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公开(公告)号：CN110057475B
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN201910450247.6
申请日：2019-05-24
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明公开了传感器技术领域的一种高灵敏度石墨烯压阻式应变传感器，旨在解决现有技术中石墨烯传感器灵敏度不高的技术问题，一种高灵敏度石墨烯压阻式应变传感器，包括硅衬底，在硅衬底上有二氧化硅绝缘层，二氧化硅绝缘层上有多个腔体，每个腔体上都用石墨烯薄膜覆盖，施加在顶板上的压力通过顶板上的支柱传递给石墨烯薄膜，通过测量石墨烯薄膜的电阻值的变化得出施加在顶板上的压力的变化。本发明提出的高灵敏度压力应变传感器，通过顶板与外界压力接触，而后将压力变化通过支柱传递给石墨烯薄膜的方法，避免了石墨烯薄膜直接与外界压力接触，从而保护了石墨烯薄膜，增强了应变传感器的耐用性，有效提高了传感器的灵敏度和稳定性。
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公开(公告)号：CN110601599A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201910941429.3
申请日：2019-09-30
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种基于悬臂梁的宽频带压电能量收集器，包括固定端、悬臂梁及质量块，悬臂梁上表面设有上压电层，下表面设有下压电层；所述悬臂梁设有N组，N≥3，每组包含n根悬臂梁，n≥3，不同组别的悬臂梁长度不等。当该能量收集器受到振动激励时，在对应方向上的压电层表面便会产生极化电荷，同时多组悬臂梁实现了可以对多个谐振频率的振动能量进行有效地吸收转换，并且可以有效的提高输出。
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公开(公告)号：CN109932561A
公开(公告)日：2019-06-25
申请号：CN201910237243.X
申请日：2019-03-27
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/10
Abstract: 本发明涉及基于复合拱形梁的微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线和复合拱形梁；衬底上中间设置共面波导传输线且两边设置地线，复合拱形梁通过锚区固定在地线上且位于复合拱形梁下方；复合拱形梁由中间的弹性材料及上下包裹的石墨烯薄膜构成，上层石墨烯薄膜和下层石墨烯薄膜的一侧通过锚区相连，另一侧设置两个输出端口，上层石墨烯薄膜和下层石墨烯薄膜各连接一个输出端口。本发明克服了传统梁结构由于本身物理性质的限制不能增加梁长度的问题，不仅极大地提高了传感器的灵敏度，并且由于拱形结构本身的物理性质，还能提高微波信号检测功率的精度和系统本身的稳定性。
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公开(公告)号：CN109524534A
公开(公告)日：2019-03-26
申请号：CN201811485775.7
申请日：2018-12-06
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种双层MEMS热电堆结构，结构包括一由高阻硅构成的衬底，所述衬底上方设有下热偶材料层、测量正电极和测量负电极，且下热偶布料层上覆盖设置有一由Si3N4构成的阻隔层，阻隔层正上方设置有一与下热偶布料层对称的上热偶布料层；上热偶布料层与下热偶布料层均由指定数目的金属和半导体间隔排列构成，上热偶布料层的每一金属连接下热偶布料层的每一半导体或上热偶布料层的每一半导体连接下热偶布料层上的每一金属形成一个热电偶，且每一热电偶串联连接，相连两个热电偶之间形成热电堆；测量正电极连接热电偶的首部，测量负电极连接热电偶的尾部；本发明增加了热电堆的热偶数目，提高热电堆探测器的灵敏度和温度分辨率，且面积小，便于集成。
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公开(公告)号：CN104655921B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201510084666.4
申请日：2015-02-16
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。本发明的基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108540921A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810309262.4
申请日：2018-04-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H04R31/00
Abstract: 本发明提供了一种多组合阵列石墨烯发声器，包括石墨烯阵列和电极，石墨烯阵列与电极通过导线电连接，电极包括设置在石墨烯阵列上方的正电极和设置在石墨烯阵列下方的负电极，石墨烯阵列包括第一石墨烯单元、第二石墨烯单元、第三石墨烯单元中的至少一种，且石墨烯阵列以数量相同或不同的第一石墨烯单元、第二石墨烯单元及第三石墨烯单元为基础，进行阵列组合而成。本发明的多组合阵列石墨烯发声器，可以实现至少十种石墨烯阵列的排布，由此构成的石墨烯发声器体积小、质量轻，结构简单、操作简便，可根据具体的设计需求及使用工况进行灵活组合并集成，输出性能范围变大，使用范围较广。
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公开(公告)号：CN108448934A
公开(公告)日：2018-08-24
申请号：CN201810408542.0
申请日：2018-05-02
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明揭示了一种三阶智能圆弧型压电式能量收集器，该压电式能量收集器包括三个悬臂梁，第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁依次套设，第一悬臂梁的半径为R1，第二悬臂梁的半径为R2，第三悬臂梁的半径为R3，第一悬臂梁的半径R1小于第二悬臂梁的半径R2，第二悬臂梁的半径R2小于第三悬臂梁的半径R3；所述第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁的左端均与固定质量块连接，所述第一悬臂梁、第二悬臂梁和第三悬臂梁的右端均与金属固定端连接。本技术方案的三阶智能圆弧型压电能量收集器可在特定结构下可进行能量吸收的多维度调节，在实现大频率范围内振动能量吸收的同时，又可以将频率控制于一点输出高功率。
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公开(公告)号：CN108362936A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201810385519.4
申请日：2018-04-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明是一种基于固支梁的d31的压电式微波功率传感器，传感器包括高阻硅衬底，在高阻硅衬底上设有共面波导传输线和固支梁，共面波导传输线是包括中心信号线和地线，地线设置在中心信号线的两侧，固支梁两端利用桥墩固定在信中心信号线和地线之间，固支梁正下方嵌入一质量块，固支梁的上方有四块压电材料层，四块压电材料层与固支梁之间填充着介质层，当微波功率在共面波导传输时，固支梁受到静电力下拉，压电材料层随之产生形变，根据压电效应，压电材料层上电荷的分布发生变化，产生与微波功率一一对应的电压，通过检测电压进行微波功率的检测。本发明的微波功率传感器结构新颖、易于集成，且灵敏度较高。
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公开(公告)号：CN108303566A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201810293350.X
申请日：2018-03-30
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了基于光栅衍射的加速度传感器，该加速度传感器由所述加速度传感器的结构主要由衍射光源、砷化镓太阳能电池阵以及外围电路多通道ADC组成；其中，衍射光源由长波光源、遮光板、光栅和透镜组成，采用光源外壳将其集装在一起，其中长波光源的四周采用弹簧将其固定在光源外壳内部；当传感器运动时，由于惯性长波光源随之运动，衍射在太阳能电池阵列上的条纹随之移动。根据光伏效应，产生相应变化的光电流。通过ADC外围电路进行检测可以得传感器的运动情况。此加速度传感器具有精度高、灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN108279330A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810387917.X
申请日：2018-04-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01R21/00
Abstract: 本发明是一种基于悬臂梁的d33的压电式微波功率传感器，传感器包括高阻硅衬底，衬底上设置有共面波导传输线和压电悬臂梁，共面波导传输线包括中心信号线和地线，地线设置在中心信号线的两侧，压电悬臂梁通过桥墩固定在中心信号线和一侧的地线之间，压电悬臂梁的一端加载质量块，在压电悬臂梁上、未加载质量块的上方附着介质层，在介质层的上方设置有压电材料层，在压电材料层的顶端设置叉指电极。器件工作时悬臂梁受到静电力下拉，根据压电效应，压电悬臂梁上方的叉指电极将之间将产生电压，该电压与微波功率一一对应，因此通过测量电压即可得到微波信号的功率。本发明易于集成且被测参数以电信号形式直接输出，后级检测电路简单。
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