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公开(公告)号：CN106463374B
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：CN201580028164.8
申请日：2015-03-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/301 , B23K26/064 , B23K26/067 , B23K26/53
Abstract: 激光加工装置(300)具备射出激光(L)的激光光源(202)、将激光(L)聚光于加工对象物(1)的聚光光学系统(204)、以及以激光(L)至少被分支为第1加工光以及第2加工光并且第1加工光被聚光于第1聚光点且第2加工光被聚光于第2聚光点的方式对激光(L)进行调制的反射型空间光调制器(203)。若将加工对象物(1)的表面(3)上的第1加工光的半径设为(W1)，将该表面(3)上的第2加工光的半径设为(W2)，将在从与该表面(3)垂直的方向观察的情况下的第1聚光点和第2聚光点的距离设为(D)，则反射型空间光调制器(203)以满足D＞W1+W2的方式调制激光(L)。
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公开(公告)号：CN109070268A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780020452.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , B23K26/00
Abstract: 一种激光加工装置，是将激光照射于对象物并进行上述对象物的激光加工的激光加工装置，具备输出上述激光的激光输出部、根据相位图案调制且反射从上述激光输出部输出的上述激光的空间光调制器、和将来自上述空间光调制器的上述激光向上述对象物聚光的物镜，上述空间光调制器具有：上述激光入射的入射面、将从上述入射面入射的上述激光向上述入射面反射的反射面、及配置于上述入射面和上述反射面之间且显示上述相位图案并调制上述激光的液晶层，在上述反射面形成有在彼此不连续的多个波段具有高反射率区域的电介质多层膜。
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公开(公告)号：CN108712938A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201780016099.6
申请日：2017-03-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/04 , B23K26/064 , G02B5/08 , G02B7/198 , H01S3/10
CPC classification number: B23K26/04 , B23K26/064 , G02B5/08 , G02B7/198 , H01S3/10
Abstract: 激光加工装置具备有激光光源、具有显示部的空间光调制器、物镜、转像光学系统、摄像机以及控制部。控制部执行第1显示处理和第2显示处理。第1显示处理是在用摄像机对图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜聚光的激光的聚光位置作为第1聚光位置的第1相位图案。第2显示处理是在用摄像机对前述图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜所聚光的激光的聚光位置作为在激光的照射方向上与第1聚光位置不同的第2聚光位置的第2相位图案。
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公开(公告)号：CN108602159A
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201780008410.2
申请日：2017-01-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , H01L21/301 , H01S3/00 , H01S3/10 , B23K26/53
Abstract: 激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、被安装于装置框架且支承加工对象物(1)的支承部(230)、被安装于装置框架的激光输出部(300)、以及以可相对于激光输出部移动的方式被安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有出射激光的激光光源，激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、相对于加工对象物将激光聚光的聚光光学系统、以及构成反射型空间光调制器的反射面与聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的成像光学系统。
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公开(公告)号：CN101019018A
公开(公告)日：2007-08-15
申请号：CN200580029864.5
申请日：2005-09-02
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6458 , G01N21/6408 , G01N2021/6471 , G02B21/0032 , G02B21/0056 , G02B21/0076 , G02B21/16
Abstract: 荧光显微镜(11)，具有物镜(101)、分色镜(102)、半透镜(105)、反射镜(106)、激光源(111)、ND滤光器(112)、光束扩展器(113)、反射镜(114)、空间光调制元件(115)、透镜(131)、带通滤波器(132)、空间光调制元件(133)、检测部(134)。空间光调制元件(115)，其空间光调制为可变的，并且通过经由以后的光学系统，向被测试样(1)上照射进行空间调制后的激发光，可以对被测试样(1)中的激发光照射区域的个数、位置、形状进行设定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114730708A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080077494.7
申请日：2020-11-20
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明的激光加工装置是进行由双折射材料构成的对象物的激光加工的激光加工装置，并且具备：光源，其输出激光；空间光调制器，其调制从光源输出的激光；聚光透镜，其将激光朝向对象物聚光；以及作为空间光调制器的功能的偏光成分控制部，其以在对象物聚光于Z方向(光轴方向)的一点的方式控制激光的偏光成分。
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公开(公告)号：CN114401811A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202080064112.7
申请日：2020-09-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/067
Abstract: 激光加工装置具备有支撑部、光源、空间光调制器、聚光部及控制部。控制部，以激光被分支成包含0级光的多个加工光，且多个加工光的多个聚光点在Z方向及X方向的各自的方向上位于互相不同的部位的方式，控制空间光调制器，并且，以X方向与线的延伸方向一致，且多个聚光点沿着线相对地移动的方式，控制支撑部及聚光部中的至少一方。控制部，以在X方向上，0级光的聚光点相对于激光的非调制光的聚光点位于一侧的方式，控制空间光调制器。
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公开(公告)号：CN109070268B
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN201780020452.8
申请日：2017-03-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01S5/183
Abstract: 一种激光加工装置，是将激光照射于对象物并进行上述对象物的激光加工的激光加工装置，具备输出上述激光的激光输出部、根据相位图案调制且反射从上述激光输出部输出的上述激光的空间光调制器、和将来自上述空间光调制器的上述激光向上述对象物聚光的物镜，上述空间光调制器具有：上述激光入射的入射面、将从上述入射面入射的上述激光向上述入射面反射的反射面、及配置于上述入射面和上述反射面之间且显示上述相位图案并调制上述激光的液晶层，在上述反射面形成有在彼此不连续的多个波段具有高反射率区域的电介质多层膜。
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公开(公告)号：CN113195185A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN201980084378.5
申请日：2019-12-18
Applicant: 国立大学法人东海国立大学机构 , 浜松光子学株式会社
IPC: B28D5/00 , B23K26/53 , H01L21/304 , H01L21/301
Abstract: 激光加工方法是用于在半导体对象物的内部沿着与半导体对象物的表面相对的假想面，切断半导体对象物的激光加工方法，具备：通过使激光从表面入射至半导体对象物的内部，而沿着假想面形成多个第1改质点的第1工序；通过使激光从表面入射至半导体对象物的内部，而以与多个第1改质点不重叠的方式，沿着假想面形成多个第2改质点的第2工序。
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公开(公告)号：CN108602159B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201780008410.2
申请日：2017-01-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: B23K26/064 , H01L21/301 , H01S3/00 , H01S3/10 , B23K26/53
Abstract: 激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、被安装于装置框架且支承加工对象物(1)的支承部(230)、被安装于装置框架的激光输出部(300)、以及以可相对于激光输出部移动的方式被安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有出射激光的激光光源，激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、相对于加工对象物将激光聚光的聚光光学系统、以及构成反射型空间光调制器的反射面与聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的成像光学系统。
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