公开(公告)号：CN109073981B

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN201680084437.5

申请日：2016-11-04

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： V·莱温斯基 ,  E·哈贾 ,  T·伊茨科维赫 ,  S·雅哈仑 ,  M·E·阿德尔 ,  Y·帕斯卡维尔 ,  D·内格里 ,  Y·卢巴舍夫斯基 ,  A·玛纳森 ,  李明俊 ,  M·D·史密斯

IPC: G03F7/20 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供计量目标及目标设计方法，其中通过以辅助元件替换来自具有间距p的周期性图案的元件来定义目标元件以形成将所述间距p维持为单个间距的复合周期性结构，所述辅助元件与所述经替换元件具有至少一个几何差异。在与高级多重图案化技术的兼容性界限内构造目标会改善所述目标的保真度，且填充因数调制会使得能够对所述目标进行调整以产生足以在实现所述目标的工艺兼容性的同时提取叠对的计量敏感度。