、振荡用电路以及温度补偿电路，在基准温度状态下，相对于开始供给电源时的频率的频率偏差在从开始供给电源起经过10秒时为±8ppb以内，在从开始供给电源起经过20秒时为±10ppb以内，在从开始供给电源起经过30秒时为±10ppb以内。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102403974B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201110261726.7
申请日：2011-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/14594 , H03H9/02551 , H03H9/0542
Abstract: 一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置，其能够在维持工作温度范围内的SAW器件的优秀的频率温度特性的同时，抑制由于回流焊接安装时的高温、和使用时或环境的温度变化而导致的频率变化，从而使可靠性提高。SAW器件(1)具有：IDT(3)，其在欧拉角为(-1.5°≤φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，ψ)的水晶基板(2)的主面上，对阻带上限模式的SAW进行激振；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指(6a，6b)之间。当欧拉角ψ为42.79°≤|ψ|≤49.57°时，IDT电极指膜厚H设定在0.055μm≤H≤0.335μm的范围内，优选设定在0.080μm≤H≤0.335μm的范围内。当欧拉角为|ψ|≠90°×n，且n＝0、1、2、3时，电极指膜厚H设定在0.05μm≤H≤0.20μm范围内。
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公开(公告)号：CN104038178A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410076565.8
申请日：2014-03-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0906 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/0913 , H03B5/32 , H03H9/02023 , H03H9/02062 , H03H9/172 , H03H9/19
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备及移动体，能够降低由加速度（振动）等的外力引起的振动特性的变化，发挥稳定的振动特性。振动元件（1）具有：压电基板（2），其包含振动部（21）和厚壁部（22），该厚壁部（22）与振动部（21）的外缘中的除了一部分外缘以外的外缘一体化，厚壁部（22）的厚度大于振动部（21）；以及一对激励电极（31、32），它们分别设在振动区域（219）的互为正反关系的第1主面和第2主面。此外，压电基板（2）具有沿着振动部（21）的第4边（214）设置的第1梁部（23）、第2梁部（24）。
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公开(公告)号：CN102403979A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110264418.X
申请日：2011-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 小幡直久
CPC classification number: H03H9/02551 , H01L41/04 , H03H9/0542 , H03H9/14594
Abstract: 本发明提供一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置。在具有如下曲线的频率温度特性的声表面波器件中，对应于工作温度范围而将频率温度特性调节至最佳，所述曲线具有极大值、极小值以及两者之间的拐点。声表面波器件(1)在欧拉角(-1.5°≤Φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，|ψ|≠90°×n(但是，n＝0，1，2，3))的水晶基板(2)的主面上具有：IDT(3)，其激振阻带上限模式的瑞利波(波长：λ)；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指之间，其中，通过IDT线占有率η和电极指间槽深度G与波长λ相关而满足预定的关系，从而具有在工作温度范围内具有极大值、极小值以及两者之间的拐点的三次曲线的频率温度特性，并且可以通过IDT线占有率η而在工作温度范围内将拐点调节在所希望的温度或温度区域内。
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公开(公告)号：CN102403974A
公开(公告)日：2012-04-04
申请号：CN201110261726.7
申请日：2011-08-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/02
CPC classification number: H03H9/14594 , H03H9/02551 , H03H9/0542
Abstract: 一种声表面波器件、电子设备以及传感器装置，其能够在维持工作温度范围内的SAW器件的优秀的频率温度特性的同时，抑制由于回流焊接安装时的高温、和使用时或环境的温度变化而导致的频率变化，从而使可靠性提高。SAW器件(1)具有：IDT(3)，其在欧拉角为(-1.5°≤φ≤1.5°，117°≤θ≤142°，ψ)的水晶基板(2)的主面上，对阻带上限模式的SAW进行激振；电极指间槽(8)，其凹设在IDT的电极指(6a，6b)之间。当欧拉角ψ为42.79°≤|ψ|≤49.57°时，IDT电极指膜厚H设定在0.055μm≤H≤0.335μm的范围内，优选设定在0.080μm≤H≤0.335μm的范围内。当欧拉角为|ψ|≠90°×n，且n＝0、1、2、3时，电极指膜厚H设定在0.05μm≤H≤0.20μm范围内。
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公开(公告)号：CN208316684U
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201820398822.3
申请日：2018-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本实用新型提供温度补偿型振荡器及电子设备。提供还能够用于在苛刻的温度环境下也要求较高的频率稳定性的电子设备以及移动体的振荡器。温度补偿型振荡器包含振动片、振荡用电路以及温度补偿型电路，设观测时间为τ，0.1s＜τ≤1s的MTIE值为1.3ns以下，1s＜τ≤10s的MTIE值为1.3ns以下，10s＜τ≤100s的MTIE值为1.8ns以下，100s＜τ≤1000s的MTIE值为2.9ns以下，0.1s＜τ≤10s的TDEV值为47ps以下，10s＜τ≤100s的TDEV值为65ps以下，100s＜τ≤1000s的TDEV值为94ps以下。
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