基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法

    公开(公告)号:CN104200033A

    公开(公告)日:2014-12-10

    申请号:CN201410455326.3

    申请日:2014-09-09

    Abstract: 基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法,属于电路板串口调试领域。为了解决目前的硬件仿真器对电路板串口进行调试时易出错的问题。所述方法是基于FPGA、DSP和CPLD实现的,所述方法包括:采用FPGA确定运行DSP进行串口调试的时序,所述时序包括接收时序和发送时序的步骤;根据确定的时序,采用DSP实现串口调试的步骤;采用CPLD为DSP和FPGA提供正常的电平范围的步骤。它用于电路板的串口调试。

    基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统

    公开(公告)号:CN104181901A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410448520.9

    申请日:2014-09-04

    CPC classification number: Y02P90/02

    Abstract: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统,属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制,次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步,实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。

    基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构

    公开(公告)号:CN104019940A

    公开(公告)日:2014-09-03

    申请号:CN201410277199.2

    申请日:2014-06-20

    Abstract: 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构,属于地面全物理仿真领域。为了解决在测量垂向运动机构测量气腔压力时压力传感器量程过大而带来的精度变差、非线性度及偏差相应增大的问题,所述气浮垂向调节机构由垂向运动机构、基准压力气腔、绝对压力传感器、相对压力传感器构成,垂向运动机构旁安置有基准压力腔,绝对压力传感器安置于基准压力腔内,垂向运动机构由垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套组成,垂向气浮轴承外套和垂向气浮轴承内套之间为垂向气腔,相对压力传感器安置于垂向气腔与基准压力腔之间。本发明在测量垂向运动机构绝对压力时采用基准压力腔绝对压力与相对压力叠加的方式,具有较高的测量精度,可达到较为良好的实验效果。

    一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法

    公开(公告)号:CN104019749B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201410277186.5

    申请日:2014-06-20

    Abstract: 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法,属于全物理仿真测量领域。所述测量装置由气路部分、垂向运动部分、测量部分和测量补偿部分构成。本发明气路部分通过调整气压补偿垂向重力,垂向运动部分通过控制运动直线电机带动伺服机构垂向运动,测量部分通过直线光栅测得未补偿前的位移,测量补偿部分通过控制补偿直线电机带动电容传感器基板运动到未补偿前的位移附近,通过使用激光干涉仪标定后的直线光栅,使电容传感器补偿直线光栅的测量误差。从而提高了测量装置的分辨率。相比于现有技术,本发明具有结构简单、控制方便的优点。

    六自由度气浮平台的冷气推力装置及该装置的冷气推力方法

    公开(公告)号:CN104908014A

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201510391038.0

    申请日:2015-07-06

    CPC classification number: B25H1/14

    Abstract: 六自由度气浮平台的冷气推力装置及该装置的冷气推力方法,属于地面全物理仿真领域,本发明为解决现有冷气推力装置结构复杂、控制精度低的问题。本发明包括四组冷气喷气装置,每组冷气喷气装置包括1个立方体外框和12个喷嘴;还包括高压气瓶、一级调压阀、2个二级调压阀和4个电磁阀,高压气瓶、一级调压阀、2个二级调压阀和4个电磁阀均设置在立方体外框内部,高压气瓶的气体输出端连接一级调压阀的气体输入端,一级调压阀的气体输出端同时连接2个二级调压阀的气体输入端,每个二级调压阀的气体输出端均连接2个电磁阀的气体输入端,每个电磁阀的气体输出端连接一组冷气喷气装置中的12个喷嘴。本发明用于全物理仿真试验。

    基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法

    公开(公告)号:CN104029829A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410277196.9

    申请日:2014-06-20

    Abstract: 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法,属于物理仿真领域。所述伺服机构测量装置包括气路部分、线性电机部分、传感器部分和垂向运动部分。本发明通过高压气瓶为内套筒腔部提供恒压气体,并通过气压控制器调节比例阀开度使外套筒部分得到重力补偿;通过外部工控机发送位置指令给控制器,控制器控制定子内部磁场实现垂向运动,驱动动子带动外套筒垂向运动;双频激光干涉仪实时测量当前位移量,并根据压力、温度、湿度测量单元测量的当前气压、温度、湿度对测量值实时校正,从而控制线性电机部分实现外套筒的高精度垂向运动。本发明具有控制方便、摩擦力小、行程长、精度高等优点。

    三自由度空间模拟器
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103863585A

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201410128807.3

    申请日:2014-04-01

    Abstract: 三自由度空间模拟器,属于航空航天领域模拟设备领域。为了解决空间仿真试验设备存在通用性不强、成本高、机械结构复杂和维护费用昂贵的问题。它包括两自由度平动部分和单自由度旋转部分,所述模拟器的支撑面之间采用高压气瓶利用气浮原理设计,两自由度平动部分通过气浮导轨、气浮槽、X轴光栅尺和Y轴光栅尺实现水平XY方向的水平运动,单自由度旋转部分通过旋转轴、反作用飞轮和圆光栅尺实现360°顺逆时针方向的运动,所述模拟器还包括三个通信控制器,分别采集X轴方向、Y轴方向和旋转轴方向的位置信息,同时还用于驱动模拟器的喷嘴进行喷气。它用于航空航天实验模拟外太空微重力和微干扰环境。

    带有随动线缆台的气浮台
    29.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103847986A

    公开(公告)日:2014-06-11

    申请号:CN201410128695.1

    申请日:2014-04-01

    Abstract: 带有随动线缆台的气浮台,属于航天器的仿真测试设备技术领域。本发明为了解决现有气浮台由于供气的高压气瓶的容量有限,而造成其运行时间短的问题。它包括气浮、测量、随动线缆台、载物台及上位机五个部分,底座上所有的部件均处于气浮状态,两个随动线缆台用于提供外部的气路和电路的接口,由此保障模拟工作持续的进行,运行时间不受限制;两个位置传感器分别检测两个元件之间的相对位置关系,再通过上位机的控制,通过控制各元件喷嘴的喷气,来保持设备的同步。本发明为航天器的仿真测试气浮台。

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