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公开(公告)号：CN103606628A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201310598305.2
申请日：2013-11-22
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: H01L51/44 , H01L51/46 , H01L31/0224
CPC classification number: Y02E10/549 , H01L51/424 , H01L51/441 , H01L51/447
Abstract: 本发明提供了一种利用超材料的新型薄膜太阳能电池，其包括基底，可选用硅或者是玻璃，中间层是半导体功能层，在功能层上下表面都加上黑色的超材料电极，超材料电极是由两组十字交叉的银的光栅结构组成，上层和下层的十字架要对齐。通过设计薄膜太阳能电池功能层的厚度以及超材料的结构参数，使得较少量的入射太阳光能从金属网格结构中逃逸，其他大部分被束缚在薄膜太阳能电池的功能层。上下两层的金属网格结构能够激发谐振，光基本集中在薄膜太阳能电池的功能层中，不断地被吸收利用转化成为电子，从而提高光的利用率。金属网格结构的金属成分比较高，并且是连续的，导电能力比较强，可以直接用来作为实际应用的薄膜太阳能电池的电极。
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公开(公告)号：CN108535881B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201810362414.7
申请日：2018-04-20
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B27/28
Abstract: 本发明提供了一种具有超表面的钙钛矿天线，包括从上至下层叠设置的钙钛矿层、金膜和基底。本发明还提供了一种具有超表面的钙钛矿天线的制备方法。本发明的有益效果是：利用金膜设计了在反射模式下工作的钙钛矿天线为基的超表面调控光束，钙钛矿天线在可见光范围内折射率高，能够在较小的厚度下实现在‑π~π的范围内调控光的相位，并进一步应用于异常反射，异常反射的效率较高，并且，钙钛矿天线便于制备。
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公开(公告)号：CN107632339B
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN201610452134.6
申请日：2016-06-21
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B6/124
Abstract: 本发明提供了一种波导光栅耦合器的设计方法，其包括以下步骤：确定器件的功能、输入要求、输出要求和器件的功能结构区域，然后对器件载体进行网格划分成若干像素条区域；对器件载体网格划分后的结构进行迭代前的初始化；确定迭代的优化条件；对器件载体上的各像素条的结构依次进行迭代，在每次迭代过程中首先对像素条的结构按网格划分进行查找，通过有限时域差分法计算每次的迭代结果，并利用迭代优化条件进行判断，若此次查找的结构使性能参数提高，那么结构在本次迭代中更新，否则，此次迭代期间结构不变。采用本发明的技术方案，采用自动化的反向设计方法，设计方法简单，降低了设计周期，减少设计的人力成本，可以增加设计的自由度。
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公开(公告)号：CN110347014A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910639978.5
申请日：2019-07-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明属于光电探测器件制备技术领域，具体涉及一种制备高纵宽比二氧化钛的垂直刻蚀工艺，所述工艺包括：在ITO玻璃片上镀上一定厚度的二氧化钛，然后在二氧化钛上用均匀旋涂一层PMMA光刻胶；然后通过电子束使得PMMA会发生变性，固化去除，然后在PMMA的地方镀上一层金属掩膜；再对二氧化钛和金属掩膜采用不同的刻蚀速率进行垂直刻蚀，得到高纵宽比的二氧化钛。该工艺具有侧壁近似垂直；选择比高；能加工纵宽比很大的结构；加工方便等优势。
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公开(公告)号：CN110007451A
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201910277288.X
申请日：2019-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统，所述制备方法采用二氧化钛超表面制备由两个不同焦距、直径可小达100μm的超透镜组成的超表面显微镜，还提供了一种光路测量系统。与现有技术相比，本发明的超透镜不存在球差；结构简单，由2个简单的平面超透镜组成，不需要添加额外的透镜组；尺寸很小，直径可做到100μm，有利于集成；本发明的制备方法均采用常规试剂和仪器，各步骤易行，可操作性强；本发明的光路测量系统简单、快捷，可快速对超表面显微镜成品进行测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106054287A
公开(公告)日：2016-10-26
申请号：CN201610628539.0
申请日：2016-08-03
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
Abstract: 本发明提供了一种可见光波段变换的光学器件结构单元及光学器件，所述可见光波段变换的光学器件结构单元包括TiO2材料组成的天线、银镜和二氧化硅基底，其中顶层是天线结构，中间一层是银镜，底部是二氧化硅基底材料，其中天线的宽度尺寸a=160nm至180nm，天线的长度尺寸b=240nm至370nm，银镜和二氧化硅基底的长度和宽度相等，记为P，周期 P=430±10nm，天线结构厚度t1=240±5nm，所述银镜银层厚度t2=300±20nm。本发明的光学器件采用二氧化钛纳米天线作为基本结构单元，超构表面亚单元在波长为632 nm处完美实现了光束异常反射，其形成的光学器件具有较高的异常反射转换效率。
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公开(公告)号：CN104749665B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201510164384.5
申请日：2015-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明提供了一种基于介质材料的平面透镜单元、平面透镜及制备方法，单元包括高折射率介质材料组成的天线、二氧化硅填充层、银镜和二氧化硅基底。平面透镜包括以中心对称分布的平面透镜单元，平面透镜单元的天线在x轴上呈周期分布，在y轴上以y=0为对称中心对称分布。制备方法为：第一步是在二氧化硅基底上覆盖一层银膜，然后在银膜表面上继续用电子束蒸镀覆盖填充层二氧化硅和硅膜；第二步是在硅膜上旋涂光刻胶，然后用电子束曝光技术完成光刻胶的刻蚀和显影；第三步是采用反应离子束刻蚀技术实现对硅膜的刻蚀；第四步是经过剥离过程得到最终的纳米硅天线。该结构可以提高一个数量级的聚焦效率，因此具有很高的实际应用价值。
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公开(公告)号：CN103592703A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310574700.7
申请日：2013-11-15
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G02B3/00
Abstract: 本发明提供低损耗平面超透镜，平面超透镜是由交替出现的深色和浅色的多层膜组成，层数在20层到30层之间，深色部分是增益层，浅色部分是金属材料层，增益层材料厚度都为Wg，金属层厚度都为Wm；最顶层为金属层，最底层为增益层。低损耗平面超透镜的制作方法，步骤1.在平整的紫外透明基底上利用真空热蒸镀的办法蒸镀上厚度为Wg的增益层；步骤2.在步骤1得到的增益层的基础上，利用电子束蒸镀的办法镀上厚度为Wm的金属层；步骤3.在步骤2得到的平面膜的上面交替镀上周期性的增益层和金属层多层膜；步骤4.最后在表面上再镀上厚度为Wg的增益层作为保护层。这种超透镜的分辨率很高，重量很轻和厚度很薄，并且由于是一个平面结构，很容易集成和利用。
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公开(公告)号：CN115403002B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202210982168.1
申请日：2022-08-16
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种倾斜微纳结构的制备方法，其包括如下步骤：步骤S1，在基底上制备待刻蚀材料膜层；步骤S2，在待刻蚀材料膜层上制备图案化掩模层；步骤S3，将步骤S2制备了图案化掩模层的样品放在槽型载件的斜面上，将槽型载件放置于干法刻蚀机台腔体的下电极上，斜面朝上，进行刻蚀；所述槽型载件内，斜面与水平面的夹角为5°‑70°，所述槽型载件的开口上覆盖金属隔离网；步骤S4，移除残余的掩模层。采用本发明的技术方案的刻蚀方法，能够使微纳结构倾斜角在5‑70度可控，精细控制的倾斜角度能够大大减小所设计微纳结构的制备误差。而且不受材料限制，适用与多种不同介质材料。
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公开(公告)号：CN110007451B
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN201910277288.X
申请日：2019-04-08
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本发明提供了一种超表面显微镜及其制备方法、光路测量系统，所述制备方法采用二氧化钛超表面制备由两个不同焦距、直径可小达100μm的超透镜组成的超表面显微镜，还提供了一种光路测量系统。与现有技术相比，本发明的超透镜不存在球差；结构简单，由2个简单的平面超透镜组成，不需要添加额外的透镜组；尺寸很小，直径可做到100μm，有利于集成；本发明的制备方法均采用常规试剂和仪器，各步骤易行，可操作性强；本发明的光路测量系统简单、快捷，可快速对超表面显微镜成品进行测量。
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