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公开(公告)号：CN101847978A
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN201010148319.0
申请日：2010-03-25
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H03H9/215
Abstract: 本发明提供抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。在由基部(52)和从基部(52)一端侧延伸出的一对振动臂(53、54)构成的音叉型石英振动片(50)中，在包括各振动臂(53、54)的与基部(52)相连的根部附近区域形成激励电极(36A、37A)。振动臂(53、54)沿图中箭头(G)的方向弯曲振动时压缩或拉伸应力作用的第1区域(110、112)和第2区域(111、113)热连接。振动臂(53、54)各自的热传导路径的条数设为m、热传导路径的热阻率设为ρth、振动臂(53、54)热阻率设为ρV、与振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tv、热传导路径的振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tth时，满足tth≥(1/m)×tv×(ρth/ρv)的关系。
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公开(公告)号：CN102013881A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010167355.1
申请日：2010-04-23
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H01L41/1132 , G01C19/5607 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 本发明提供弯曲振动片、弯曲振子以及电子设备。弯曲振动片具有基部和从基部延伸的多个振动臂部，一对振动臂部分别具有第一槽部和第二槽部，所述第一槽部沿着振动臂部的延伸方向形成于沿着一对振动臂部的排列方向的一方的主面，所述第二槽部与第一槽部并列地形成于另一方的主面，第一槽部的深度与第二槽部的深度之和比一方的主面与另一方的主面之间的间隔大，一对振动臂部分别在位于靠近与振动臂部彼此面对的内侧相反的外侧形成的第一槽部的开口侧的一方的主面设有附加重量的质量部。
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公开(公告)号：CN101286730B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200810092173.5
申请日：2008-04-10
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 本发明提供一种低损耗且结构强度高的轮廓振子。轮廓振子(10)接合谐振频率和振动模态共同的至少振动基板(20)和振动基板(40)的相互对置的主面而形成，该轮廓振子(10)具有：设置在振动基板(20)的正面主面上的激励电极(30)；设置在振动基板(40)的背面主面上的激励电极(60)；以及设置在振动基板(20)和振动基板(40)的边界面上的共同的中间激励电极(50)，施加使激励电极(30)和激励电极(60)为相同电位、使中间激励电极(50)为相反电位的激励信号。振动基板(20)的切角为时，振动基板(40)的切角为或这样，能够减薄振动基板单体的厚度，提高电场效率，通过层叠接合，能够提高结构强度。
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公开(公告)号：CN101622785A
公开(公告)日：2010-01-06
申请号：CN200880006195.3
申请日：2008-02-18
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02102 , H03H9/19 , H03H2003/0428 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供了一种具有期望谐振频率和期望温度特性的轮廓振子、以及该轮廓振子的调节方法。轮廓振子(10)具有由正方形平板形成的振动体(20)、形成在振动体(20)的正面和背面上并调节谐振频率的激励电极(30)和(31)、以及形成在激励电极(30)和(31)的表面上并调节温度特性的温度特性调节膜(41)和(42)。
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公开(公告)号：CN101771395A
公开(公告)日：2010-07-07
申请号：CN200910258827.1
申请日：2009-12-25
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 山田明法
IPC: H03H9/21
CPC classification number: H01L41/1132 , G01C19/5607 , H03H9/215
Abstract: 弯曲振动片以及电子部件。针对在多个振动臂间从连接部延伸出1个中央支撑臂的弯曲振动模式的弯曲振动片，改善因振动臂的弯曲振动而在连接部产生的热弹性损失所导致的Q值下降。压电振动片(21)沿振动臂(23、24)的宽度方向具有有底槽(30、31)，其位于连接部(22)的连接振动臂的部分与连接中央支撑臂25的部分间的区域(28、29)。利用该槽，因振动臂的弯曲振动形成的、区域(28、29)的振动臂侧部分(32、33)与相反侧部分(34、35)间的热传递路径显著变长，这些部分间的缓和时间变长，Q值为极小值的缓和振动频率低于以往，改善了Q值。为贯通槽时，区域(28、29)的振动臂侧及相反侧部分(37、38)内部的热传递路径变短，各部分的缓和时间变短，缓和振动频率大于以往，改善了Q值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101578764A
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：CN200880002120.8
申请日：2008-01-10
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 山田明法
CPC classification number: H03H9/19 , H03H9/02157
Abstract: [要解决的问题]提供了一种减小由激励电极膜厚度的变化而引起的谐振频率波动的轮廓谐振器。[解决问题的技术手段]轮廓谐振器10包括石英基板20和分别形成在石英基板20的正面和背面上的激励电极30、31。存在这样一个范围：其中，当激励电极30、31的轮廓振动频率Fe与基板的轮廓振动频率之间的比率Fe/Fb大于0.69时，相对于电极膜厚度的频率灵敏度小于现有技术中的情况。也就是说，可以使轮廓振动频率相对于电极膜厚度变化的波动小得多。
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公开(公告)号：CN101286730A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810092173.5
申请日：2008-04-10
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 本发明提供一种低损耗且结构强度高的轮廓振子。轮廓振子(10)接合谐振频率和振动模态共同的至少振动基板(20)和振动基板(40)的相互对置的主面而形成，该轮廓振子(10)具有：设置在振动基板(20)的正面主面上的激励电极(30)；设置在振动基板(40)的背面主面上的激励电极(60)；以及设置在振动基板(20)和振动基板(40)的边界面上的共同的中间激励电极(50)，施加使激励电极(30)和激励电极(60)为相同电位、使中间激励电极(50)为相反电位的激励信号。振动基板(20)的切角为YXltφ/θ时，振动基板(40)的切角为YXltφ/θ±90°或YXltφ±180°/θ。这样，能够减薄振动基板单体的厚度，提高电场效率，通过层叠接合，能够提高结构强度。
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公开(公告)号：CN101553981A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200780043054.4
申请日：2007-09-20
Applicant: 爱普生拓优科梦株式会社
Abstract: 一种轮廓振子，具有平面形状为四方形的振动体和外廓形状为四方形的激励电极，所述振动体由切角利用IRE标准的YXIt φ/θ表示的石英基板构成，所述激励电极形成于所述振动体的正反两面，所述切角θ在40度以上50度以下的范围内，利用形成所述振动体的平面形状的所述四方形的一边的长度L、所述振动体的厚度t、所述激励电极的膜厚H、和形成所述激励电极的外廓形状的所述四方形的一边的长度Le，把切角φ设定为合适角度，从而可以得到改善了温度特性的轮廓振子。
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公开(公告)号：CN104300934B
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201410338689.9
申请日：2014-07-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 山田明法
Abstract: 提供振动片、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够提高耐冲击性和Q值。在振动片(2)中，基部(4)包含第1基部(41)、第2基部(42)和连结部(43)，基部(4)包含设置于(43)的第1基部(41)侧的端部、且沿着X轴方向的宽度随着朝向第2基部(42)而连续减小的宽度缩小部(411)，俯视时宽度缩小部(411)的外缘和连结部(43)的外缘为不包含角部的连续的线，在设该曲线的第1基部(41)侧的部分的切线与平行于X轴方向的线段所成的角为θ时，满足0°＜θ＜90°的关系。
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公开(公告)号：CN104242859B
公开(公告)日：2018-10-02
申请号：CN201410277804.6
申请日：2014-06-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体，防止两个电极焊盘间的短路。振动片是石英振动片(1)，其在支撑臂(23)的下表面设置有第1、第2电极焊盘(37、38)，在第1与第2电极焊盘(37、38)之间，以在平面视图中与支撑臂(23)的两主面(上下表面)重叠的方式设置有切口部(18a、18b)，该振动片的特征在于，切口部(18a、18b)从支撑臂(23)的+X轴方向的侧面(20a)起朝－X轴方向切入并延伸，并具有与X轴大致垂直的第1面(19c、19d)，和具有在+X轴方向上延伸的第1、第2倾斜面(19a、19b)的倾斜部。
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