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    压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置
    21.
    发明公开
    压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置 无效

    公开(公告)号：CN109228661A

    公开(公告)日：2019-01-18

    申请号：CN201810730213.8

    申请日：2018-07-05

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 中山雅夫 ,  高部本规 ,  平井荣树 ,  矢崎士郎

    IPC: B41J2/14

    Abstract: 本发明提供一种在不阻碍压电元件的位移的条件下抑制了液体供给口的周围的膜的破损的压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。所述压电器件被用于从喷嘴喷射液体的液体喷射头中，并具备：流道形成基板，其形成有与所述喷嘴连通的独立液室和与所述独立液室连通的液体供给室；振动板，其被形成在与所述流道形成基板的所述独立液室和所述液体供给室相对应的位置上；多个液体供给口，其被形成于所述液体供给室；以及压电元件，其包含第一电极、压电体层和第二电极，并且被形成在所述振动板的与所述独立液室相对应的位置上，在所述振动板的与所述液体供给室相对应的位置上层压有金属层，所述液体供给口以贯穿所述振动板和所述金属层的方式被设置。

    压电器件、液体喷射头及液体喷射装置
    22.
    发明公开
    压电器件、液体喷射头及液体喷射装置 无效

    公开(公告)号：CN109203694A

    公开(公告)日：2019-01-15

    申请号：CN201810724152.4

    申请日：2018-07-04

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 中山雅夫 ,  高部本规 ,  平井荣树 ,  矢崎士郎

    IPC: B41J2/045

    Abstract: 本发明提供一种在不阻碍压电元件的位移的条件下抑制了液体供给口的周围的膜的破坏的压电器件、液体喷射头及液体喷射装置。压电器件被用于从喷嘴喷射液体的液体喷射头，并具备：流道形成基板(10)，其形成有与所述喷嘴连通的独立液室(12、14、15)和与所述独立液室(12、14、15)连通的液体供给室(13)；振动板(50)，其被形成于与所述流道形成基板(10)的所述独立液室(12、14、15)和所述液体供给室(13)相对应的位置上；多个液体供给口(16)，其被形成于所述液体供给室(13)；压电元件(300)，其包括第一电极(60)、压电体层(70)和第二电极(80)，并且被形成于所述振动板(50)的与所述独立液室(12、14、15)相对应的位置上，所述液体供给口(16)被设置为将所述振动板(50)贯穿，所述振动板(50)包含氧化锆。

    压电元件、压电致动器
    24.
    发明公开
    压电元件、压电致动器 审中-实审

    公开(公告)号：CN118076208A

    公开(公告)日：2024-05-24

    申请号：CN202311561489.5

    申请日：2023-11-21

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 酒井朋裕 ,  中山雅夫 ,  北田和也

    IPC: H10N30/853 ,  H10N30/20 ,  H10N30/00

    Abstract: 本发明提供一种压电特性和耐久性优异的压电元件、压电致动器。压电元件具备基板、第一电极、包含钾、钠和铌的薄膜压电体和第二电极。在将薄膜压电体在成膜方向上二等分，并将第一电极侧设为第一区域且将第二电极侧设为第二区域时，在第一区域中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值的得到的值A，小于在薄膜压电体中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值而得到的值B。

    液体喷射头以及液体喷射装置
    25.
    发明公开
    液体喷射头以及液体喷射装置 审中-实审

    公开(公告)号：CN114801483A

    公开(公告)日：2022-07-29

    申请号：CN202210093428.X

    申请日：2022-01-26

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 外村修 ,  中山雅夫

    IPC: B41J2/045

    Abstract: 本发明提供一种提高从喷嘴喷射的液滴的油墨重量以及振动板的共振频率的液体喷射头以及液体喷射装置。该液体喷射头为，压力室、具备第一振动板、第二振动板以及第三振动板的振动板、压电致动器依次层叠在一起的液体喷射头，在从所述振动板和所述压电致动器的层叠方向进行的俯视观察中，所述压力室在第一方向上并排设置有多个，在所述第一方向上，在所述第一振动板和所述第二振动板中，设置有层叠了所述压电体层和所述第三振动板的部分、和未层叠有所述压电体层和所述第三振动板的部分，所述第一振动板和所述第二振动板的一方具有压缩应力，另一方具有拉伸应力，所述第三振动板的杨氏模量大于所述第一振动板以及所述第二振动板的杨氏模量。

    液体喷出头
    26.
    发明公开
    液体喷出头 有权

    公开(公告)号：CN113352755A

    公开(公告)日：2021-09-07

    申请号：CN202110225747.7

    申请日：2021-03-01

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 古池晴信 ,  角浩二 ,  中山雅夫

    IPC: B41J2/01 ,  B41J2/14

    Abstract: 本发明提供一种能够在高湿度的环境下对漏电流的增加进行抑制的液体喷出头。记录头(3)具备：压力室(22)；压电致动器，其使压力室(22)的容积发生变化，压电致动器具备：振动板(21)，其构成压力室(22)的一个壁面；下电极(30)，其被形成在振动板(21)上；压电体(31)，其被形成在下电极(30)上；上电极(32)，其被形成在压电体(31)以及振动板(21)上，在从与振动板(21)正交的±Z方向进行观察时，下电极(30)以及压电体(31)与压力室(22)的中心部(22c)不重叠，在从±Z方向进行观察时，下电极(30)、压电体(31)以及上电极(32)与压力室(22)的端部(22w)重叠，在从±Z方向进行观察时，上电极(32)与压力室(22)的中心部(22c)重叠。

    MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置
    27.
    发明授权
    MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置 有权

    公开(公告)号：CN107032285B

    公开(公告)日：2021-08-10

    申请号：CN201611021448.7

    申请日：2016-11-21

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 塚原克智 ,  高部本规 ,  平井荣树 ,  中山雅夫 ,  西面宗英

    IPC: B81B3/00 ,  B41J2/14

    Abstract: 本发明提供抑制了层压于压电体层上的上电极层的端部处的烧损等损坏的MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置。MEMS器件具备：驱动区域，其具有下电极层、压电体层及上电极层依次层压所形成的压电元件，压电元件从驱动区域延伸到非驱动区域，且在该延伸方向上，下电极层及压电体层延伸到与上电极层相比靠外侧，覆盖延伸方向上的上电极层的端部的树脂部被层压在非驱动区域内的上电极层上以及形成在与该上电极层相比靠外侧处的压电体层上，与上电极层电连接的导电层层压在树脂部上及从该树脂部偏离出的区域内的上电极层上，上电极层的端部被形成在与导电层的树脂部侧的端部相比靠驱动区域侧处。

    液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件
    28.
    发明授权
    液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件 有权

    公开(公告)号：CN109484031B

    公开(公告)日：2020-10-20

    申请号：CN201811042820.1

    申请日：2018-09-07

    Applicant: 精工爱普生株式会社

    Inventor： 横山直人 ,  中山雅夫 ,  平井荣树

    IPC: B41J2/14 ,  B41J2/01 ,  H01L41/04

    Abstract: 本发明提供一种在抑制振动板的位移量的降低的同时确保振动板的强度的液体喷射头、液体喷射装置以及压电器件。液体喷射头具备：喷嘴，其对液体进行喷射；流道基板，其形成有与所述喷嘴连通的压力室和与所述压力室连通的液体供给室；振动板，其被设置于所述流道基板上，且与所述压力室和所述液体供给室重叠；以及压电元件，其被形成于所述振动板中的与所述压力室相反的一侧，所述振动板中的与所述压力室重叠的部分的厚度和所述振动板中的与所述液体供给室重叠的部分的厚度相比而较薄。

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