公开(公告)号：CN113437195B

公开(公告)日：2022-07-05

申请号：CN202110628372.9

申请日：2021-06-04

Applicant: 季华实验室

Inventor： 李义 ,  徐成 ,  梁振廷 ,  秦燕亮 ,  安宁 ,  王玉 ,  田德天 ,  陈培培

IPC: H01L33/48 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种微型器件转移装置及转移方法，主题一包括控制模块、供给基板和转移头，所述供给基板的第一侧面设有若干列转移头，所述供给基板的第一侧面为朝所述供给基板方向弯曲的曲面，所述控制模块用于控制所述若干列转移头吸附和释放微型器件而转移微型器件。本发明通过转动供给基板使得若干列转移头上的微型器件依次与接收基板相接触，并利用控制模块控制若干列转移头依次释放微型器件，使得若干列转移头上的微型器件依次转移，由于采用分批分列的方式转移微型器件，从而有效提高微型器件巨量转移方式的转移良率，提高微型器件的生成效率。

公开(公告)号：CN113437195A

公开(公告)日：2021-09-24

申请号：CN202110628372.9

申请日：2021-06-04

Applicant: 季华实验室

Inventor： 李义 ,  徐成 ,  梁振廷 ,  秦燕亮 ,  安宁 ,  王玉 ,  田德天 ,  陈培培

IPC: H01L33/48 ,  H01L21/683 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开一种微型器件转移装置及转移方法，主题一包括控制模块、供给基板和转移头，所述供给基板的第一侧面设有若干列转移头，所述供给基板的第一侧面为朝所述供给基板方向弯曲的曲面，所述控制模块用于控制所述若干列转移头吸附和释放微型器件而转移微型器件。本发明通过转动供给基板使得若干列转移头上的微型器件依次与接收基板相接触，并利用控制模块控制若干列转移头依次释放微型器件，使得若干列转移头上的微型器件依次转移，由于采用分批分列的方式转移微型器件，从而有效提高微型器件巨量转移方式的转移良率，提高微型器件的生成效率。