公开(公告)号：CN104655921A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201510084666.4

申请日：2015-02-16

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 王德波 ,  何素峰

IPC: G01R21/00

Abstract: 本发明公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。本发明的基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。

公开(公告)号：CN104655921B

公开(公告)日：2019-01-01

申请号：CN201510084666.4

申请日：2015-02-16

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 王德波 ,  何素峰

IPC: G01R21/00

Abstract: 本发明公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。本发明的基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。

公开(公告)号：CN104635036A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201510020243.6

申请日：2015-01-15

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 王德波 ,  何素峰

IPC: G01R21/02 ,  G01R3/00

Abstract: 本发明公开了一种微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统及其制备方法，该方法用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，通过悬臂梁耦合器耦合出10％的微波功率，传输给负载电阻，通过热电堆得塞贝克效应将微波功率转化成电势差，通过电势差来测量微波功率的幅度。本发明的微机械高精度悬臂梁式微波功率检测系统是由砷化镓为衬底，在衬底上设有中心信号传输线A、悬臂梁耦合器B、校正电极C以及热电式微波功率传感器D。由于制作后的悬臂梁耦合器易弯曲，当悬臂梁处于上翘状态时，在压焊块上加正电压，当悬臂梁处于下拉状态时，在压焊块上加负电压，最终使悬臂梁恢复平整，从而提高系统检测的精确度。

公开(公告)号：CN204666718U

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201520113267.1

申请日：2015-02-16

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 王德波 ,  何素峰

IPC: G01R21/00

Abstract: 本实用新型公开了基于MEMS悬臂梁并联的微波功率检测系统，该系统用于在线式测量，在中心信号线传输过程中，MEMS悬臂梁与传输线之间会产生静电力，使悬臂梁下拉，那么悬臂梁与测试电极之间的间距变小，从而其电容值发生改变，通过测量变化的电容值，得到与之一一对应的微波功率。该系统包括砷化镓衬底，在衬底上设有面波导中心信号线(A)、并联的MEMS悬臂梁结构(B)以及电容式微波功率传感器(C)。当微波信号在面波导中心信号线上传输时，两个并联的MEMS悬臂梁在静电力的作用下产生位移，待测功率由电容式微波功率传感器检测。