公开(公告)号：CN105068386A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510561426.9

申请日：2015-09-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋法质 ,  王一光 ,  万勇利 ,  张常江 ,  董岳 ,  刘洋 ,  何良辰 ,  赵为志 ,  韩记晓

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。

公开(公告)号：CN103366063A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310295948.X

申请日：2013-07-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  王一光 ,  李晓杰

IPC: G06F17/50

CPC classification number: Y02T10/82

Abstract: 一种工件台微动部分机械参数估计方法，主要涉及工件台微动部分机械参数估计方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分三个水平音圈电机的安装角度和质心位置难于通过传统精密仪器精确测量的问题。一、建立转换关系；二、建立位置关系；三、将位置关系二次求导；四、得出相对驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式；六、设定实际质心位置和安装角度；七、由平面几何关系得出L1-L10的实际值；八、利用步骤三中的方法计算实际Q；九、利用步骤一中的方法计算实际L；十、建立误差模型；十一、列写位移差方程；十二、通过试验测得[x′t y′t r′zt z′t r′xt r′y t]T；十三、仿真得[xt yt rzt zt rxt ryt]T；十四、解方程组得△x0,△y0,△z0,△θ1,△θ2,△θ3。本发明属于超精密制造领域。

公开(公告)号：CN103279034A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310179857.X

申请日：2013-05-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  王一光 ,  刘杨 ,  李晓杰

IPC: G05B13/04

Abstract: 一种分数阶鲁棒控制器的参数整定方法，本发明属于分数阶自动控制技术领域，主要涉及的是一种PDμ结构的分数阶鲁棒控制器的参数整定方法。本发明是要解决现有方法由于不确定因素的影响使得常规的PD控制不能达到满意效果的问题。一、给定待整定系统的各项参数；二、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(1)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；三、将带宽ωc与相角裕度γm代入公式(2)以μ作为横坐标，Kd作为纵坐标绘制方程所确定的曲线；四、利用图解法求出步骤二和步骤三所确定的曲线的交点坐标(μ，Kd)；五、将步骤四所求得的Kd和μ代入公式(3)求出Kp。本发明应用于分数阶自动控制技术领域。

公开(公告)号：CN103366063B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201310295948.X

申请日：2013-07-15

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  王一光 ,  李晓杰

IPC: G06F17/50

CPC classification number: Y02T10/82

Abstract: 一种工件台微动部分机械参数估计方法，主要涉及工件台微动部分机械参数估计方法。本发明是要解决光刻机工件台微动部分三个水平音圈电机的安装角度和质心位置难于通过传统精密仪器精确测量的问题。一、建立转换关系；二、建立位置关系；三、将位置关系二次求导；四、得出相对驱动力及转矩与曝光区域中心加速度的关系式；五、得出曝光中心位置和音圈电机驱动力之间的关系式；六、设定实际质心位置和安装角度；七、由平面几何关系得出L1-L10的实际值；八、利用步骤三中的方法计算实际Q；九、利用步骤一中的方法计算实际L；十、建立误差模型；十一、列写位移差方程；十二、通过试验测得[x′t y′t r′zt z′t r′xt r′y t]T；十三、仿真得[xt yt rzt zt rxt ryt]T；十四、解方程组得△x0,△y0,△z0,△θ1,△θ2,△θ3。本发明属于超精密制造领域。

公开(公告)号：CN105186959A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510527408.9

申请日：2015-08-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  赵为志 ,  宋法质 ,  董岳 ,  刘杨 ,  王一光

IPC: H02P23/00

Abstract: 一种伺服系统滑模控制器参数整定方法。本发明属于运动控制领域。它的方法步骤一：根据伺服系统的机械和电气结构建立伺服系统传递函数模型，获取模型中所需的参数；二：搭建相应的系统simulink仿真模型，留出粒子群优化算法所需的输入和输出接口；三：根据位置跟踪误差和速度跟踪误差需求；四：在matlab中编程对粒子群进行优化；五：将位置矢量对应的c,k和ε传入simulink仿真模型得到系统的位置误差和速度误差响应；六：对每个粒子的速度和位置进行更新；七：当k达到设定的最大迭代次数后，结束迭代过程，输出优化结果，否则返回步骤五；八：将全局最优位置矢量代入伺服系统滑模控制器。本发明能实现抖振的幅值最小或者抖振完全消除，跟踪误差达到最小。

公开(公告)号：CN105119907A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510433632.1

申请日：2015-07-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋跃 ,  王一光 ,  张常江 ,  何良辰 ,  刘洋 ,  万勇利 ,  赵为志 ,  陈震宇 ,  韩记晓

IPC: H04L29/06

CPC classification number: H04L69/02

Abstract: 一种基于FPGA的BiSS-C通信协议方法，本发明属于传感器与控制卡之间传输通信的技术领域。它的方法步骤一：FPGA模块的时钟信号MA通过RS422接口发送到外部光栅式传感器的时钟输入端；步骤二：时钟信号MA的上升沿触发外部光栅式传感器的数据信号发送；步骤三：FPGA模块判断每一帧数据信号的Start位是否为高电平和“0”位是否为低电平，如果不是，则继续等待下一帧数据，如果是，则每一个时钟MA的上升沿串口接收一位数据；步骤四：将完整的一帧数据存储到FPGA模块的双口RAM储存器内；步骤五：双口RAM储存器内的数据实时的传送到DSP模块内。本发明属于硬件解码，FPGA解码能实现数据通信和寄存器两种功能，既能完成通信，又能存储数据，存储的数据用于其他程序的处理。

公开(公告)号：CN103399466B

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201310351197.9

申请日：2013-08-13

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  王一光 ,  李晓杰

IPC: G03F7/20 ,  G05B19/18

Abstract: 一种工件台宏动部分三自由度解耦建模方法，主要涉及的是一种光刻机工件台宏动部分三自由度解耦建模方法。本发明是要解决光刻机工件台宏动部分水平方向二组Y方向直线电机和一组X方向直线电机的解耦建模问题。一、根据工件台宏动部分三自由度解耦建模结构示意图计算质量块1和质量块2相对于起始点O的位置；二、根据步骤一所得的位置关系导出质量块1和质量块2的速度；三、根据步骤二所得结果导出系统总动能；四、根据步骤三的结果得出系统的惯性矩阵；五、根据步骤四的结果导出克里奥利斯和离心力矩阵；六、根据步骤四和步骤五的结果导出由电机控制力到坐标x,y的关系式。本发明属于超精密制造领域。