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公开(公告)号：CN1578096A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410043578.1
申请日：1999-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/103
Abstract: 本发明涉及一种压电驱动装置，其特征在于：具备：支撑体；振动板，层叠了呈纵向的板状的压电元件和增强部；旋转体，以可对上述支撑体旋转的方式被支撑，同时，使其旋转轴可移动；支撑部件，该支撑部件具有被固定在上述支撑体上的固定部和被安装在上述振动板上的安装部，在上述支撑体上支撑上述振动板；以及弹性部件，该弹性部件对上述旋转体提供弹性力，使上述旋转体的外周面与上述振动板的纵向的端部相接，在上述压电元件在上述振动板的纵向上已振动的情况下，上述振动板因该振动而振动，伴随因该振动引起的上述振动板的位移，驱动上述旋转体。
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公开(公告)号：CN108871306A
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201810367516.8
申请日：2018-04-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5733 , G01C19/5769
CPC classification number: G01C19/5733 , B60W10/184 , B60W10/22 , B60W30/02 , B60W2420/10 , B81B3/0051 , B81B3/0078 , B81B2201/0242 , G01C19/574 , G01C19/5769 , G01P3/22 , G01C19/5719
Abstract: 本发明涉及物理量传感器及其制造方法和设备、电子设备以及移动体。物理量传感器具有驱动部和将上述驱动部支承成能够在第一方向上位移的驱动弹簧部，上述驱动弹簧部形成为蛇行形状，具有在与上述第一方向交叉的第二方向上延伸的多个梁部，上述多个梁部中至少一个梁部具有相对于上述驱动弹簧部的其他部分而言第三方向的厚度薄的薄壁部，该第三方向与上述第一方向以及上述第二方向交叉。
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公开(公告)号：CN108398125A
公开(公告)日：2018-08-14
申请号：CN201810033722.5
申请日：2018-01-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5733
CPC classification number: G01C19/065 , G01C19/5628 , G01C19/5762 , G01C19/5769 , G01P15/0922 , G01P15/097 , G01C19/5719 , G01C19/5733 , H04M2250/12
Abstract: 本发明涉及陀螺仪传感器、电子设备、便携式电子设备以及移动体。陀螺仪传感器包括：第一信号生成部，生成第一驱动信号以及相位与所述第一驱动信号相差180度的第二驱动信号；可动检测部，根据所述第一驱动信号以及所述第二驱动信号振动，并根据角速度位移；固定检测部，与所述可动检测部相对配置；以及第二信号生成部，生成与所述第一驱动信号或者所述第二驱动信号相同相位的信号并施加于所述固定检测部。
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公开(公告)号：CN103378061B
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201310119819.5
申请日：2013-04-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: H01L23/528 , H01L21/768 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5769
CPC classification number: H01L23/498 , B81B3/0086 , B81B2207/07 , H01L21/76802 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种半导体元件、半导体元件的制造方法以及电子设备，其降低了寄生电容。本发明的半导体元件（1）的特征在于，包括：底基板（12）；第一半导体布线（50）和第二半导体布线（50），其以在所述底基板（12）上相互并列的方式而配置；所述底基板（12）在所述第一半导体布线（50）与所述第二半导体布线（50）之间，具备沿着所述第一半导体布线（50）和所述第二半导体布线（50）的延伸方向的开口部（布线间槽（54）、狭缝（56））。
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公开(公告)号：CN105403209A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201510557262.2
申请日：2015-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/5656
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5656
Abstract: 本发明提供一种具有优异的检测精度的物理量传感器元件，而且还提供具备所涉及的物理量传感器元件的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明的物理量传感器元件(1)具备：检测部(21)；驱动部(24)；梁部(25)，其连接检测部(21)与驱动部(24)，梁部(25)具有分岔的部分。梁部(25)具有从驱动部(24)的互不相同的两个位置延伸出的两个质量部侧梁部、和从检测部(21)的互不相同的两个位置延伸出的两个支承部侧梁部，两个质量部侧梁部的检测部(21)侧的端部彼此互相连接，并且两个支承部侧梁部的驱动部(24)侧的端部彼此互相连接。
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公开(公告)号：CN104925735A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510116966.6
申请日：2015-03-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
CPC classification number: B81B7/0041 , B81B7/007 , B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/025 , B81B2207/092 , B81B2207/097 , G01P15/125 , H01L2224/48091 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明提供一种电子装置、电子模块、电子设备以及移动体。电子装置具备对第一基材和第二基材之间进行密封而形成的收纳空间和被收纳于收纳空间内的第一功能元件和第二功能元件，收纳空间在俯视观察时被配置在第一基材和所述第二基材被接合的框状的接合部的内部区域内，接合部包含设置于一方的第一接合区域和设置于另一方的第二接合区域，所述电子装置还具备第一布线部和第二布线部，第一布线部与第一功能元件连接，并具有从内部区域经由第一接合区域而朝向收纳空间的外部的第一方向，第二布线部与第二功能元件电连接，并具有从内部区域经由第二接合区域而朝向收纳空间的外部的第二方向。
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公开(公告)号：CN103378061A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310119819.5
申请日：2013-04-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: H01L23/528 , H01L21/768 , B81B7/02 , B81C1/00 , G01C19/5769
CPC classification number: H01L23/498 , B81B3/0086 , B81B2207/07 , H01L21/76802 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种半导体元件、半导体元件的制造方法以及电子设备，其降低了寄生电容。本发明的半导体元件（1）的特征在于，包括：底基板（12）；第一半导体布线（50）和第二半导体布线（50），其以在所述底基板（12）上相互并列的方式而配置；所述底基板（12）在所述第一半导体布线（50）与所述第二半导体布线（50）之间，具备沿着所述第一半导体布线（50）和所述第二半导体布线（50）的延伸方向的开口部（布线间槽（54）、狭缝（56））。
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公开(公告)号：CN102195605A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110049987.2
申请日：2011-03-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/04
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，其课题是防止因热弹性效应引起的Q值降低并同时降低CI值。振动片(100)具有：基部(10)；以及从基部(10)延伸地形成的进行弯曲振动的作为振动部的一对振动臂(20、21)。由振动臂(20)的外侧面(20d)和槽(20a)形成外壁(20f)。同样，由外侧面(20e)和槽(20b)形成外壁(20g)。另外，由槽(20a、20b、20c)形成内壁(20h、20i)。振动臂(21)也与振动臂(20)同样形成有外壁(21f、21g)和内壁(21h、21i)。
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公开(公告)号：CN101847978A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010148319.0
申请日：2010-03-25
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/215
Abstract: 本发明提供抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。在由基部(52)和从基部(52)一端侧延伸出的一对振动臂(53、54)构成的音叉型石英振动片(50)中，在包括各振动臂(53、54)的与基部(52)相连的根部附近区域形成激励电极(36A、37A)。振动臂(53、54)沿图中箭头(G)的方向弯曲振动时压缩或拉伸应力作用的第1区域(110、112)和第2区域(111、113)热连接。振动臂(53、54)各自的热传导路径的条数设为m、热传导路径的热阻率设为ρth、振动臂(53、54)热阻率设为ρV、与振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tv、热传导路径的振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tth时，满足tth≥(1/m)×tv×(ρth/ρv)的关系。
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