一种半导体材料掺杂浓度与电阻率的测量方法及装置

    公开(公告)号:CN118376606A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410422575.6

    申请日:2024-04-09

    Abstract: 本申请提出了一种半导体材料掺杂浓度与电阻率的测量方法,包括:调节两台激光器使激光器产生的激光光斑完全覆盖样件,调节分光片使单点近红外探测器探测到激光;控制两台激光器输出强度调制激光激励样件产生载流子辐射发光信号,并采集调制激光的光强幅值I0、样件产生的载流子辐射发光信号的幅值AmI和样件产生的载流子辐射发光信号的相位Ph I;并利用公式计算掺杂浓度ND及各像素点电阻率ρ。解决目前半导体材料电阻率测量存在成像检测效率低、易损伤材料表面、横向分辨率不高等问题,提供一种半导体材料掺杂浓度与电阻率的非接触光学成像测量方法与装置。

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