利用紫外激光划切蓝宝石晶圆表面的加工方法

    公开(公告)号:CN102248606A

    公开(公告)日:2011-11-23

    申请号:CN201110167099.0

    申请日:2011-06-21

    Abstract: 本发明提供一种利用紫外激光划切蓝宝石晶圆表面的方法,包括以下步骤:将蓝宝石晶圆固定在紫外激光工作台上,将产生外电场的极板置于晶圆之上,并与晶圆保持一定距离;调整工作台,使聚焦镜头与蓝宝石晶圆之间发生相对移动,直至晶圆上表面在显示器上清晰成像;在激光加工开始前,将极板调整为水平,并使激光位于两极板中间;根据紫外激光的参数调整极板间距与电源电压;紫外激光通过聚焦镜,聚焦到蓝宝石晶圆表面,开激光,并沿水平方向扫描蓝宝石晶圆,对晶圆表面进行加工;通过调整直流电源电压及极板的间距产生适当的静电场场强,使加工过程中产生的带电颗粒在静电场的作用下,被吸附到极板上。本发明可以改善蓝宝石衬底的表面质量,提高蓝宝石晶圆的良品率。

    过热水蒸汽作冷却润滑剂在金属材料切削加工中的应用

    公开(公告)号:CN100578084C

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200710144959.2

    申请日:2007-12-28

    Abstract: 过热水蒸汽作冷却润滑剂在金属材料切削加工中的应用,它涉及一种过热水蒸汽的新用途。本发明解决了金属材料切削加工中现有冷却润滑剂中含有的有害物质极大危害人体健康的同时对环境造成极大污染,处理废液增加成本的问题。本发明的过热水蒸汽在金属材料切削加工中用作冷却润滑剂。本发明的过热水蒸汽以水为原料,无需任何添加剂或有害成份,不用回收处理,节省了制造成本;采用本发明过热水蒸汽作冷却润滑剂,与干切相比,可提高刀具使用寿命1.5~2.5倍,减小切削力30%~40%;与乳化液相比,可提高刀具使用寿命1~1.5倍,减小切削力10%~20%。

    一种管道表面及亚表面缺陷的采集装置、检测装置、检测方法

    公开(公告)号:CN115165888B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202210574563.6

    申请日:2022-05-25

    Abstract: 一种管道表面及亚表面缺陷的采集装置、检测装置、检测方法,涉及管道表面及亚表面缺陷的无损检测领域。解决了现有红外检测方法造成光纤、电缆缠绕造成检测工作效率低下的问题。所述方法包括:将所述采集装置放入待测管道内部;通过控制采集装置中的驱动机构,带动采集装置沿待测管道轴线做匀速运动;在运动过程中,半导体激光器发射激光信号,所述激光信号经第二90°锥形反射镜反射,在待测管道内表面形成环形光斑,所述环形光斑为热源;红外相机采集经第一90°锥形反射镜反射的待测管道内壁的环形红外图像序列;根据所述环形红外图像序列,获得缺陷信息。本发明适用于异形孔管道内部表面及亚表面缺陷的检测与定位。

    一种半导体材料掺杂浓度与电阻率的测量方法及装置

    公开(公告)号:CN118376606A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410422575.6

    申请日:2024-04-09

    Abstract: 本申请提出了一种半导体材料掺杂浓度与电阻率的测量方法,包括:调节两台激光器使激光器产生的激光光斑完全覆盖样件,调节分光片使单点近红外探测器探测到激光;控制两台激光器输出强度调制激光激励样件产生载流子辐射发光信号,并采集调制激光的光强幅值I0、样件产生的载流子辐射发光信号的幅值AmI和样件产生的载流子辐射发光信号的相位Ph I;并利用公式计算掺杂浓度ND及各像素点电阻率ρ。解决目前半导体材料电阻率测量存在成像检测效率低、易损伤材料表面、横向分辨率不高等问题,提供一种半导体材料掺杂浓度与电阻率的非接触光学成像测量方法与装置。

    涡流诱导的增材裂纹光热成像与靶向修复装置及方法

    公开(公告)号:CN117483817A

    公开(公告)日:2024-02-02

    申请号:CN202311294720.9

    申请日:2023-10-09

    Abstract: 本发明涉及涡流诱导的增材裂纹光热成像与靶向修复装置及方法,属于无损检测与损伤修复技术领域。解决增材制造过程微裂纹在线原位快速无损检测及小型化需求的问题。包括计算机、制冷器、涡流电源、气体环境密闭箱、涡流发生器、红外热像仪、编码调节器、数据采集卡和基板,基板的上方设置有涡流发生器的涡流线圈和红外热像仪,基板上放置增材制件,涡流发生器与制冷器连接,计算机与红外热像仪连接,计算机通过数据采集卡、编码调节器、涡流电源与涡流发生器连接,红外热像仪与数据采集卡连接。将低功率编码涡流与高功率编码涡流相互配合,实现裂纹缺陷靶向修复,满足增材制造过程微裂纹在线快速无损检测及小型化的需求。

    高均匀度微米级微群孔粉尘振动筛网加工夹具及加工方法

    公开(公告)号:CN116604206A

    公开(公告)日:2023-08-18

    申请号:CN202310566915.8

    申请日:2023-05-18

    Abstract: 一种高均匀度微米级微群孔粉尘振动筛网加工夹具及加工方法,涉及空间环境模拟技术领域,夹具包括外框、内框、定位块、夹紧机构以及拉紧机构;所述外框与所述内框间隙配合,所述外框底部设有垫板,所述内框有两层,所述内框放置于所述垫板之上;加工方法包括:将待加工钢板固定于所述夹具中;用激光打孔器在所述钢板上沿与所述钢板短边平行方向打出多条孔径,形成阵列分布的孔洞;打孔时,沿与所述钢板短边平行方向的多条孔径,是按照沿所述钢板长边两端到中间的顺序对称逐条打出的;该夹具及加工方法对待加工钢板施加邻边夹紧、对边拉紧的外部载荷,并采用特定路径打孔,减小了钢板热变形。

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